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メモリ半導体向け
不揮発性メモリ評価システム
型式：RBM-LCT
関連ページ → 半導体
http://www.espec.co.jp/products/market/da/semicon.html
http://www.espec.co.jp/products/market/it/semicon.html
http://www.espec.co.jp/products/market/auto/semicon.html
不揮発性メモリ評価システムはフラッシュメモリや
FeRAMなどの不揮発性メモリの評価試験を行うモニターバー
ンインシステムです。
フラッシュメモリでは複雑なアルゴリズムを発生できるパターン
発生機能とバッドブロック管理機能、Vth分布測定機能などに
より、テスターでのテスト機能の移管が可能です。また、今後
新しく開発される不揮発性メモリのテストに対応できるよう拡
張性と柔軟性をコンセプトとし、不揮発性メモリの研究開発か
ら量産までの試験、検査用の装置としてお役立て頂けます。
対象デバイス
フラッシュメモリ (flash memory)は、書き換え可能であり、電源を切ってもデータが消えない不揮発性半導体メ
モリ。NAND型、NOR型があり、携帯ミュージックプレイヤーの普及によりNAND型のフラッシュメモリの需要が急激に
伸びている。（写真 43nm プロセスを用いたＮＡＮＤ型フラッシュメモリ 東芝社製 16GB 32GB）
Memory
RAM
SRAM
DRAM
Non-Volatile Memory
NAND型フラッシュメモリ
ROM
EPROM EEPROM
Flash Memory
特長
■フラッシュメモリの消去/書き込みサイクル試験を大量かつ高速で処理
■ ＮＡＮＤ型フラッシュメモリのブロック管理に対応
■フレキシブルなパターンジェネレータ（ＡＬＰＧ）を搭載
■多槽式チャンバーを採用、多水準の温度試験評価が容易に実現
FeRAM MRAM
OUM RRAM etc
NOR type
NAND type
システムブロック
UPS
HOST PC
(Windows XP)
Ethernet ※2
(1000Base-T)
HUB
Ethernet ※2
(1000Base-T)
Chamber Controller
C/C
USB2.0
Network HDD
（オプション）
I/F Board
System Board
Burn-in Board
Connector
※1
DC power
Chamber１（-55～150℃）
※1 LCTシステムLANは1000BASE-Tにて運用を推奨しま
す。
Chamber2（-55～150℃）
※2 ネットワークHDD、HUB、湿度制御はオプション
LCTシステムLANは1000BASE-Tにて運用を推奨します。
（HOST、NetworkHDD、HUBは1000BASE-T対応）
Chamber3（-55～150℃）
仕様
RBM-LCT-1212m23UUU
RBM-LCT-1212m23HUU
RBM-LCT-PST01
High/Low Temp.
Chamber ×3
High Temp. Chamber
×1
High/Low Temp.
Chamber ×2
Chamber less
-55℃ ～ 150℃
High Temp. Chamber
＋70℃ ～ 150℃
High/Low Temp.
Chamber
-55℃ ～ 150℃
Ambient Temp.
(Test Only)
Slot
12
12
1
Zone
12
12
1
Model
Variation
Chamber
Operating temperature
Cycle time / Resolution
System
performance
/Timing
generator
Timing number
30
Clock frequency
16
Strobe
2
Clock resolution
DUT Power
100nS～0.6mS / 10nS
10nS
PS1、PS2
0.8V～8.0V / 10A
PS3～PS5
1V～15V / 6A
PS6
-1V～-15V / 6A
Output accuracy
±（2%＋50mV）
エージング バーンイン 評価装置 スクリーニング 温度特性 ストレス印加 環境試験 エレクトロマイグレーション評価 マイグレーション評価 電流印加 定電流 ボイド
ヒーロック →
断線評価
絶縁破壊 絶縁評価 クラック はんだクラック 微小抵抗 交流測定 バンプ評価 電流密度 はんだバンプ パワーデバイス評価 ヒート
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半導体ウィスカ
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ショック サーマルショック 熱衝撃
急速温度サイクル 温度ストレス 温度変化 冷熱衝撃試験 温湿度試験 加速試験 HAST プレッシャクッカー バスタブカーブ ワ
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らかじめご了承ください。
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