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E4990A 20Hz∼10/20/30/50/120MHz
インピーダンス・アナライザ
E4991B 1MHz∼500MHz/1GHz/3GHz
インピーダンス・アナライザ
真のインピーダンス測定には高確度、
広測定範囲のイピーダンス・アナライザのみが実現
E4990A インピーダンス・アナライザ、
20Hz∼10/20/30/50/120MHz
新世代4端子対オートバランス・ブリッジ採用
インピーダンス・アナライザ 4294A 後継機種
高確度測定
基本確度 0.045% 代表値、0.08% 仕様 低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能
治具の誤差を除去：オープン／ショート／ロード補正
上限周波数で 5 モデルから選択可能
20Hz∼10MHzモデルなら約 240 万円から
高速測定
3ms/ 点（ 120MHzモデル opt. 120 ）
30ms/ 点（ 10 、20 、30 、50MHzモデル）
トレースノイズ 4294A 比で 1/10に改善
等価回路解析機能搭載
4トレース／チャネル、4チャネル同時使用可能
例） Ch1：広帯域 Z 測定
Ch3：AC 依存性測定
Ch2：狭帯域 Z 測定
Ch4：DCバイアス依存性測定
使いやすい新プラットフォーム
Windows 7 embedded system
10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ
前面に2 、背面に4 個の USB I/F
小型 奥行約 30cm のコンパクト設計
E4990A Option 120
（120 MHz）
アクセサリ対応表
4端子対用フィクスチャ
E4990A 低周波モデル
（10/20/30/50 MHz）
使用可能 ケーブル長 0 m / 1 m / 2 m
16451B 誘電体テストフィクスチャ
使用可能
42941A インピーダンスプローブ
42942A + 161xxA 7mm フィクスチャ
42942A + 16454A
使用可能
120 MHzまで
磁性体テストフィクスチャ
使用不可
120 MHzモデルに
アップグレード必要
仕 様
周波数
20 Hz ∼ 10 / 20 / 30 / 50 / 120 MHz
出力信号レベル
5 mV ∼ 1 V、200 uA ∼ 20 mA
測定速度
3 ms/ 点 ＠ f> = 500 kHz、BW = 1（Fast）
測定範囲
3 m Ω∼ 500 m Ω
補正機能
オープン／ショート／ロード補正
オーダー情報
E4990A
インピーダンス・アナライザ 20Hz ∼ 10/20/30/50/120MHz
¥170,180
Opt. 120
周波数範囲 20 Hz ∼ 120 MHz
¥4,809,300
Opt. 050
周波数範囲 20 Hz ∼ 50 MHz
¥3,763,800
Opt. 030
周波数範囲 20 Hz ∼ 30 MHz
¥3,031,950
Opt. 020
周波数範囲 20 Hz ∼ 20 MHz
¥2,509,200
Opt. 010
周波数範囲 20 Hz ∼ 10 MHz
¥2,195,550
E4991B インピーダンス・アナライザ、1MHz∼500MHz/1GHz/3GHz
インピーダンスおよび材料測定の
トータルソリューションを提供
RF帯での確度を追求した
RF-IV法採用、確度保証
基本確度：0.65％（E4991A比20% 改善） 低損失キャパシタを使用した校正で高Q測定にも対応
従来のアクセサリを継承：7mmコネクタ
高速測定
E4991A比で3倍高速、
トレースノイズ1/2
4トレース／チャネル、4チャネル同時使用可能
使いやすい新プラットフォーム
10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ
前面に2、背面に4個のUSB I/F
小型 奥行約30cm のコンパクト設計
仕 様
1 MHz ∼ 5000 MHz、1GHz、3GHz
周波数
出力信号レベル Open 時
4.47 mV – 0.502 V @ all frequency
Short 時
0.0894mA – 10mA @ all frequency
測定範囲
120 m Ω ∼ 52 k Ω
測定点数
2 ∼ 1601 点
校正機能
オープン／ショート／ 50Ω／低損失キャパシタ
補正機能
オープン／ショート、フィクスチャ電気長補正
オーダー情報
E4991B
RF インピーダンス・アナライザ
Opt. 300
周波数範囲 1 MHz ∼ 3 GHz
¥5,750,250
¥262,305
Opt. 100
周波数範囲 1 MHz ∼ 1 GHz
¥4,913,850
Opt. 050
周波数範囲 1 MHz ∼ 500 MHz
¥3,868,350
Opt. 001
DC バイアス機能追加
¥314,250
Opt. 002
材料測定機能追加
¥523,750
Opt. 007
耐熱テストキット
¥733,250
インピーダンス測定のすすめ
インピーダンスにより、LCR 部品の実動作状態での特性、材料評価、半導体プロセス、構造評価が可能。
− 20Hz∼3GHzと8桁周波数の広い範囲で評価
− シミュレーションへの活用
⇒ 広いインピーダンス測定範囲が必要
