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ナノ・ソルテック株式会社
JAPAN Tel ： +81-45-222-8438
KOREA Tel ： +82-32-686-0430
http：//www.nstj.co.jp/
【性能保証】
お客様の使用条件およびプロセスを事前に十分な打ち合わせを行い
ベース装置および改造仕様を提案させていただきます。
【保守メンテサービス】
弊社が提供する中古再生装置は保守部品・保守技術をOEMメーカーと遜色ない
装置のみを提案させていただいております。
【無償保証期間90日】
検収後、90日間の保証期間を設定しております。
通常装置調整後、1か月前後は安定しないケースが稀にございますが
検収後、保証期間内であれば安定稼働までエンジニアを常駐させることも可能です。
※弊社設置装置のみに対応
【輸送搬入据付】
精密機器である半導体製造装置は、輸送に関しても非常に技術を要します。
弊社では各装置に精通した輸送技術を持った輸送会社と提携しており
安心且つ迅速に据付までのサービスを実施させていただきます。
特に安全作業に関しては　『安全衛生責任者資格者』を従事させ
安全作業を優先とした管理を徹底しております。
中古装置最新情報及び推奨装置
Used Equipment List
I Line Stepper NSR-2005i9C
I Line StepperNSR-2205i11D
NIKON （1996）
NIKON
200mm (Notch & Flat)
200mm (Notch & Flat)
I Line Stepper NSR2025i14E2
NIKON
200mm (Notch & Flat)
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
KLA-Tencor
KLA 2135
Bright Field Defect Inspection
200mm
Kosaka Lab
ET4000 (2007)
Profiler
100mm – 200mm
YGK
YPI200 (2007)
Particle Counter （Manual type)
160mm 200mm
～0.3µm
中古装置最新情報
Used Equipment List
KLA-Tencor
KLA-Tencor
TOHO Technology
(KLA-Tencor )
Omni Map RS75/tc
FLX2320S
P-16
Resistivity Mapping System
Thin Film Stress Measure
System
Profiler
150mm - 200mm
Manual Type
Manual Type
ID No Process
Item
Manufacture
Model
Vintage
Configuration
Remarks
NSJ0001 Metrology
NSJ0002 Metrology
Defect Inspection (Bright field)
Defect Inspection (Bright field)
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA2135
KLA2139
200mm
NSJ0003 Metrology
Review station
Leica
INS3000 DUV
2002
200mm
200mm
NSJ0004 Metrology
NSJ0005 Metrology
Profiler
Profiler
KLA-Tencor
Kosaka Lab
P16
ET4000
2007
2006
100mm - 200mm
100mm - 200mm
NS0001
NS0002
NS0003
NS0004
NS0005
NS0006
NS0007
NS0008
Metrology
Metrology
Metrology
Metrology
Metrology
Metrology
Metrology
Metrology
Thin Film Stress Measurement
Resistivity Mapping System
Defect Inspection (Dark field)
Profiler
Overlay
Profiler
Profiler
Surface Profiler
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA-Tencor
KLA-Tencor
FLX2320S
RS75
AIT XP
P10
KLA5300
Alpha step IQ
Alpha step 500
HRP-220
2003
1998
2000
1998
Manual
100mm - 200mm
C to C type
200mm
Manual
200mm
Manual (100mm - 200mm)
Manual (100mm - 200mm)
200mm
YG0001
Metrology
Surface Particle Measurement
YGK
YPI200
2007
50mm - 200mm □
Manual
MK0001
MK0002
MK0003
MK0004
MK0005
MK0006
MK0007
MK0008
Implant
Photo
Photo
Metrology
Photo
Photo
Photo
Metrology
Implant
Stepper
Coater Developer
Review SEM　Stepper
Coater
Developer
Surface Particle Measurement
SEN
Nikon
TEL
HITACHI
Nikon
TEL
TEL
KLA-Tencor
HE3
NSR2205i9
Mark8
RS3000
NSR2205 EX14
Mark7
Mark7
SFS6220
2005
1998
1998
2005
2000
1997
1997
200mm
150㎜　150㎜　１C1D
200㎜-300mm
200mm
Coater x 2 cup
Developer x 2 cup
100mm - 200mm
2 system available
For parts
EDX WDX
ID No Process
Item
Manufacture
Model
CS0001
CS0002
CS0003
CS0004
CS0005
CS0006
CS0007
CS0008
CS0009
CS0010
Implant
PVD
Implant
WET
WET
Photo
Photo
Photo
Implant
Metrology
HC Implant
PVD
MC Implant
Back side cleaner
Cleaner
Coater
KrF Scanner
ArF Scanner
HE Implant
CD-SEM
AMAT
AMAT
NISSIN
SEMITOOL
DNS
DNS
Nikon
Nikon
SEN
KLA-Tencor
Xr120
Endura
Exceed 2000
Millennium
WS820L
SC-200W-BV
NSR S203B
NSR S305
GSD-HE
eCD2
FS0001
FS0002
FS0003
FS0004
FS0005
FS0006
FS0007
FS0008
FS0009
Photo
Photo
Etch
Etch
Metrology
WET
CVD
Etch
CMP
Stepper
Coater Developer
Metal Etch (R0 Chamber)
Poly Si Etch (R1 Chamber)
CD-SEM
Cleaner
Metal CVD
Oxide
CMP　+　WET
CANON
TEL
AMAT
AMAT
AMAT
DNS
AMAT
TEL
AMAT
FPA-5500IZa
ACT8
Centura DPS
Centura DPS
SEMVISION CX
FC-821L
Centura WXZ
U2e-855SS
MIRRA
Vintage
1996
1996
1998
2000
1997
2000
1999
2003
2003
2003
1999
1999
2002
2003
2000
Configuration
Remarks
200mm
150mm
200mm
200mm
200mm
Coater x 2cup
200mm
200mm
200mm
200mm - 300mm
For parts
PCⅡｘ１　PVDx4ch
200mm
200mm 4D 4C
200mm
CS
200mm
200mm
200mm
200mm
200㎜　SMIF　FABS
coming soon
coming soon
R0 Chamber x 2
R1 Chamber x 2
Polymer remover
Acid Type
For parts
For parts
W CVD
with AS2000