技術コラム95-ATS 弊社のレベルセンサとの測定精度の比較 innovating measurement technology TM 鏡 レベルウエハ CyberOptics Semiconductor Inc. 技術コラム No.095 カメラウエハ カメラウエハによるレベル測定 カメラウエハがCMOSデバイスを使った画像処理を行うものなのですが、”鏡”に映った自分の姿(カメラ ウエハの裏面中央に位置するカメラ部品や照明部品)を見て傾斜しているかどうかの判断に使うことが 出来ます。 アルミ板 傾斜を変化させ、 ALSによる傾斜変化と ATSによる位置変化を グラフ化 カメラウエハの裏面 カメラウエハ ダミーウエハ(上面が鏡面) 直径5.5mm 鏡面であるウエハに映った 自分(ATS)の姿を見ます. 使い方の事例を下に 紹介します。 注意:この測定は、Z距離が変化しない(24.2mm±0.1mm)ようにに調整しながら行っています。 傾 斜 変 化を 確 認 上面が鏡面であるウエハを持ちあげた時の、傾斜変化を反射されたター ゲット(ATSが持つカメラ部分の輪郭)の移動距離を見ています。 Zの距離は鏡に反射した仮想距離を含みます。 この測定法のメリット: 1.鏡面のダミーウエハは、現場で入手しやすい。 2.ダミーウエハの質量が薄くて軽いから、搬送しやすい。 3.遠い距離から非接触測定をするので、コンタミが少ない。 カスタマーサポート 国内担当:林幸信 電話:0803974-0253 Email:[email protected] 日本語ホームページ:www.jp.cyberopticssemi.com 9130 SW Pioneer Court, Suite D Wilsonville, Oregon, 97070, USA Phone: +1-503-495-2200 FAX: +1-503-495-2201 E-mail: [email protected] Web: www.CyberopticsSemi.com 技術コラム95-ATS
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