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ナノテクノロジー生産技術センター
Nanotechnology Industrial Technology Center
温度環境
Environmental temperature
恒温室内（thermostatic chamber） ±0.5℃ (ロガー実績値 actual value ±0.15℃）
加工機エンクロージャー内 （in processing machine）±0.05（Nanoform /NIC）±0.1℃（UVM-450C）
振動対策 Vibration isolation
基礎対策（ The thickness of the floor：1m）除振台設置（installed a damper in the processing machine）
クリーンレベル
cleanliness class
Class of 10,000
５軸精密微細加工機 東芝機械 UVM-450C
5axis High Precision Vertical Machine TOSHIBA MACHINE UVM-450C
空気静圧C1軸（最高800rpm)
Static pressure air bearing C axis
(MAX 800rpm）
超高精度A1軸
Ultra high precision A1axis
主な仕様 specification
Result
Surface quality： ＞Ra 3nm (Ni-P）
Form accuracy ：P-V 1μm （Φ40）
ストローク
Movable range
X・Y 450mm Z200mm
旋削時最大 Turning Max Φ650mm
制御単位
Numeric control
10nm
エアスピンドル
Air spindle
60,000rpm（3axis）/100,000rpm（5axis）
オプション
Option
Nanosmoothing・NURBS interpolation
微細溝加工 - Groove
加工実績 - The processing results
Grating
Light guide mold
Grating pitch：＜1μm
Material：AL, Ni-P
Groove shape：
V groove
Square
Application
Laser, X-rays-related
Wearable device
Ditch pitch：
about 500μm to 50μm
Material：Ni-P, SUS420J2
Groove shape：
V groove
Trapezoid
R groove
Application
Lighting system
Lenticular lens mold
Lens pitch：
about 1,000μm to
50μm
Material：Ni-P, SUS420J2
Groove shape：
R groove
Application
３Ｄ display
微細溝加工 - Groove
The A-axis use processing results
The C-axis use processing results
Highly precise
calculation
Variable angle
Freeform curve
Linear Fresnel lens
Application
３Ｄ display
Lighting system
Pyramid mold
Application
Hologram
Functional seat
Application
Biochip
Microreactor
Battery separator
フレネルレンズ – Fresnel Lens
フレネルレンズ・DOEレンズ加工
Fresnel Lens・DOE-lens
Application
加工実績 - The processing results
・Fresnel mirror
・Condenser lense
・Sensor lens
・Flash bulb lens
ドット加工 – Microdot processing
加工実績 - The processing results
マイクロドット・ディンプル加工
Microdot・Dimple processing
Dot size：About Φ0.03mm to 1mm
Material：AL, Ni-P,SUS420J2
Dot shape：Dimple,Cone
Dot amount：about 1,000 to
500,000
Micro dots
Application
Automotive meter
Micro lens array
Application
Optical
communication
devices
非球面加工機 Precitech Nanoform 700 Ultra
Diamond Turning Machine Precitech Nanoform 700 Ultra
自由曲面対応可能な４軸制御非球面
加工機としては国内最大級です。
主な仕様 specification
ストローク
Movable range
X・Y 450mm Z300mm
旋削時最大 Turning max Φ700mm
制御単位
Numeric control
0.01nm
エアスピンドル
Air spindle
10,000rpm（spindle）/ 80,000rpm（milling）
オプション
Option
FTS（Fast Tool servo） Ultracomp（Measurement unit ）
Result
Surface quality： Ra ＜1nm (Ni-P）
Form accuracy ：P-V ＜1μm （Φ200）
Ni-P加工時はRa1nm以下の
高精度・高品位な加工が可
能
surface roughness ＜Ra1nm
ミーリング、フライカットが可
能
Milling and Fly cutting
STS（スローツールサーボ）
Free form surface
processing by STS
