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お客様各位
件名
A-210M-LD／220M-LD／
221M-LD／230M-LD ヘリウム
リ－クディテクタ更新のお願い
文書番号
Ve1301_9205-00323
発 行 日
２０１４年２月 4 日
キヤノンアネルバ株式会社
ＦＳ販売部コンポーネント販売課
拝啓 貴社益々ご隆昌の事とお慶び申し上げます。又平素は格別のご愛顧を賜り、厚く御礼申し上げます。
さて、A-220M-LD ヘリウムリークディテクタにて、筐体内部の部品が焼損する不具合が発生しております。
これは、長期間の使用に伴い電線接続端子のネジが緩み端子が焼損したものです。
今後も引き続きご使用される場合、経年変化による部品劣化やねじの緩み等による不具合が発生する可能
性が高まります。現行機種への買い替えによる更新をお勧め致します。
なお、対象機種である｢A-210M-LD／220M-LD／221M-LD／A-230M-LD へリウムリ－クディテクタ」は
２０１３年８月に保守終了と後継機種へ移行のご案内をさせて頂いております。 （A-230M-LD は２０１６年保守
終了予定）
ヘリウムリ－クディテクタのご使用中に、異常な振動や異臭を感じたり、主ブレーカーがトリップする様な現象
が発生した場合には、直ちにご使用を中止して頂き、弊社サービスにご連絡をお願いいたします。
弊社では、今後とも製品の信頼性向上に努めていく所存で御座いますので、変わらぬ御愛顧のほどお願い
申し上げます。
敬具
対応する項目を■印で選択
対象製品
処置内容
A-210M-LD／220M-LD／221M-LD／230M-LD ヘリウムリ－クディテクタ
現行機種（M-212LD／222LD／222LD-D／232LD）への買い替えを
お勧めします。
価格・納期
ヘリウムリ－クディテクタの買い替えについては、
作業時間
お近くの営業拠点またはサービス拠点へご連絡ください。
ｽｹｼﾞｭ-ﾙ
特になし
□詳細別紙
□詳細別紙
□詳細別紙
□詳細別紙
現行機種（M-212LD／222LD／222LD-D／232LD）との新旧機種の対照は、
備
考
別紙をご参照ください。
■詳細別紙
レポート区分：□製品品質① / □製品品質② / ■製品品質③
ご不明な点は、以下のＵＲＬよりお近くの営業拠点またはサービス拠点へご連絡ください。
http://www.canon-anelva.co.jp/contacts/index.html
CANON ANELVA CORPORATION
PROPRIETARY & CONFIDENTIAL
FOR CUSTOMER
VACUUM COMPONENTS
PRODUCT
INFORMATION
Ve１２０２ ９２０５－００９０９
A-210M-LD/220M-LD/221M-LD
ヘリウムリ－クディテクタ 保守対応のお知らせ
および 後継機種のご案内
ご愛顧いただいております ｢ A-210M-LD／220M-LD／221M-LD へリウムリ－クディテクタ 」 の保守対応
について、お知らせ致します。
本シリ－ズはすでにモデルチェンジによる生産終了後、すでに保守期限の 7 年以上を経過しております。
つきましては、本ご案内をもって保守終了とさせていただきます。
今後も可能な内容は保守対応を継続させていただく所存でございます。
また、現行機種として「M-212LD／222LD／222LD-D」を製造・販売しておりますので、是非ご検討いただけ
ますよう宜しくお願い致します。
A-210M-LD
A-220M-LD
A-221M-LD
該当機種 （旧製品）
＜対象機種＞
A－２１０Ｍ－ＬＤ 、 Ａ－２２０Ｍ－ＬＤ ､ Ａ－２２１Ｍ－ＬＤ
＊ いずれも生産・販売を終了しております。
＜今後の保守・修理対応について＞
対象品の保守サービスにつきましては、個別にご相談ください。
＜後継機種＞
Ｍ－２１２ＬＤ ､ Ｍ－２２２ＬＤ ､ Ｍ－２２２ＬＤ－Ｄ
＜対照表＞
タイプ
ポ－タブル
ハイパワ－
ハイパワ－ドライ
粗引きポンプ別置タイプ
該当機種（旧製品）
Ａ－２１０Ｍ－ＬＤ
Ａ－２２０Ｍ－ＬＤ
Ａ－２２１Ｍ－ＬＤ
Ａ－２００Ｍ－ＬＤ
後継機種（現行品）
Ｍ－２１２ＬＤ
Ｍ－２２２ＬＤ
Ｍ－２２２ＬＤ－Ｄ
－
備 考
Ve１２０２ ９２０５－００９０９
＜後継機種のご案内＞
M-212LD
M222LD
M-222LD-D
ヘリウムリ－クディテクタ （現行機） 仕様一覧
Ｍ-２１２ＬＤ（-Ｈ ） ※ １
型　名
バージョン
定量測定範囲　（Ｐａ ・ｍ ３ /ｓ ）
インレットポート排気速度（He)
Ｍ- ２２２ＬＤ（-Ｈ ） ※ １
Ｍ-２２２ＬＤ-Ｄ（ -Ｈ） ※ １
ハイパワードライ
コンパクト
ハイパワー
１０ － １ ２ ～１０ － ３
１０ － １ ２ ～１０ － ３
－１ ３
－ １３
（-Ｈ ：１０
～１０
－３
）
（-Ｈ ：１０
～１０
－３
１０ －１ ２ ～１０ － ３
（-Ｈ ：１０ － １ ３ ～１０ －３ ）
）
０.５（ Gross Mode）
１.８（Gross Mode）
２.０（Gross Mode）
２.０（Middle Mode）
２.０（Middle Mode）
２.０（Middle Mo de）
（ ５.０（ - H： Fin e Mo de ） ）
（ ５.０（ - H： Fin e M ode ） ）
（ ５.０（ - H： Fi n e M o de ） ）
ＮＷ２５（ ＩＳＯ）
ＮＷ２５（ＩＳＯ）
Ｎ Ｗ２５（ＩＳＯ）
（L/s)
インレットポート形状
ターボ分子ポンプ　５０Ｌ/ｓ
メインポンプ
あら引きポンプ
油回転ポンプ
１４２Ｌ /min ※ ２
油回転ポンプ
３０Ｌ/ min
ＲＳ２３２Ｃ
外部インタフェース
Ａｎａ ｌｏｇ出力（２点）・ 標準 Ｉ／Ｏ
カラー液晶
表示器
スニファプローブ　(オプション）
所要電力
スクロールドライポンプ
２５０Ｌ /min
※３
9 81-937 1型
981-93 70型
ＡＣ １００Ｖ ８Ａ
外形寸法（Ｗ×Ｈ ×Ｄ）（ｍｍ）
