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HTL
High Technology Trading & Liaison
株式会社 エイチ・
エイチ・ティー・
ティー・エル
HTL Co. Japan Ltd.
〒190-0012 東京都立川市曙町 2 丁目 16 番 6 号 テクノビル 3F
Techno Bldg. 3F, 2-16-6 Akebono-cho, Tachikawa-city, Tokyo 190-0012 Japan
TEL. 042-523-2871
Fax. 042-523-2803
2014 年 1 月
ハイデルベルクインスツルメンツ社
ハイデルベルクインスツルメンツ社の VPG 描画装置、
描画装置、国内初の
国内初の受注（
受注（VPG800）
VPG800）
（株）エイチ・ティー・エルは、取扱い製品であるハイデルベルクインスツルメンツ社（ドイツ）
の最新型 VPG800 型マスク描画装置を国内の主要なマスク製造メーカーから受注しました。
VPG800 は 800ｍｍ ｘ 800ｍｍの範囲に描画可能なレーザー方式のマスク描画装置で、サブミクロ
ンのパタンを 10 ㎚ という細かなアドレスグリッドで高速描画が可能。タッチパネルや MEMS、マイ
クロオプティクス他の微細加工の製品製造に用いられています。
最近までの景気低迷で、国内の描画装置等に対する投資はかなり抑えられて来ましたが、この数か月
は新規投資の計画が聞かれるなど、復調の兆しが見えて来ています。
国外のアジア地域では VPG 発売以来 5 年の間に 20 台を超える出荷を数えており、日本国内でもこれ
から設置台数の増加が期待されるところです。
【ハイデルベルクインスツルメンツ GmbH】
レーザー描画装置のリーディングサプライヤとして世界 40 ヶ国以上に累計 400 台を超える設置実績を
持っています。 MEMS、BioMEMS、ナノテクノロジー、ASICS 他あらゆる微細加工の先端機として
採用されています。
株式会社エイチ・ティー・エル
管理部 宮本