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電気／製品開発
テーブルコンピュータ用途の
３２インチ大型静電容量タッチパネルの開発
(株)タッチパネル研究所では新規透明導電膜を使
用してテーブルコンピュータ用途の３２インチ大型
静電容量タッチパネルの開発を実施しました。
＜特長＞
1. ＩＴＯ不採用のため、ディスプレイのコントラス
トが向上。
2. テーブル表面がフルフラットでデザイン性が高
い。
3. １０点入力可能。・完全防水（天板部分）。・テー
ブル表面が全面強化硝子。
当センターでは超深度形状測定顕微鏡観察等によ
り、使用材料の材料特性・形状評価を実施しました。
共同開発企業：(株)タッチパネル研究所 モニター事業部
電話 042-649-7651 URL http://www.touchpanel.co.jp
問 合 せ 先 : 電子技術部 電子材料チーム 金子 智
（受託研究）
電気／製品開発
ＰＧシート（防着シート）における
パーティクル発生に関する研究
半導体に代表される電子デバイスやハ
ードコーティングなど、真空装置を用い
たプロセスは必須です。この真空装置内
の付着膜が剥離し、パーティクルとなり
製品不良の一因となります。ＰＧシート
はこの付着膜の剥離を抑制し、真空装置
の維持管理をサポートするシートです。
このシートのパーティクル発生を再現
するために、当センターのスパッタリン
ＰＧシートの種類と施工方法
グ装置を用いて実際に用いられる金属薄
膜を様々な膜厚で成膜し、剥離の状況やパーティクルの発生起点の観察などにより、こ
のシートの効果や課題を見出し、その解決に向けて支援しました。
共同開発企業：株式会社サンリック 営業部開発課
電話 03-3790-0061
URL http://www.sunric.com/
問 合 せ 先 ：電子技術部 電子デバイスチーム 三橋雅彦
（受託研究）
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