質　量　（ｋｇ）　AC 100Ｖ- 115Ｖ, 15Ａ
AC 100Ｖ-115Ｖ, 10Ａ
４３５×４８７×３６３
４６２×８６７×７１５
４２
７５
※１：（－Ｈ） は高感度仕様の機器です。　※２： オプションにて最大２７５ Ｌ/min のＲＰ に変更可能です。
※３：ご注文時のご指定により、115V、200V、23 0Vの電圧対応をいたします。
東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
・
エレクトロンデバイス製造装置
・
半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置
・
パネルデバイス製造装置
・
真空コンポーネント
西日本エリア 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・
各種装置関係
・
真空コンポーネント
TEL
TEL
TEL
TEL
TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708
044-980-5155
044-980-5132
044-980-5131
044-980-3503
FAX
FAX
FAX
FAX
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702
九州エリア
〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ
※
輸出に関する注意事項：
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。
※
TEL 096-385-3111
FAX 096-385-3061
http://www.canon-anelva.co.jp/
FOR CUSTOMER
VACUUM COMPONENTS
PRODUCT
INFORMATION
Ve１２０２ ９２０５－００９１９
A-230M-LD ヘリウムリ－クディテクタ
保守対応のお知らせ および 後継機種のご案内
ご愛顧いただいております ｢ A-230M-LD へリウムリ－クディテクタ 」 の保守対応について、お知らせ
致します。
本ヘリウムリークディテクタは、2009 年に生産終了いたしました。 保守対応期限は 7 年間を予定して
おります。 しかしながら、今般搭載しているターボ分子ポンプ 「TG50 本体と TC61-02 パワーサプライ」
（以下ターボポンプ） の保守対応が困難な状況となってきております。 今後も可能な内容は保守対応を
継続してまいりますが、ターボポンプに関連する修理につきましては、十分な対応が出来ない場合がござ
います事を予めご理解いただきたくお願い申し上げます。
また、現行機種として「M-232LD」を製造・販売しておりますので、是非ご検討いただけますよう宜しく
お願い致します。
A-230M-LD
（旧製品）
＜対象機種＞
Ａ－２３０Ｍ－ＬＤ
＊ 生産・販売を終了しております。
＜今後の保守・修理対応について＞
対象品の保守サービスにつきましては、２０１６年迄継続いたしますが、上記の通りターボポンプが
修理出来ない場合もございますので、予めご了承いただき、個別にご相談ください。
＜後継機種＞
Ｍ－２３２ＬＤ
＜対照表＞
タイプ
スニファ－専用
該当機種（旧製品）
Ａ－２３０Ｍ－ＬＤ
後継機種（現行品）
Ｍ－２３２ＬＤ
備 考
Ve１２０２ ９２０５－００９１９
＜後継機種のご案内＞
M-232M-LD
ヘリウムリ－クディテクタ （現行機） 仕様一覧
型　名
Ｍ-２３２ＬＤ
バ ージョン
スニファ
－８
インレットポー ト排 気速度 （He)
3
０.３Pa・ｍ /ｓ
－
インレットポー ト形 状
ターボ分子 ポンプ　５０Ｌ/ｓ
メ インポンプ
油回転 ポンプ ３０Ｌ/min
＋ダ イヤフラムポンプ
あら引きポンプ
ＲＳ２３２Ｃ
Ａ ｎａ ｌｏｇ出力（２点）・標 準 Ｉ／ Ｏ
外 部インタフェース
カラー液 晶
表 示器
ス ニファプローブ　(オプション）
所 要電力
－１
１０ ～１０
－２
５
（１０ ～１０ ｐｐｍ ）
プローブ吸 引速度
３
定 量測定範 囲　（Ｐ ａ・ｍ /ｓ）
標準
※１
ＡＣ １００Ｖ ８Ａ
外 形寸法（Ｗ ×Ｈ×Ｄ ）（ｍｍ）
435×487× 363
質 量　（ｋｇ ）　４２
※１：ご注 文時の ご指 定により、115V、200V、230Vの電圧 対応を いたします。
東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
・
エレクトロンデバイス製造装置
・
半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置
・
パネルデバイス製造装置
・
真空コンポーネント
西日本エリア 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・
各種装置関係
・
真空コンポーネント
TEL
TEL
TEL
TEL
TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708
044-980-5155
044-980-5132
044-980-5131
044-980-3503
FAX
FAX
FAX
FAX
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702
九州エリア
〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ
※
輸出に関する注意事項：
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。
性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。
※
TEL 096-385-3111
FAX 096-385-3061
http://www.canon-anelva.co.jp/