S-TORRⅤ 02シリーズ P2-Q 0.4 P1=0.7 MPa P1=0.5 MPa 0.35 常用流量 P1=0.3 MPa 0.3 P2 (MPa) 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 0 10 20 30 Q (L/min(nor)、N2ガス) 40 50 60 DFC-00391 DFC-00435 S-TORRⅤ02シリーズ P2-Q 0.7 P1=1 MPa P1=0.7 MPa 0.6 P1=0.5 MPa 常用流量 P2 (MPa) 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 Q L/min(nor) N2ガス DFC-00401A
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