ターボ分子ポンプシステム
ターボ分子ポンプシステム 130905 Turbolab80_Flyer_Re0 小型ターボ分子ポンプシステム TURBOLAB 80ラボ用小型ターボ 分子ポンプシステムはいつでも 簡単に使える高真空卓上ユニッ トとして完全にアセンブリされ ています。 このシステムは以下の主構成品 で成り立っています。 ■TURBOVAC SL 80ワイドレンジ ターボ分子ポンプシステム： 機能： -統合された周波数コンバータ - 統合された空冷機構 - セラミックボールベアリング - 潤滑グリース - 排気速度 N2: 65l*s-1 - 高真空接続部：DN63 ISO-Kま たはDN 63 CF ■ 電 源 TURBOPOWER 300 24VDCを周波数コンバータに供 給 ■ 2 段、完 全 オ イ ル フ リ ー DIVAC 0.8Tダイアフラム真空ポ ンプ バックポンプとして機 能。 仕様： 排気速度：0.7m3*h-1 到達圧力：≦3mbar ■全ての接続およびシーリング 部品はシステムに組込まれてい ます。 ■真空ゲージ ■真空バルブ Basic Versionの仕様 ■手動運転 ■圧力測定はオプションITR90 ディスプレイ一体型高真空ゲー ジによる。 Full Featured Versionの仕様 ■圧力表示 ■手動または自動運転 ■運転パラメータ表示と保存 ■ PTR90と TTR90 ゲージ ヘッ ド 取付可能 ■フォアバキューム圧力測定選 択可能 ■圧力/時間のレスポンスを図 で表示 ■運転パラメータ読出用RS232 インターフェース ■ベント可能 主な特徴 ■完全オイルフリー ■低い到達圧力、炭化水素無し （10-8mbar) ■高い有効排気速度 ■コンパクトなユニット ■簡単操作 ■高信頼性 ■メンテナンスし易いデザイン ■空冷 ■高信頼性 ■基本コンポーネンツを一つの ケースに集約 主な用途 ■分光装置 ■チューブ製造 ■ビーム誘導システム ■マイクロバランス ■スパッタ、蒸着システム ■表面物理 ■ラボ用真空ポンプシステム テクニカルデータ TURBOLAB 80 Versions 吸気側フランジ 排気速度 N2 到達圧力 日本エリコンライボルト株式会社 横浜本社 〒22 2-0 033 横浜市港北区新横浜3 -23 -3 新横浜AK ビル4F Tel:04 5-4 71333 0 Fax:04 5-4 71332 3 sale s.v acu um. yh@ oer lik on. com Full Featured DN 63 ISO-K or DN 63 CF l/s mbar 65 10 -7 10-8 ターボ分子ポンプのウォーミン グアップ時間 minutes 1.5 ダイアフラムポンプDIVAC 0.8Tの 排気速度 m3/h 0.7 ダイアフラムポンプ DIVAC 0.8T の到達圧力 mbar 3 動作電圧 消費電力 88~264V 約 重量 大阪セールスオフィス Te l:0 6-6 399 -62 71 筑波技術・サービスセンターTe l:0 29839 -54 80 Basic 寸法(W x H x D) W 300 kg 14.5 mm 255 x 355 x 355 注文情報 www.oerlik on.com 本カタログ記載内容につきましては、性能向上のため予告なく 変更することがありますので、ご了承ください。 Versions TURBOLAB 80 Basic Full Featured 501590V1000 501591V1000
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