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マスフローメータ
THP-MD Series
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■
型式
型式欄にご記入頂き、そのままFAXでもOK! お見積もり、ご注文承ります。
規格
出力
タイプ
タイプ
-
THP-MD
1
2
流体名
3
継手
タイプ
流量単位 最大流量
4
5
6
シール材 オプション
口径
7
8
-
特殊ガス
-
9
10
選択項目からお選び頂き、上記型式の該当する にご記入下さい。
選択項目
2
3
4
5
∼1500 SmL/min
∼30
∼100
∼400
∼1000
∼2000
∼5000
流量表示無し
流量表示あり
RS-485 with 4-20mA
RS-485 with 0-5V
AIR
N2
O2
CO2
Ar
He
特殊 (LPG, LNG, H2・
・
・etc)
SmL/min
SL/min
特殊
接続口径
1
001
030
100
400
1000
2000
5000
記入無し
G
C
V
1
2
3
4
5
6
9
D
E
Z
最大流量(SL/min)
Mass Flowmeter
デジタル制御回路で構成され、応答性及び精度が優れている為、精密流量
測定が必要なプロセスに適した製品です。
RS-485 通信
リアルタイム測定及び積算機能を搭載
高速応答・高精度
温度・圧力を補正する必要が無く、気体の流量を正確に測定
取り付け・メンテナンスが容易
■
LOK1/8”
, 1/4
“, 3/8”
, VCR1/4
“, VCR1/2”
LOK1/8
“, 1/4”
, 3/8
“, VCR1/4”
, VCR1/2”
LOK1/4”
, 3/8
“, 1/2”
, 3/4
“, VCR1/2”
LOK1/4
“, 3/8”
, 1/2
“, 3/4”
, VCR1/2
“
LOK1/2”
, 3/4
“, VCR1/2”
LOK1/2
“, 3/4”
, 1”
LOK1”, 25Aフランジ, 40Aフランジ
6
7
8
9
10
Max.
L
V
F
Z
00
01
02
03
04
05
07
S
FKM
FKME
K
IM
最大流量を記入
LOK継手
VCR継手
フランジタイプ
その他
1/8"
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
JIS10K25A RFフランジ相当
1"
JIS10K40A RFフランジ相当
Silicon
Viton
Viton-ETP
Kalrez
積算メモリ機能 ＊1
＊1: 流量表示ありタイプのみ
仕様
最大流量(N2)
THP-MD001
THP-MD030
THP-MD100
THP-MD400
THP-MD1000
THP-MD2000
THP-MD5000
0∼1,500 sml
1.5∼30 slm
30∼100 slm
100∼400 slm
400∼1,000 SL/min
1,000∼2,000 slm
2,000∼5,000 slm
流量測定範囲
測定精度
0∼100 % of FS
≤ ± 1.0 % of FS
応答時間
≤ ± 3.0 % of FS
≤ ± 2.0 % of FS
≤ 1 sec
≤ 2 sec
直線性
≤ ± 0.2 % of FS
≤ ± 0.5 % of FS
再現性
≤ ± 0.2 % of FS
≤ ± 0.3 % of FS
最高使用圧力
25bar ※
シールタイプ
パッキン (Silicon, Viton, Viton-ETP, Kalrez, etc.)