FTS（ファストツールサー
ボ）
MLA processing by FTS
非球面レンズ加工– Aspherical Lens
RESIN-MOLDED LENS
加工実績
The processing results
・Projector-lens
・Diffusion lens
・Backlight lens
Application
Car headlight system
LED light system
Display
GLASS LENS
・IR-lens
Application
Night vision
自由曲面ミラー（ＳＴＳ）加工 - Freeform Mirror
４軸制御自由曲面加工 4axis freeform processing
ＳＴＳ（ｽﾛｰﾂｰﾙｻｰﾎﾞ）による高精度自由曲面加工
Free form surface processing by STS (Slow tool servo)
加工実績 -The processing results
Result
Size：About 220mm×80mm
Material：Ni-P（STAVAX）
Shape：Freeform
P-V：＜1μm
Ra：＜5nm
Prototype (PMMA)
ＦＴＳ加工 – Fast Tool servo
加工実績 -The processing results
Spiral shape
ＦＴＳ（ﾌｧｽﾄ ﾂｰﾙ ｻｰﾎﾞ）加工
Fast tool servo processing
High speed synchronizes a tool and
a C-axis with an air cylinder
Results
Surface quality： Ra 5nm
Microlens array
楕円振動切削加工 – Elliptical vibration cutting
加工実績 -The processing results
ダイレクト鏡面加工
脆性材加工
Direct mirror surface processing
Lens mold
Material：STAVAX
Size：Φ36mm
Surface quality： Ra 3nm to 5nm
Form accuracy ：P-V 1μm
Brittle materials processing
Glass lens
Material：BK7
Saze：Φ10
Surface quality： Ra 4nm
精密微細洗浄 – Precision Cleaning
光学部材金型洗浄機
Electrolysis washing machine for optics mold
仕様-Specification
Washable size ：400mm×350mm×120mm
品質保証 – Quality Assurance
Panasonic UA3P-500H
Zygo New View7300
ｷｰｴﾝｽ VK-X100
Contact-style shape accuracy measurement
White light interferometry Non-contactstyle surface property measurement
Laser system Non-contact-style surface
property measurement
測定範囲
Movable range
200mm×200mm×45mm
統合倍率
magnification
x200～x16,000
0.3mN（30mgf） 最小0.15mN（15mgf）
測定視野
view
0.04mm～14mm
測定力
contact pressure
75°
横方向分解能
lateral resolution
0.34μm～9.5μm
高さ測定表示分解能
verticul resolution
0.005μm
測定最大角度
measurement
maximum angle
Radius 0.2μm
Ruby：R0.5mm / diamond：R2μm
0.1nm（FDA Res：High,High 2G）
3nm（FDA Res：Normal）
20nm（FDA Res：Low）
ﾚｰｻﾞｰスポット径
Laser spot diameter
プローブ先端曲率
Probe tip curvature
垂直測定分解能
verticul resolution
フレームメモリ
frame memory
座標軸による測定
誤差
Measurement error
by the coordinate
axis
XY ＜100mm：＜0.05μm
（reproducibility ＜0.05μm）
XY ＜ 200mm：＜0.1μm
（reproducibility ＜0.05μm）
2048×1536pixels
1024×768pixels
1024×64pixels
ﾚｰｻﾞｰ光源
laser source
赤色半導体レーザー Red
semiconductor laser 658nm
出力 Output：0.95mW
RMS測定再現性
＜0.01nm
RMS measurement
reproducibility
対物レンズ
objective lens
x10 / x50 / x100
超²精密６軸微細加工機 ﾅｶﾞｾｲﾝﾃｸﾞﾚｯｸｽ NIC-700S5-N6S
6axis Super High Precision Machine Nagase-i NIC-700S5-N6S
Specification
・CNC6 axis control ・XYZ-axis：Linear motor drive
・4/5/6-axis：Oil static pressure type sliding face
・ Scale feedback 0.1nm ・Movable range XY 800mm Z 210mm
・ Maximum deployment work size Φ700mm 300kg
Ｂ-axis- Tool pivot axis
Image of 6 axis processing
A-axis- Tool
pivot axis
C-axis- Workpiece
rotation axis