1. No category

平成２６年４月１日　設定
「ナノテクノロジープラットフォーム事業」 「ナノテクノロジープラットフォーム事業」
の対象となる場合
の対象外となる場合
装置番号
施設名称
設置場所
装置分類
NPF001
NPF002
NPF003
NPF004
NPF005
NPF006
NPF007
NPF008
NPF009
NPF010
NPF011
NPF012
NPF013
NPF014
NPF015
NPF016
NPF017
NPF018
NPF019
NPF020
NPF021
NPF022
NPF023
NPF024
NPF025
NPF026
NPF027
NPF028
NPF029
NPF030
NPF031
NPF032
NPF033
NPF034
NPF035
NPF036
NPF037
NPF038
NPF039
NPF040
NPF041
NPF042
NPF043
NPF044
NPF045
NPF046
NPF047
NPF048
NPF049
NPF050
NPF051
NPF052
NPF053
NPF054
NPF055
NPF056
NPF057
NPF058
NPF059
NPF060
NPF061
NPF062
NPF063
NPF064
NPF065
NPF066
NPF067
NPF068
NPF069
NPF070
NPF071
NPF072
NPF073
NPF074
NPF075
電子ビーム描画装置
電子線描画装置
イオンコーター
高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM)
低真空走査電子顕微鏡
マスクレス露光装置
マスクレス任意パターン転写装置
スピンコーター
コンタクトマスクアライナー[MJB4]
マスクアライメント露光装置
i線露光装置
ドラフトチャンバー（右）
ドラフトチャンバー（左）
有機ドラフトチャンバー
酸アルカリドラフトチャンバー
スターラーウォーターバス[SWB-10L-1]
スマートウォーターバス[TB-1N]
反応性イオンエッチング装置 (RIE)
多目的エッチング装置
酸化物エッチング装置
プラズマアッシャー
UVクリーナー
真空蒸着装置
小型真空蒸着装置
スパッタ装置
RF・DCスパッタ装置
ECRスパッタリング装置
多元同時スパッタ装置
メッキ装置
プラズマCVD装置
原子層堆積装置[FlexAL]
原子層堆積装置ミリング機能
アルゴンミリング装置
集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
イオンスパッタ(FIB付帯装置)
FIB-SEM
イオン注入装置[IW-630]
二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
オゾンクリーナー
高速昇降温炉(RTA)
ウェハー酸化炉
クリーンオーブン右
クリーンオーブン左
マッフル炉
触針式段差計
走査プローブ顕微鏡1(SPM1)[NanoscopeⅣ/Dimension3100]
走査プローブ顕微鏡2(SPM2)[SPM-9600/9700]
ナノサーチ顕微鏡(SPM3)[SFT-3500]
ナノプローバ[N-6000SS]
四探針プローブ抵抗測定装置
デバイスパラメータ評価装置
デバイス容量評価装置
ワイヤーボンダー
ダイシングソー
スクライバー
研磨機
ラッピングマシン(CMP)
ウェハー圧着機
レーザー顕微鏡
短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]
短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]
全焦点顕微鏡
分光エリプソメータ
解析用PC(分光エリプソメータ用)
顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN)
顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
解析用PC(CADおよびSPM， FT-IR， Raman用)
磁気特性測定システム(MPMS)
熱刺激電流（TSC）測定装置
X線回折装置(XRD)
薄膜エックス線回折装置
微小部蛍光X線分析装置
解析用PC(CADおよびX線用)
エックス線光電子分光分析(XPS)装置
解析用PC(XPS用）
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR3 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR2 イエロールーム
CR1 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
2F 一般実験室
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
2F 一般実験室
CR5 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
CR5 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
1F 一般実験室
2F 一般実験室
2F 一般実験室
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR2 イエロールーム
CR2 イエロールーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR4 クリーンルーム
CR4 クリーンルーム
CR4 クリーンルーム
CR4 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
2F データ解析室
CR1 クリーンルーム
CR1 クリーンルーム
2F データ解析室
2F 一般実験室
2F 一般実験室
2F 一般実験室
2F 一般実験室
CR1 クリーンルーム
2F データ解析室
2F 一般実験室
2F データ解析室
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
表面処理装置
観察装置
観察装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
リソグラフィー装置
ウェット処理装置
ウェット処理装置
ウェット処理装置
リソグラフィー装置
エッチング装置
エッチング装置
エッチング装置
表面処理装置
表面処理装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
成膜装置
ミリング装置
ミリング装置
イオンビーム装置
表面処理装置
イオンビーム装置
イオンビーム装置
イオンビーム装置
表面処理装置
熱処理装置
熱処理装置
熱処理装置
熱処理装置
熱処理装置
プローブ装置
プローブ装置
プローブ装置
プローブ装置
プローブ装置
測定装置
測定装置
測定装置
加工装置
加工装置
加工装置
加工装置
加工装置
加工装置
観察装置
観察装置
観察装置
観察装置
分光装置
分光装置
分光装置
分光装置
分光装置
測定装置
測定装置
エックス線装置
エックス線装置
エックス線装置
エックス線装置
エックス線装置
エックス線装置
装置番号：NPFで装置管理のために使用している番号
設置場所：装置が設置してある部屋
装置分類：装置の利用目的や原理に応じて分類された区分
※この単価表に記載した金額に消費税等は含まれておりません。
1/1
共用施設等
使用料
運転等
人件費
（円/時間）
（円/時間）
2,300
1,300
400
2,200
1,400
4,200
700
400
600
900
7,900
400
400
400
600
400
400
1,300
4,200
4,200
600
400
2,500
1,000
1,200
2,100
3,000
2,100
1,000
2,100
2,200
1,200
1,200
4,300
400
5,300
7,600
3,500
400
1,100
900
400
400
500
400
1,300
1,300
1,700
3,200
400
900
500
600
1,800
400
400
1,200
400
600
800
1,000
600
600
400
2,100
800
400
800
900
1,500
1,500
700
400
1,200
400
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
技術指導等 共用施設等
人件費
使用料
（円/時間）
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
500
（円/時間）
5,400
3,400
1,600
5,200
3,600
9,200
2,200
1,600
2,000
2,600
16,600
1,600
1,600
1,600
2,000
1,600
1,600
3,400
9,200
9,200
2,000
1,600
5,800
2,800
3,200
5,000
6,800
5,000
2,800
5,000
5,200
3,200
3,200
9,400
1,600
11,400
16,000
7,800
1,600
3,000
2,600
1,600
1,600
1,800
1,600
3,400
3,400
4,200
7,200
1,600
2,600
1,800
2,000
4,400
1,600
1,600
3,200
1,600
2,000
2,400
2,800
2,000
2,000
1,600
5,000
2,400
1,600
2,400
2,600
3,800
3,800
2,200
1,600
3,200
1,600
運転等
人件費
技術指導等
人件費
（円/時間）
（円/時間）
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200
1,200