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各冷媒 １g／年の漏れとHe流量換算表　（at 25℃）
（Q=x/M×7.86E-5 [Pa.m3/s],　年 x [g], 分子量M） ver.20120207
R1234YF
R1234YF
R３２
R２２
R１３４a
R４１０a
R４０７ｃ
1.51E-6
Pa.m3/s
52
9.09E-7
Pa.m3/s
86.5
7.70E-7
Pa.m3/s
R１３４a
102.03
1.08E-6
Pa.m3/s
R４１０a
72.55
9.12E-7
Pa.m3/s
R４０７ｃ
86.2
8.06E-7
Pa.m3/s
R４０４a
μPa・s
97.57
4.21E-7
9.84E-7
5.74E-7
4.52E-7
7.47E-7
5.76E-7
5.01E-7
Pa.m3/s
Pa.m3/s
Pa.m3/s
Pa.m3/s
Pa.m3/s
Pa.m3/s
Pa.m3/s
(Factor 0.611) (Factor 0.652) (Factor 0.632) (Factor 0.587) (Factor 0.692) (Factor 0.632) (Factor 0.622)
12.29
Molecular
Weight
114
R２２
気体粘度η
Ｈｅ
6.89E-7
Pa.m3/s
R３２
Ｈｅ
R４０４a
13.1
〒354-0015　埼玉県富士見市東みずほ台1-7-18
12.7
11.8
13.9
Vacuum Technology Systems
株式会社ヴィティーエス
12.7
12.5
4.003
20.1
TEL: 049-268-6570, FAX: 049-252-6355