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三次元座標測定機
O-INSPECT
マルチセンサ式　小型三次元座標測定機
O-INSPECT322/442
接 触 式と非 接 触 式センサを備えた
マルチセンサ測 定 機です。
VASTスキャニング測定と光学画像スキャニング測定を備えた322。
三次元測定機、投影機、光学顕微鏡、
輪郭形状測定機が持つ機能を統合。
小型部品の測定評価をこの 1 台で実現。
も追加可能な442。
汎用ソフトウェア Calypso で統一操作
更に白色干渉 (ホワイトライト) センサによるスキャニングセンサ
欲しい測定をこの1台で実現します。
スキャニングプローブヘッド VAST XXT 搭載
テレセントリックズームレンズ　Discovery 搭載
高速かつ非接触での高精度測定は、ZEISS 顕微
鏡部門のズームレンズ Discovery が可能にして
います。
Discovery はさまざまな材質のワークの高精度な
画像測定を可能にします。切り替え式のズーム
倍率により再現性の高い結果が保証されます。
赤色 LED による照明
O-INSPECT 322
※架台はオプションです。
42
O-INSPECT 442
測定範囲 (mm)
X 300, Y 200, Z 200
最大許容指示誤差、接触式 (1D)
1.6 + L/200 ( μm)
最大許容指示誤差、画像 (1D)
カールツァイス シリーズ
O-INSPECT 322 主要データ
1.6 + L/200 ( μm)
詳細なデータおよび測定条件については、O-INSPECT 仕様書を別途ご参照ください。
O-INSPECT 442 主要データ
測定範囲 (mm)
X 400, Y 400, Z 200
最大許容指示誤差、接触式 (1D)
1.7 + L/250 ( μm)
最大許容指示誤差、画像 (1D)
1.7 + L/250 ( μm)
詳細なデータおよび測定条件については、O-INSPECT 仕様書を別途ご参照ください。
センサと許容測定値差
VAST XXT *1
スキャニングセンサ
シングル点測定速度 : 最大 2.5 秒 / 点、スキャン : 200 点 / 秒
スタイラス垂直方向長さ 30-125 mm、
スタイラス水平方向長さ 最大 40 mm ( スタースタイラス使用時 )、
スタイラス最大重量 10 g、プローピング最大速度 5 mm/ 秒
最大許容指示誤差 *2
MPE は ISO 10360-2: に準ずる
E X/Y (1D)
20 ± 2℃
442
1.7 + L/250 μm
E (3D)
20 ± 2℃
1.9 + L/250 μm
18 - 30℃
-
E XY (2D)
プローピング誤差
MPE は ISO 10360-2: に準ずる
スキャニングプローピング誤差
MPE は ISO 10360-4: に準ずる
スキャニング検査時間
Discovery.V12 *3
20 ± 2℃
18 - 25℃
322
1.6 + L/200 μm
1.7 + L/250 μm
1.9 + L/150 μm
-
2.7 + L/150 μm
2.4 + L/150 μm
2.9 + L/150 μm
P
20 ± 2℃
1.9 μm
2.4 μm
THP
20 ± 2℃
3.5 μm
3.5 μm
T
20 ± 2℃
68s ( 秒 )
68s ( 秒 )
画像処理とオートフォーカスに対応した光学式二次元カメラ
倍率 0.5x ~ 6.3x (CCD 上 )、10 段階固定倍率で利用可能、
CCD 測定カメラチップ、測定速度 : 最大 50 fps、
プローピング最大速度 10 mm/s (Z 軸 )、作動距離 87 mm、レーザポインタ
照明 : 8 個のリング照明 ( 青・赤 )、ミニリング照明 ( 青・赤 )、同軸照明 ( 青・赤 )、透過光照明
最大許容指示誤差 *2
MPE は ISO 10360-7 に準ずる
E X/Y (1D) (OT) *4
20 ± 2℃
442
1.7 + L/250 μm
1.7 + L/250 μm
1.9 + L/150 μm
PF (2D) OS) *4
20 ± 2℃
1.7 μm
1.9 μm
E XY (2D) (OT) *4
プローピング誤差
MPE は ISO 10360-7 に準ずる
20 ± 2℃
332
1.6 + L/200 μm
*1 VAST XXT: TL1 使用時。テスト条件 : スタイラス垂直方向長さ30-125 mm、水平方向長さ最大 40 mm、チップ直径 0.3-8 mm
*2 L は測定長さ（mm 単位）　*3 レーザクラス 1EN (IEC) 60825-1-2002　*4 倍率 6.3 x
外観図　寸法表
OI-442
740
865
1000
G106
1775
280
G106
860
ベース
G104
306
スタンダード
（アクセサリ）
1405
G106
280
G105
980
2080
O-I NSPECT
500
200
OI-322
560
870
1065
1360
1055
43