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カタログ製品リスト　（ナノインプリント用モールド・スケール・Ｘ線光学部品・メンブレン）　1/2
■ナノインプリント用モールド
タイプ
標準タイプ
高解像タイプ
極微細タイプ
単一タイプ
Ni電鋳モールド
マイクロレンズアレイ
反射防止体パタン
型式
材質
パタン種
ライン、ドット、
ホール（混載）
NIM-PH350
石英
NIM-PHL45
石英
ライン凹
石英
石英
石英
石英
Si
Si
Si
Si
Si
石英
石英
石英
石英
石英
Si
Si
Si
Si
Ni電鋳
石英
石英
Si
Si
ライン凹
ホール凹
ドット凸
ライン凸
ライン凹
ドット凸
ホール凹
ライン凸
ライン凸
ライン凹
ホール凹
ドット凸
ライン凹
ライン凹
ライン凹
ホール凹
ドット凸
ライン凹
ライン凸
凹型
凹型
円錐状、凸型
円錐状、凸型
NIM-PHL80
NIM-PHH100
NIM-100D RESO
NIM-100L RESO凸
NIM-80L RESO (Si)
NIM-100D RESO (Si)
NIM-100H RESO (Si)
NIM-100L RESO凸 (Si)
NIM-25L/100
NIM-100UL
NIM-100UH
NIM-100UD
NIM-150UL
NIM-1000UL
NIM-100UL (Si)
NIM-100UH (Si)
NIM-100UD (Si)
NIM-150UL (Si)
NIM-100L RESO （Ni）
MLA-P20S08
MLA-P01S003
MES-P270H350
MES-P270H350/C
2014年8月
パタン寸法（Duty比）等
ライン：350nm～10µm／10水準、ホール・ドット： 500nm
～10µm／8水準、（1:1、1:2、1:5）
基板外形等
高さ（深さ）
350nm
外形： 10mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 9mm□
45、60、80、100nm／4水準（1:1、1:5）
100nm
外形： 10mm□、厚さ： 1mm、
パタン領域： 2mmx3mm（500nmL&S(1:5）　7mm□）
80nm～3µm／11水準 （1:1、1:2、1:3、1:10）
100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3）
100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3）
100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3、1:10）
80nm～3µm／11水準 （1:1、1:2、1:3、1:10）
100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3）
100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3）
100nm～3µm／9水準 （1:1、1:2、1:3、1:10）
25nm～200nm／9水準、(1:1)
100nm（1:1)
100nm（1:1)、正方配列
100nm（1:1)、正方配列
150nm、200nm（1:1)
1、2、4、8µm／4水準、(1:1)
100nm（1:1)
100nm（1:1)、正方配列
100nm（1:1)、正方配列
150nm、200nm（1:1)
100nm～3µm／9水準（1:1、1:2、1:3、1:10）
ピッチ20µm、正方配列
ピッチ1µm、正方配列
ピッチ270nm 、正三角形配列
ピッチ270nm 、正三角形配列
200nm
200nm
100nm
200nm
200nm
100nm
200nm
200nm
100nm
200nm
200nm
100nm
200nm
1µm
200nm
200nm
100nm
200nm
200nm
8µm
300nm
350nm
350nm
パタン種・パタン寸法等
基板材質
外形： 10mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 9mm□
外形： 10mm□、厚さ： 0.525mm、パタン領域： 2mm□
外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、
パタン領域： 8mm□×1 (-150UL除く）　8mm□×2（-150UL）
外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 6mm□×4
外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、
パタン領域： 8mm□×1(-150UL除く）　8mm□×2（-150UL）
外形： 10mm□、厚さ： 0.3mm、パタン領域： 9mm□
外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 10mm□
外形： 15mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 5mm□
外形： 100mmφ、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 15mm□
外形： 20mm□、厚さ： 0.625mm、パタン領域： 10mm□
■測長スケール
タイプ
型式
用途
AS100P-D
長さ校正、
プローブ形状
評価
AS100P-U/T
長さ校正、
プローブ形状
評価
傾斜角
90度
パタン種類：　１：１ ライン＆スペース凸タイプ
ライン（凸部）幅：　50nm～250nm
パタン深さ：　125nm±20%
パタン領域：　200µm□
90度
パタン種類：　１：１ ライン＆スペース凸タイプ
ピッチ幅　：　100nm（校正証明書添付)
パタン深さ：　100nm±20%
パタン領域：　250µm□
