アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <油回転真空ポンプ> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 2002年製 備考 排気速度:150L/m 吸気口:φ 28×φ 19 ポンプ部分のみ(モーター及びベースなし) RS12-1063 油回転真空ポンプ PVD-180 ULVAC 1-73468 RS13-2195 油回転真空ポンプ D-650D ULVAC 1-03054 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 ポンプ部分のみ(モーター及びベース無し) RS13-1012 油回転真空ポンプ VD-301 ULVAC NB63A-52474 排気速度:500L/m 吸気口 KF40変換ポード付き 排気口:VG-40 オイルイストトラップ付き 未整備 ☆ RS13-8116-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-01354 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8117-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-01713 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8118-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-02017 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8119-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-01749 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8120-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-01728 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8121-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-02016 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8122-0A ロータリーポンプ VD-301 ULVAC A63A-01357 排気速度:500L/m 吸気口:VG-40 排気口:VG-40 ☆ RS13-8123-0A ロータリーポンプ EC-803 ULVAC A22A-01694 排気速度:1340L/m 吸気口:VG-50 排気口:VG-40 RS10-2018 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC A36A-00854 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 油回収機構D付 RS10-2061 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC A36A-03120 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 RS10-2159 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC - 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 (2台、要無害化洗浄整備) RS13-2013 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC A36A-05463 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 TCO装置のコンポーネント。ITO付着 RS13-2016 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC A36A-03834 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 TCO装置のコンポーネント。ITO付着 RS13-2017 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC A36A-03250 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 TCO装置のコンポーネント。ITO付着 RS13-2020 油回転真空ポンプ VS-2401 ULVAC A36A-04866 排気速度:4000L/m 吸気口:VG80 排気口:VG50 TCO装置のコンポーネント。ITO付着 RS04-8052 油回転真空ポンプ 2010C1 アルカテル 334781 無害化処理が必要 RS11-1250 油回転真空ポンプ DW-720 佐藤真空製 1108091 2011年製 排気速度:720L/min 到達圧力:6.7×10-2 Pa 吸気口径:VG-40A 新規購入後、一般空気を1day排気しただけのほぼ新古品 RS12-1441 油回転真空ポンプ SV-300 Leybold NSS59 2010年製 未使用品。 排気速度:240m3/h、到達圧力:8Pa、 電源:AC200V、重量:200kg、排気口:2"G(BPS) RS12-1442 油回転真空ポンプ SV-300 Leybold NSS58 2010年製 未使用品。 排気速度:240m3/h、到達圧力:8Pa、 電源:AC200V、重量:200kg、排気口:2"G(BPS) <油回転真空ポンプ部品> 中古品番号 品名 RS11-1259 RS09-1573 RS12-1064 RS12-1065 RS12-1066 RS12-1067 オイルミストトラップ【4個】 オイルミストトラップ コンデンサーモーター コンデンサモーター コンデンサモーター コンデンサモーター 型式 TM-2 TMX-2 TYPE EFOU TYPE EFOU TYPE EFOU TYPE EFOU メーカー ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 製造番号 製造年 備考 シリアル無し 2009年製 PKS-016用 オイルミストトラップ オイルエレメント交換要 【全4台】 - 2002年製 2002年製 2002年製 2002年製 状態良好 1 単相、100V、200W、4P、分相始動 単相、100V、200W、4P、分相始動 単相、100V、200W、4P、分相始動 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <油拡散ポンプ> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS12-1247 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01500 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1248 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01965 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1249 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01508 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1250 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01507 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1251 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01502 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1252 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01509 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1253 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01338 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1254 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01333 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1255 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01580 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS12-1256 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01504 2000年製 排気速度:1100L/S、吸気口:VG150、排気口:VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷バッフル付、 (排気ガス:Ar、Air) RS13-2004 油拡散ポンプ CDP-3700 ANELVA 1539 スパッタ装置SPC-530Hに使用。