通信機能
アナログ出力
電源
使用温度範囲
ウォームアップタイム
材質
RS-485
4∼20mA or 0∼5VDC
＋15∼24VDC(min14.5V/max.32V)/0.5A
5∼50℃ (精度保証 : 15∼35℃)
15分 (精度保証 : 30分)
SUS316L
※ 最大流量15sml以下：5bar、30sml以下：10bar、100sml以下：15barとなります。又、流体がH2、Heの場合は、50sml以下：5bar、100sml以下：8bar、300sml以下：15barとなります。
その他の圧力については、お問い合わせください。
07
差圧比較
構造図
THP-MD001∼100
Y : ΔP (bar)
X : Flow rate (SL/min)
LOK 1/4”L
0.10
THP-MD001
0.06
0.06
E
D
0.08
C
76
A
B
0
20
20
M4×0.7P 6 deep
48
5
50
200
400
700
1,000
LOK1/4”
0.14
F
M4×0.7P 6 deep
0.12
48
0.12
THP-MD030
0.10
0.01
0.08
A
LOK1/8" LOK1/4" LOK3/8" LOK1/2"
THP-MD001∼030(G) 122.74
127.32
130.36
THP-MD100(G)
128.84
131.88
137.48
型式
LOK3/4” VCR1/4" VCR1/2"
123.8
130.1
145.6
131.4
B
26.8
35
C
D
E
12.5 101.2 133.3
21 118.2 130.2
(mm)
0.06
F
0.04
0.05
0.02
14
24
0
1,500
THP-MD
F
0.03
0.02
C
76
A
B
0.05
0.04
0.04
0.03
0.02
2
0.06
4
6
8
10
14
18
22
26
30
※LOK1”
に関してはお問い合わせください。
LOK3/4”
0.75
0.65
THP-MD400∼2000
LOK1/2”
THP-MD100
0.55
0.45
0.39
0.35
0.3
0.25
0.14 0.18
0.16
0.22
0.15
0.05
LOK3/8”
0.72
0.55
THP-MD400G∼2000G
0.09
0.05 0.075
40
50
0.11 0.13
80
100
60
LOK3/4”
LOK1/2”
LOK3/8”
1.1
1.05 1.05
F
1.1
THP-MD400
E
0.9
0.85 0.8
0.8
0.65
0.6 0.6
0.45 0.45
0.32
A
B
C
0.5
0.5
D
D
0.7
0.3
0.2
0.15
0.1
100 150 200
A
B
C
I
0.3
I
250
300
350
400
LOK1/2”
H
H
LOK3/4”
2.8
G
48
G
48
A
C
D
E
F
G
H
I
型式
LOK1/4" LOK3/8" LOK1/2" LOK3/4” VCR1/2"
Ø61 27.8 150.5 130.5 14 20 M4X0.7P 5.5deep
76
128.84 131.88 137.48
145.6
131.4
THP-MD400(G)
Ø79 36.4 169 149 26.5 - M4X0.7P 6 deep
189.02
194.6
198.18
189.1
THP-MD1000(G) 130.1
198.18 198.18
90 42.4 181 161 26.5 - M4X0.7P 6 deep
THP-MD2000(G) 130.1
2.2
2
1.8
B
2.5
THP-MD1000
2.3
(mm)
1.5
1.3
1.3
1.1
0.8
500
0.85
600
1.9
1.7
1.7
1.3
2.8
700
800
900
1000
※LOK1”
に関してはお問い合わせください。
配線図
THP-MD5000
(mm)
型式
A
B
THP-MD5000_25A Ø125 4-Ø19 THRU P.C.D. 90
THP-MD5000_40A Ø140 4-Ø19 THRU P.C.D. 105
143.2
7
45°
62
A
25
B
136
129
RF FLANGE
150
250
4-M6×1.0P 10 deep
※ 専用接続ケーブル2m(片側フリー)が付属します。
マスフローメータ
THP-MD シリーズは、最大5000SL/minま
で製作が可能で、圧力条件及び継手のサイズ
によって製作可能な流量が決まります。
THP-MD001G∼100G
1
2
3
4
5
D-Sub 9 Pin
6 7 8 9
内容
Pin No. ケーブル色
1
緑
F.G ＊1
2
赤
+15∼24VDC
3
灰
RS-485 B( - )
4
青
Signal Com
5
白
N.C
6
茶
Signal Out (4-20mA or 0-5VDC)
7
黒
Power Com
8
黄
N.C
9
橙
RS-485 A( + )
＊1: F.Gを必ず接地し使用してください。
08