⇒ DCバイアス特性など様々な条件でのデータ必要
⇒ 高確度測定必要 治具誤差補正も重要
結 論： DUT の真の特性把握は高確度、広測定範囲のインピーダンス・アナライザのみが実現
10% 測定確度範囲比較
100 M
10 M
1M
100 k
新E4990A
（オート・バランス・ブリッジ法）
1
−−
Z ＝ω
C
インピーダンス［Ω］
10 k
新E4991B
1k
（RF IV法）
100
10
ネットワーク・アナライザ
（反射係数法）
1
100 m
100 KHz
1 MHz
10 MHz 100 MHz
1 GHz
E4980A
周波数 [Hz]
テスト・アクセサリ／フィクスチャ
E4990A
10 KHz
E4991B
1 KHz
E4982A
100 Hz
E4981A
1m
10 Hz
16034E
SMD／チップ・テスト・フィクスチャ
DC∼40 MHz
¥172,118 ● ●
●
16034G
SMD／チップ・テスト・フィクスチャ
（小型SMD用）
DC∼120 MHz
¥211,999 ● ●
●
16034H
SMD／チップ・テスト・フィクスチャ
（アレイ部品タイプ） DC∼120 MHz
¥211,999 ● ●
●
16044A
4端子接触SMD／SMD／チップ・テスト・フィクスチャ
DC∼10 MHz
¥329,125 ● ●
●
16047A
4端子接続アキシュアル／ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC∼13 MHz
¥55,044 ● ●
●
16047E
アキシュアル／ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ
DC∼120 MHz
¥150,498 ● ●
●
16048A
1 mのテストリード（BNC）
DC∼30 MHz
¥65,080 ● ●
16048D
2 mのテストリード（BNC）
DC∼30 MHz
¥83,041 ● ●
16048E
4 mのテストリード（BNC）
DC∼1 MHz
16048G
1 mのテストリード（BNC）
DC∼120 MHz
¥160,783
●
16048H
2 mのテストリード（BNC）
DC∼120 MHz
¥187,231
●
16065A
外部電圧バイアス・フィクスチャ
（安全カバー付き、≦200 V DC） 50 Hz∼2 MHz
16065C
外部電圧バイアス・フィクスチャ
（≦40 V DC）
50 Hz∼1 Hz
E4990A with
42942A
Z ＝ ωL
10 m
16047E
16197A
¥83,041 ●
¥194,577 ● ●
¥98,149
●
16453A
●
16089A/B/C/D/E ケルピン・クリップリード
5 Hz∼100 kHz
¥78,498 ∼ ● ●
16092A
RFスプリング・クリップ・テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード
DC∼500 MHz
¥235,928 ● 1 ● 1 ● 2 ●
●
16192A
平行電極SMDテスト・フィクスチャ
DC∼2 GHz
¥323,303 ● 1 ● 1 ● 2 ●
●
16194A
耐熱テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード
DC∼2 GHz
¥429,370 ● 1 ● 1 ● 2 ●
●
16196A/B/C/D
平行電極SMDテスト・フィクスチャ
DC∼3 GHz
¥710,659 ∼ ● 1 ● 1 ● 2 ●
●
16197A
底面電極SMDテスト・フィクスチャ
DC∼3 GHz
¥592,521 ● 1 ● 1 ● 2 ●
●
16200B
外部DCバイアス・アダプタ
1 MHz∼1 GHz
¥657,202
16334A
SMD／チップ部品用ピンセット型テスト・フィクスチャ
DC∼15 MHz
¥101,741 ● ●
16451B
誘電体材料テスト・フィクスチャ
5 Hz∼30 MHz
16452A
液体材料テスト・フィクスチャ
20 Hz∼30 MHz
16453A
誘電体材料テスト・フィクスチャ
1 MHz∼1 GHz
¥866,073
●
16454A
磁性体材料テスト・フィクスチャ
1 kHz∼1 GHz
¥649,660
●
42941A
インピーダンス・プローブ・キット
DC∼120 MHz
¥491,068
●
42942A
4端子対構造から7 mm端子への変換用アダプタ
DC∼120 MHz
¥332,058
●
●
●2 ●
●
●
¥612,473 ● ●
●
¥1,297,152 ●
●
注記：周波数及び使用時の詳細情報については、インピーダンス・アクセサリ・ガイド（part number 5965-4792JA）を参照ください。
1：16085B との併用した場合に互換性があります。 2：3.5mm から 7mm への変換アダプタが必要です。
●
contact_ [email protected]
www.agilent.co.jp
価格は 2014 年 6 月のもので、消費税は含まれておりません。
お問い合わせ先
©Agilent Technologies. Inc. 2014
Published in Japan, May 21. 2014
5991-4652JAJP
0000-08CS