(水冷バッフル無し) <メカニカルブースターポンプ> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 RS10-2170 メカニカルブースターポンプ PMB-012CM ULVAC A17A-01174 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 大気駆動型 フォンブリン仕様(要無害化処理) RS12-1443 RS09-1418 RS09-1419 RS10-2112 RS10-2114 RS10-2117 メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ PMB-012CM PRC-012A PRC-012A PRC-012A PRC-012A PRC-012A ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC - 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 大気駆動型 A69A-01742 A69A-01732 A69A-01172 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 RS10-2118 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01173 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS10-2120 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01177 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS10-2121 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01171 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS10-2123 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01750 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS10-2126 RS10-2128 RS10-2616 メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ PRC-012A PRC-012A PRC-012A ULVAC ULVAC ULVAC A69A-01748 A69A-01749 A69A-00815 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 RS11-3125 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01774 2004年製 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS11-3127 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01775 2004年製 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS11-3128 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A69A-01745 2004年製 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS11-3129 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A68A-01022 2004年製 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS11-3130 メカニカルブースターポンプ PRC-012A ULVAC A68A-00960 2004年製 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 インバータ付 大気駆動型 RS11-8069 RS13-3083 RS13-3084 RS13-3085 RS13-3086 RS11-2064 RS11-2065 メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ メカニカルブースターポンプ PRC-012A PRC-012A PRC-012A PRC-012A PRC-012A PRC-012AS PRC-012AS ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC A69A-02252 A69A-02711 A69A-02714 A69A-02718 A69A-02723 RS12-1430 メカニカルブースターポンプ PMB-024CM ULVAC A19A-00535 RS12-1223 メカニカルブースターポンプ EH500 EDWARDS 006700640 備考 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 美品 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 美品 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 排気速度:16700L/m 吸気口:VG-100 付属品無し 排気速度:16700L/m 吸気口:VG-100 付属品無し 排気速度:16700L/m 吸気口:VG-100 付属品無し 排気速度:16700L/m 吸気口:VG-100 付属品無し 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 排気速度:16700L/m 吸気口VG100 2 排気速度:33300L/m 吸気口VG200 未整備 モーター380V ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <クライオポンプ ULVAC製> 中古品番号 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ RS13-8112-0A RS13-8115-0A RS13-3058 RS13-3059 RS13-3061 RS13-3062 RS13-3063 RS13-3064 RS13-3065 RS13-3066 RS13-3067 RS13-3068 RS13-3069 RS13-3070 RS13-3071 RS13-3072 RS13-3073 RS13-3074 RS13-3075 RS13-3076 RS13-3077 RS13-3078 RS12-1172 RS12-1173 RS11-8089-0A RS11-8135-0A RS04-8067 RS07-2659 RS07-2682 RS08-2099 RS08-2699 RS09-1023 RS09-2785 RS11-2375 RS11-2519 RS11-2546 RS11-8001 RS13-8099-0A 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオコンプレッサー クライオフレキホース クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプヒーター クライオポンプ クライオポンプ C15R C15V C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30VR C30ZR C30ZR C30ZR C30Z 10m×2本 U-6H U-6H U-6H U-6H U-6H U-6H U-6H U-6H U-6H U-8H U8H ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC DE1401 XC1312G XC1313G XC1315G XC1316G XC1317G XC1319G XC1320G XC1326G XC1329G XC1331G XC1332G XC1333G XC1334G XC1335G XC1336G XC1337G XC1338G XC1339G XC1344G XC1359G CS1243 CS1237 CS1013 97-008(CJ1033) 0512140D 0101098D 排気速度:1700L/S 吸気口:ICF253 