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技術レポート No.T1316
2014.03.10
【技術資料】 GCIB-ESCA によるラミネートフィルムの深さ方向分析
概要
Ar ガスクラスターイオン銃(GCIB)を搭載した ESCA では、有機積層膜の深さ方向組成及び化学状態分析
が可能です。ラミネートフィルム※に適用した例について紹介します。
※構成：ポリプロピレン(PP)/ポリエチレン(PE)/ポリエチレンテレフタレート(PET)
分析事例
(1)深さ方向組成分析
ラミネートフィルム(PP/PE/PET)の深さ方向の層構造は図 1 の様に考えられています。表面から深さ方
向に GCIB で削りながら組成分析すると、PP、PE 及び PET の理論組成と同じ組成が得られました。また、
PE 層と PET 層への組成変化は鋭く、数十μm 厚さの有機積層膜を損傷することなくスパッタされていま
す。
100
80
深さ
方向
PE(8µm)
PET(12µm)
組成(atom%)
O
PP(23µm)
60
40
C
20
図 1 ラミネートフィルムの層構造
0
0
10
20
30
40
深さ(μm)
図 2 GCIB-ESCA による深さ方向組成分析結果
(2)深さ方向化学状態分析
深さ方向における C1s 及び O1s スペクトル変化を図 3 及び 4 にそれぞれ示します。ある深さから PET
の CO、COO 由来のピークが観測されており、各層の化学状態を反映したスペクトルが得られました。
株式会社
東ソー分析センター
営業チーム 東京事業部 TEL 0467-77-2218 FAX 0467-77-7135
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技術レポート No.T1316
2014.03.10
CC/CH
C-O
深さ
方向
295
290
285
束縛(結合)エネルギー(eV)
図 3 C1s スペクトル
280
C=O
測定強度
C-O
測定強度
COO
深さ
方向
540
535
530
525
束縛(結合)エネルギー(eV)
図 4 O1s スペクトル
材料キーワード：PP、ポリプロピレン、PE、ポリエチレン、PET、ポリエチレンテレフタレート
適用分野
その他有機製品
株式会社
東ソー分析センター
営業チーム 東京事業部 TEL 0467-77-2218 FAX 0467-77-7135
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