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Technical News
●圧縮空気の清浄度評価（JIS B 8392 対応）
TN437
Impurity Analysis of Compressed Air
[概
要]
圧縮空気は半導体産業・食品産業・医療業界など様々な分野で使用され、その清浄度が要求されています。
当社では、JIS B 8392 に沿った手法による圧縮空気の清浄度評価が可能です。
[JIS B 8392（圧縮空気）規格と試験内容]
JIS B 8392（圧縮空気）は表 1 に示す編成になっており、当社ではこのうち JIS B 8392-3、JIS B 8392-4、
JIS B 8392-5 及び JIS B 8392-7 に沿った手法による清浄度評価が可能です。表 2 に実施可能な JIS 規格と試
験内容を示します。
表1
JIS B 8392（圧縮空気）
の編成
JIS B 8392-1 汚染物質及び清浄等級
JIS B 8392-6 ガス状汚染物質含有量の試験方法
JIS B 8392-2 オイルミストの試験方法
JIS B 8392-7 微生物汚染物質含有量の試験方法
JIS B 8392-3 湿度測定方法
JIS B 8392-8 質量濃度による固体粒子含有量の試験方法
JIS B 8392-4 固体粒子含有量の試験方法
JIS B 8392-9 質量濃度による水分含有量の試験方法
JIS B 8392-5 オイル蒸気及び有機溶剤含有量の試験方法
表2
JIS 規格 No.
JIS B 8392-3
JIS B 8392-4
JIS B 8392-5
JIS B 8392-7
湿度測定方法
固体粒子含有量の
オイル蒸気及び有機溶剤
微生物汚染物質
試験方法
含有量の試験方法
含有量の試験方法
測定内容
露点
評価方法
静電式露点計
測定可能範囲
対象圧力
当社で実施可能な JIS 規格と内容
-80～10 ℃
（圧力露点）
～0.6 MPa
固体粒子
オイル蒸気（C6 以上の
炭化水素）および有機溶剤
菌数
レーザーパーティクル
活性炭捕集
カウンター
溶媒抽出-GC/MS 法
<3,000 個/回（10 分）
0.01～5 mg/m3
1～500 CFU/m3
0.28 ～ 1.0 MPa
～0.5 MPa
～0.4 MPa
浮遊菌捕集
注 ：適用ガス温度・湿度範囲は各試験法により異なります。常温(20～35℃)外・高湿度(50％RH 以上)の場合は
対応できない場合があります。
その他、空気以外のガス種（窒素、ヘリウム、水素、酸素など）や、デバイス製造等に使用される高純度
ガス中の微量不純物（金属成分、酸・塩基成分、有機成分）評価など、JIS 規格外の試験も実施していますの
でお問い合わせください。
作成：千葉事業所 （IN1408）2-BA-(13)
当社ホームページはこちらから：
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