温度計:MBS RS04-8001 クライオポンプ U-8H-U ULVAC 703506 排気速度:1700L/S 吸気口:VG200 温度計:H2VP 無害化洗浄必要 RS04-8062 クライオポンプ U-8H-U ULVAC 9012074 RS10-8057 クライオポンプ U-10PU ULVAC 9803129 RS07-2727 RS09-1005 RS13-8100-0A RS13-3035 RS13-3036 RS13-3037 RS13-3038 RS13-3039 RS13-3040 RS13-3041 RS13-3042 RS13-3043 RS13-3044 RS13-3045 RS13-3046 RS13-3047 RS13-3048 RS13-3049 RS13-3050 RS13-3051 RS13-3052 RS13-3053 RS13-3054 RS13-3055 RS13-3056 クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ U-10PUS U-10PUS U10PUS U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP U12H-SP ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 排気速度:1700L/S 吸気口:VG200 温度計:H2VP MBS付、空きポートに電磁弁+VLP-U1S付、 空きポートに大気確認器付。 排気速度:2300L/S 吸気口:VG250 温度計:H2VP 0101221 0609014 0609015 0609017 0609018 0609019 0809025 0609026 0609027 0609028 0609029 0609030 0609031 0609032 0609033 0609034 0609036 0609040 0609041 0609019 0811539 0811540 0811542 RS08-2698 クライオポンプ U-12HSP ULVAC RS10-2231 クライオポンプ U-12HSP ULVAC RS07-3001 クライオポンプ U-22H ULVAC 排気速度:17000L/S 吸気口:VG550 フレキホース2本のみ付属 MBS付き クライオポンプ クライオポンプ スーパートラップ温調器 クライオメーター クライオメーター U-22H U-26H STC-1(INV) MBD MBD ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 排気速度:17000L/S 吸気口:VG550 本体のみ RS07-3002 RS11-2502 RS11-8035 RS13-8104-0A RS13-8105-0A 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 付属品:電源、冷凍機ケーブル・リモート入出力コネクタ 0003095D 9612407D 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 未使用品 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 9801623D 98046830 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 急速再生仕様 LGモーター 排気速度:750L/S 吸気口:VG150 U-6H用バンドヒータ 【2式】 付属品:バンドヒーター(型式RBH-8) 排気速度:2300L/S 吸気口:VG250 MBS付き LGモーター 付属品:再生用バンドヒーター(型式:RBH-10) 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 付属品無し 排気速度:4100L/S 吸気口:メタルガスケットフランジ 低振動モーター 0007333/0009377 2003年製 排気速度:4100L/S 吸気口:UVG300 美品【2台】 排気速度:17000L/S 吸気口:VG550 S-0823A 00121836N 00121837N 3 2005年製 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <クライオポンプ 他社製> 中古品番号 RS11-2238 RS11-2237 RS11-2235 RS11-2236 RS11-2233 RS11-2231 RS11-2232 RS11-2230 RS11-2240 RS11-8108 RS11-8109 品名 クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプ クライオポンプコントローラ スーパートラップ スーパートラップ 型式 CRYO-T8C ONBOAD WATER PUMP ONBOAD10F ONBOAD10F ONBOAD8 Torr8F Torr8F Torr8F NETWORK K TERMINAL T8SN T8SN メーカー HELIX HELIX HELIX HELIX HELIX HELIX HELIX HELIX HELIX UCI UCI 製造番号 製造年 S/N9912441 S/N:MK9709651 S/NK07686623 S/NQK9709711 S/NG10898859 S/N70C9529467 S/N70C9530128 S/N:70H9638328 S/N95H9703096 0706582 0103767 備考 付属品S/N:RFB220LG UFC-253 <ターボ分子ポンプ ULVAC製> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m RS13-2149 ターボ分子ポンプ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0081 RS13-2150 ターボ分子ポンプ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0083 ☆ RS13-2226-0A ターボ分子ポンプ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F 0359 2008年製 ☆ RS13-2227-0A ターボ分子ポンプ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F 0360 2008年製 ☆ RS13-2228-0A ターボ分子ポンプ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F 0370 2008年製 ☆ RS13-2229-0A ターボ分子ポンプ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F 0368 2008年製 CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 コントローラ無し、ケーブル無し CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m RS13-2141 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0453 RS13-2142 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0449 RS13-2143 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0451 RS13-2144 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0450 RS13-2145 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0455 RS13-2146 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0428 RS13-2147 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0447 RS13-2148 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0448 RS13-2022 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0206 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2023 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0205 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2024 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0222 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2025 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0219 