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パワー半導体テストシステム
Keysight Technologies &
株式会社日本マイクロニクス
システム構成
Keysight パワー・
デバイス・アナライザ／
カーブ・トレーサ
システム概要
MCSMU
B1505A
Keysight 超大電流
エクスパンダ／
フィクスチャ
N1265A
UHC
MJC ウェーハプローバ
PW-8000
MJC プローブブロック
HC-04
※MCSMU ：Medium Current Source Measurement Unit
※UHC ：Keysight Ultra High Current Prober Extended Cable
大電流／高耐圧に対応した、ウェーハプローバ「 PW-8000 」とプローブブロック
「 HC-04」の2製品を用意いたしました。
Keysight B1505Aパワー・デバイス・アナライザ／カーブ・トレーサと超大電流エクス
パンダ／フィクスチャN1265A（ 500A/1500A・超大電流エクスパンダ）
との組合せに
より、安定かつ高精度な測定を実現します。EasyEXPERT 対応ドライバソフトも標準
装備しております。
最大3,000Vまでの高耐圧評価
1,000Aクラスの大電流・動特性評価を実現
100nH以下の低インダクタンス
従来実装後に行っていた大電流特
性検査を、ウェーハ検査工程で実行
可能にしたシステムです。
MJC ウェーハプローバ
Model PW-8000
対応ウェーハサイズ ：最大8インチ
最大測定電流
：1,200Ａ
（Pulse）
※ MJC 製コンタクタ（ HC-04 ）使用
の場合
最大電圧
：3,000V
残留抵抗
：0.1ｍΩ以下
残留インダクタンス ：100ｎＨ以下
オプション：
極薄・TAIKOウェーハ搬送システム、
温度コントローラ等
MJC大電流用プローブブロック
Model HC-04
パッドサイズ ：5ｍｍ×5ｍｍで、
1,200A以上の通電が可能。
最小ピッチ ：0.4ｍｍ
最大電圧
：3,000V
最大電流
：10A/1pin
パワー半導体テストシステム
Test System for Power Device
テスタの高速パルスを忠実に伝送するテストシステム
お問い合せ
ID
VDS
500
0.5
400
0.4
300
0.2
200
0
100
−0.2
0
−0.4
−10
−0.6
−40 −20
0
20
40
80
60
100
120
140
VDS［ V ］
ID［ A ］
400A［ Pulse 100µS ］
〒 180-8508
東京都武蔵野市吉祥寺本町 2-6-8
TEL ：0422-21-0201
FAX ：0422-21-3810
E-mail：[email protected]
URL ：http://www.mjc.co.jp
160
TIME［ µS ］
発熱を抑える高速パルス測定に対応した低インダクタンス機構
4.0
Rds［ mΩ ］
株式会社日本マイクロニクス
装置事業部 営業統括部
Keysight & Solutions Partners
3.5
200uS
100uS
50uS
3.0
2.5
2.0
Extending our solutions to meet your needs
1.5
1.0
−200
0
200
400
600
800
1000
1200
ID［ A ］
※ MJC PW-8000 と、Keysight B1505A、N1265A による測定事例
MJC PW-8000ウェーハプローバは、低インダクタンス設計により、Keysight
B1505Aパワー・デバイス・アナライザ／カーブ・トレーサの高速パルスを忠実に伝
送可能なため、デバイス自身やコンタクト接続部に発生する熱影響を極限まで軽
減します。
MJC製品ラインナップ
PW-8000
パワーデバイス測定用オートプローバ
HC-04
大電流用プローブブロック
キーサイト製品
B1505A
パワー・デバイス・アナライザ／カーブ・
トレーサ
B1510A
ハイパワー SMU
B1511A
ミディアム・パワー SMU
B1513B
高電圧 SMU
（3000V）
B1514A
中電流 SMU
N1265A
500A/1500A 超大電流エクスパンダ
キーサイト・テクノロジー合同会社
本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1
受付時間 9：00-18：00（土・日・祭日を除く）
TEL
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FAX
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Email [email protected]
www.keysight.co.jp
© Keysight Technologies, 2014
Published in Japan, October 15, 2014
5991-1487JAJP
0000-08cS