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技術コラム95-ATS
弊社のレベルセンサとの測定精度の比較
innovating measurement technology TM
鏡
レベルウエハ
CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.095
カメラウエハ
カメラウエハによるレベル測定
カメラウエハがCMOSデバイスを使った画像処理を行うものなのですが、”鏡”に映った自分の姿（カメラ
ウエハの裏面中央に位置するカメラ部品や照明部品）を見て傾斜しているかどうかの判断に使うことが
出来ます。
アルミ板
傾斜を変化させ、
ALSによる傾斜変化と
ATSによる位置変化を
グラフ化
カメラウエハの裏面
カメラウエハ
ダミーウエハ（上面が鏡面）
直径5.5mm
鏡面であるウエハに映った
自分（ATS）の姿を見ます.
使い方の事例を下に
紹介します。
注意：この測定は、Z距離が変化しない（24.2mm±0.1mm）ようにに調整しながら行っています。
傾
斜
変
化を
確
認
上面が鏡面であるウエハを持ちあげた時の、傾斜変化を反射されたター
ゲット（ATSが持つカメラ部分の輪郭）の移動距離を見ています。
Zの距離は鏡に反射した仮想距離を含みます。
この測定法のメリット：
１．鏡面のダミーウエハは、現場で入手しやすい。
２．ダミーウエハの質量が薄くて軽いから、搬送しやすい。
３．遠い距離から非接触測定をするので、コンタミが少ない。
カスタマーサポート
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