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2026 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0220 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2027 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0221 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2028 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0207 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) RS13-2021 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0148 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-2300W)ケーブル(20m) 4 CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト RS13-2101 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0412 CVD非ガス雰囲気で使用。 付属品:コントローラー(FTI-2300WD3)、 電源ケーブル、TMP/コントロール間(20m) RS13-2103 ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0396 CVD非ガス雰囲気で使用。 付属品:コントローラー(FTI-2300WD3)、 電源ケーブル、TMP/コントロール間(20m) RS13-2029 ターボ分子ポンプ UTM-3301FW/D1ZULVAC 3301F0201 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-3301W)、ケーブル(20m) RS13-2030 ターボ分子ポンプ UTM-3301FW/D1ZULVAC 3301F0243 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-3301W)、ケーブル(20m) RS13-2032 ターボ分子ポンプ UTM-3301FW/D1ZULVAC 3301F0274 CVD使用品。使用ガス:SiH4、PH3、B2H6。 付属品:コントローラー(FTI-3301W)、ケーブル(20m) RS11-3036 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0282 コントローラ付属なし フランジサイズ:VG350 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 RS11-3037 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0284 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付(故障中・ 茅ヶ崎保管)コントローラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 RS11-3039 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0326 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付 コントロー ラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 RS11-3040 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0268 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付 コントロー ラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 RS11-3041 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0269 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付 コントロー ラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 RS11-3043 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0290 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付 コントロー ラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 RS11-3044 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1AULVAC 3302H0289 RS11-3047 ターボ分子ポンプ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0272 ☆ RS13-2221-0A ターボ分子ポンプ UTM-3303FH/D3AULVAC 3303H 0452 2008年製 ☆ RS13-2222-0A ターボ分子ポンプ UTM-3303FH/D3AULVAC 3303H 0626 2008年製 ☆ RS13-2223-0A ターボ分子ポンプ UTM-3303FH/D3AULVAC 3303H 0701 2008年製 ☆ RS13-8101-0A RS13-2179 RS13-2224-0A RS13-2225-0A ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー UTM500 UTM-500FW FTI-3301WーD3 FTI-3301WーD3 ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC O5OPS20 050F016 3301F 0374 3301F 0373 2008年製 2008年製 RS11-2535 ターボ分子ポンプコントローラー UTM-1200FW ULVAC ☆ ☆ 2004年製 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付 コントロー ラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 フランジサイズ:VG350 付属品: コントローラ:FTI-3302W付 コントロー ラ用電源ケーブル付(1m) 履歴 : MgOインライン蒸着装置(ECH-150)で使用 CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ、ケーブル20m CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 コントローラ無し、ケーブル無し CVD使用品。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品:コントローラ付き、ケーブル無し 本体のみ、水冷式、吸気口:UFC-203(メタルガスケット) 排気口:NW40 付属品:ケーブル20m 付属品:ケーブル20m 動作未確認。軸オイルは入っていない。 コントローラーケーブル付きフルセット 5 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <ターボ分子ポンプ 他社製> 中古品番号 型式 メーカー 製造番号 製造年 STP-300 エドワーズ 1084A RS13-2181 ターボ分子ポンプ TG1810VM 大阪真空 G1810-1292 本体のみ、水冷式、吸気口:VG250 排気口:NW40、 オイル付き、取扱説明書無し RS13-2186 ターボ分子ポンプ TG200 大阪真空 G200-966 空冷式。 