垂直タイプ
傾斜タイプ
AS200P-A
角度校正
54.7度
Si
基板外形等
外形：10mm□、厚さ：0.525mm
パタン種類：　400nm、200nm、100nmライン＆スペース、400nmグリッド
ライン（凸部）幅：　100nm～400nm
パタン深さ ：　100nm～200nm
パタン領域：　184µm□×４種
■段差スケール
品名
段差スケール
型式
HS-05
HS-10
HS-40
名目段差
50nm
1µm
4µm
段差領域
100µm×1mm
段差チップ
材質： Si、チップサイズ： 10mm□、厚さ： 0.525mm
注意：　本表に記載された仕様等は代表値であり、保証することを意味するものではありません。 また、仕様等は製品改良のため、お断りなく変更することがありますのでご了承下さい。
一部の商品については受注生産で対応しておりますので、納期は弊社担当までお問い合わせください。
サポート基板
材質： ガラス、外形： 30mm×50mm、厚さ：3mm
カタログ製品リスト　（ナノインプリント用モールド・スケール・Ｘ線光学部品・メンブレン）　2/2
2014年8月
■Ta製フレネルゾーンプレート
品名
Ta製フレネルゾーンプレート
型式
FZP-S38/84
FZP-S50/80
FZP-S40/155
FZP-S50/330
FZP-S86/416
FZP-100/155
FZP-173/208
FZP-200/206
FZP-C234/2500
最外周
パタン幅（nm)
38
50
40
50
86
100
173
200
234
直径
（µm）
84
80
155
330
416
155
208
206
2500
パタン
材質
ゾーン数
550
400
968
1650
1200
388
300
255
2670
Ｔａ膜厚
（nm)
160
250
200
400
700
800
1000
1600
150
Ｔａ
メンブレン構造
基板外形等
基板材質
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 0.15µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 0.2µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 1µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm）
単層構造（SiN 2µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm）
2層構造（Ru 0.02µm/SiC 0.2µm）
外形： 5mm□、厚さ： 0.625mm
Si
外形： 10mm□、厚さ： 1mm
■FZP用センタービームストップ
品名
FZP用センタービームストップ
型式
CS–100/30-3.0W
CS–75/30-3.0W
CS–50/30-3.0W
CS–40/30-3.0W
CS–100/50-3.0W
CS–75/50-3.0W
最小パタン
寸法
100µmφ
75µmφ
50µmφ
40µmφ
100µmφ
75µmφ
ストッパ
材質
Au厚さ
30µm
Au
50µm
メンブレン
基板材質
サイズ
メンブレン構造
2層構造（SiC
2層構造（SiC
2層構造（SiC
2層構造（SiC
2層構造（SiC
2層構造（SiC
2µm/SiN 0.3µm）
2µm/SiN 0.3µm）
2µm/SiN 0.3µm）
2µm/SiN 0.3µm）
2µm/SiN 0.3µm）
2µm/SiN 0.3µm）
3mm□
Si
基板外形等
外形： 10mm□、厚さ： 1mm
■X線チャート
タイプ
標準タイプ
厚膜高解像タイプ
超高解像度タイプ
型式
XRESO-100
XRESO-50HC
XRESO-20
最小
パタン寸法
100nm
放射状、L&S
50nm
放射状、L&S、
ホール
20nm
パタン種
パタン
材質
Ta膜厚
Ｔａ
1µm
0.5µm
0.1µm
メンブレン構造
2層構造（Ru 0.02µm/SiN 2µm）
3層構造（Ru 0.02µm/SiC 0.2µm/SiN 0.05µm）
3層構造（Ru 0.02µm/SiC 0.2µm/SiN 0.05µm）
パタン領域
メンブレン
サイズ
基板
材質
250µm×300µm
300µm×300µm
300µm×300µm
1mm□
Si
基板外形等
外形： 10mm□、厚さ： 1mm
外形： 10mm□、厚さ：
0 625mm
■メンブレン
品名
SiNメンブレン
SiCメンブレン
型式
MEM-N008001/2.6M
MEM-N03001/7.5M
MEM-N03002/7.5M
MEM-N02001/10M
MEM-N03002/10M
MEM-N020027/10M
MEM-N0302/10M
MEM-N0301/10M
MEM-C03003/10M
MEM-C0301/10M
メンブレン
材質
SiN
SiC
メンブレン
サイズ(mm)
0.8×0.8
3×3
3×3
2×2
3×3
2×2
3×3
3×3
3×3
3×3
メンブレン
膜厚（nm)
100
100
200
100
200
270
2000
1000
300
1000
基板材質
外形
(mm)
2.6×2.6 *
基板厚
（mm)
0.2
7.5×7.5
●お問い合わせ先
NTTアドバンステクノロジ株式会社
Si
0.625
10×10
* 2.6mm角の四隅を切り落とした八角形（対角で3mmφ以内）
注意：　本表に記載された仕様等は代表値であり、保証することを意味するものではありません。 また、仕様等は製品改良のため、お断りなく変更することがありますのでご了承下さい。
一部の商品については受注生産で対応しておりますので、納期は弊社担当までお問い合わせください。
先端プロダクツ事業本部 ナノテクビジネスユニット
Tel: 046-247-0852 Fax: 046-270-2077
〒243-0124 神奈川県厚木市森の里若宮3-1 ＮＴＴ厚木研究開発センタ内