Cuピラーバンプ対応 BG用表面保護テープ BG Tape for Cu Pillar Bump Cuピラーが形成されているバンプウェハの研削に最適な BG 用表面保護テープです。 高追従性により、研削時に加わる応力を分散 (Cuピラーバンプ高さ60μmまで対応) ■ ■ UV 硬化後の粘着力低減により、バンプ付き回路面への粘着残渣なしを実現 This is a back grinding tape best suited for Cu pillar bump. ■ The tape’s special filling property disperses the stress applied onto the wafer during grinding (applicable to Cu pillar bump height up to 60µm) ■ No adhesive residue on circuit surface since adhesion is reduced by UV curing Cu ピラー埋め込み性 Conformity to Cu Pillar バンプへの追従性良好 Excellent bump absorption ウェハ表面 Encapsulation of bump after lamination バンプタイプ:Cu ピラー バンプ幅:50μm バンプ 高さ:60μm バンプピッチ:110μm ラミネーター:RAD-3510F/12 Bump type:Cu pillar Bump diameter:50µm Bump height:60µm Bump pitch:110µm Laminator:RAD-3510F/12 ウェハ断面 Cross section of BG tape peeled from bump wafer BG 用表面保護テープ剝離後の粘着残渣 Adhesive residue after BG tape peeling 粘着残渣なし No adhesive residue バンプタイプ:Cu ピラー バンプ幅:50μm バンプ 高さ:60μm バンプピッチ:110μm ラミネーター:RAD-3510F/12 Bump type:Cu pillar Bump diameter:50µm Bump height:60µm Bump pitch:110µm Laminator:RAD-3510F/12 ウェハ表面 Wafer surface Cu ピラー断面 Cu pillar section
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