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Lam Research
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Innovative Technology
Trusted Productivity
Fast Solutions
lamresearch.com
概要
ラムリサーチは全世界の半導体産業にウエハー加工装置とサービスを提供するトップ企業であり、お客様が
より微細な、高速な、そして電力効率の良い電子デバイスを作れるように革新的なソリューションを開発して
います。そして私たちの日々の暮らしの中へのテクノロジーの普及に努めています。
半導体メーカーは、携帯電話、コンピュータ機器、そしてエンターテイメント機器で使用する小さくて複雑な
チップを生産しますが、そのために非常に洗練されたプロセスと製造装置が必要となります。そして半導体
メーカーが作る、砂の1000分の1より小さいデバイス製造のために、ラムリサーチの装置は大きな役割を
果たしているのです。実際に今日では、ほとんどすべての最先端のICの製造過程でラムリサーチの装置は使用
されています。
ラムリサーチは、薄膜デポジション、プラズマエッチ、フォトレジストリップ、そしてウエハー洗浄装置の
市場のトップ企業として、 前工程およびアドバンス・ パッケージ・ アプリケーションで幅広い製品群を
提供しています。また、包括的なカスタマーサポートはシステムのライフサイクルに至る間ずっと価値を
お届けいたします。それは装置の立ち上げ、生産量増加対応、新技術のアップグレードなどを通じての資産
管 理 終 了 ま で と な り ま す。 協 業、 継 続 的 な イ ノ ベ ー シ ョ ン、 そ し て そ の 確 約 を 通 し て、 ラ ム リ
サ ー チ は 原 子 ス ケ ー ル で の 技 術 を お 届 け し、 お 客 様 の 未 来 の 技 術 形 成 を 可 能 に し て い き ま す。
製品紹介
Deposition
Dielectric & hardmask films: VECTOR® PECVD/ALD family, SPEED® gapfill HDP-CVD family
Metal films: SABRE® ECD family, ALTUS® tungsten ALD/CVD family
Film treatment: SOLA® UV thermal processing family
Etch
Conductor etch: 2300® Kiyo® family, 2300® Versys® Metal family
Dielectric etch: 2300® Flex™ family
Through-silicon via etch: 2300® Syndion® family
MEMS & deep silicon etch: TCP® 9400DSiE™ family
Strip
Standalone strip: GxT®, G400®, G3D®
Integrated strip: Strip45™, Microwave Stripper
Clean
Spin wet clean: DV-Prime®, Da Vinci®, SP Series
Plasma bevel clean: 2300® Coronus® family
Support
Service, spares, upgrades, technical training
Reliant™ Systems – refurbished and newly built legacy products
Key Facts
Headquarters
Contact Information
設立 : 1980
Lam Research Corporation
4650 Cushing Parkway
Fremont, CA 94538
(510) 572-0200
(800) 526-7678
[email protected]
売上 : ~$4 Billion USD in 2013
従業員 : ~6,500
拠点 : 16 か国
NASDAQ Symbol: LRCX
[email protected]
[email protected]
[email protected]
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