Q (L/min(nor)、N2ガス) P2 (M P a)

S-TORRⅤ 02シリーズ
P2-Q
0.4
P1=0.7 MPa
P1=0.5 MPa
0.35
常用流量
P1=0.3 MPa
0.3
P2 (MPa)
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
0
10
20
30
Q (L/min(nor)、N2ガス)
40
50
60
DFC-00391
DFC-00435
S-TORRⅤ02シリーズ
P2-Q
0.7
P1=1 MPa
P1=0.7 MPa
0.6
P1=0.5 MPa
常用流量
P2 (MPa)
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
110
120
Q L/min(nor) N2ガス
DFC-00401A