吸気口:VG100 排気口:NW25、 取扱説明書無し コントローラ:TC-200付き ターボ/電源間ケーブル付き、電源ケーブル 切断、IOケーブル切断 CVD装置の予備ポンプ RS09-1474 ターボ分子ポンプ TMP-202LM 島津製作所 RS13-2182 ターボ分子ポンプ TMP280 島津製作所 406134 本体のみ、空冷式、吸気口:ICF152 排気口:NW25、 オイル・Cuガスケット付き、取説無し RS13-2183 ターボ分子ポンプ TMP280 島津製作所 222 本体のみ、空冷式、吸気口:ICF152 排気口:NW25、オイル・Cuガスケット付き、取説無し RS13-2184 ターボ分子ポンプ TMP280LC 島津製作所 6309 本体のみ、水冷式、吸気口:VG100 排気口:NW25、 オイル付き、取説無し ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ TMP-403LM TMP-403LM TMP-1003LM TMP-1003LM TMP-1003LM TMP-1003LM TMP-1003LM TMP-1003LM TMP-1003LM TMP-1003LM 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 HZL026 FZL182 O-ring 本体のみ TMP-2203-LM(O) 島津製作所 UZG035 RS13-8015-0A ターボ分子ポンプ MZM092 FZM214 MZM457 DZM031 NZM230 RS11-2253 RS11-2254 ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ TPU1501PC TPU1501PC PFEIFFER PFEIFFER S/N:13882198 S/N:14072840 RS13-2180 ターボ分子ポンプ TS440VW 大阪真空 S440-485 RS09-1583 RS09-1199 RS09-1487 RS11-8131 RS11-8127 RS11-8128 RS11-8130 RS11-8132 RS13-2191 RS13-2193 RS11-2246 RS10-2660 ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー ターボ分子ポンプコントローラー TURBOVAC361C EI-1003M EI-202M EI-303M EI-303M EI-303M EI-D303M TC200 TC200 TCP380 EI-D1303M ライボルト 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 島津製作所 大阪真空 大阪真空 PFEIFFER 島津製作所 AH60 FZR138 FZR118 FZR044 LKB254 A058678-47 A058678-58 S/N:7007900 1997年製 備考 ターボ分子ポンプ RS08-8010 RS08-8011 RS09-1475 RS09-1477 RS10-8003 RS11-8094 RS11-8095 RS13-1011 RS10-8002-0A RS11-8124 ☆ 品名 RS11-1202 ※UTM-50 VULP-65付属 ※良好 O-ring 本体のみ 2006年製 ICF ICF コントローラー(EI-1003M)S/N:ZGA109 ハンドヒーター ICF コントローラー(EI-1003M)S/N:GZS160 ハンドヒーター 付属品:コントローラ EI-R04M(S/N:URA458)、ケーブル(10m)。 プラズマ処理装置に使用。 吸引ガス:Ar ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N:PMP03697 ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N:PMP03697 本体のみ、水冷式、吸気口:VG150 排気口:NW25、 取扱説明書無し コントローラ:TC-400付き。電源ケーブル切断、IOケーブル切断 CVD装置の予備ポンプ コントローラーのみ、ケーブル無し、取扱説明書無し コントローラーのみ、ケーブル無し、取扱説明書無し 本体のみ M/N:PMC01490 【2台】 6 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <ドライポンプ> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS11-1256 ドライポンプ ER-150 ULVAC A96A-00016 排気速度 2500L/m 吸気口;NW50 排気口;NW40 RS12-1288 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00657 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 ケーブル切断/サイレンサ・コネクタ付属 取扱説明書無し RS13-2049 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00032 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2050 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00372 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2051 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00422 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2052 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00034 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2053 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00485 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2054 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00100 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2055 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00021 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2056 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00020 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2105 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00887 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 RS13-2106 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00924 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 RS13-2125 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00025 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2126 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00362 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2127 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00022 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2128 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00031 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2129 ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00023 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 使用ガス:SiH4・PH3・B2H6。 ケーブル切断(コネクタ部残留) ☆ RS13-2216-0A ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-01068 2008年製 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 ☆ RS13-2217-0A ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-01067 2008年製 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 ☆ RS13-2218-0A ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00878 2008年製 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 ☆ RS13-2219-0A ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00886 2008年製 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 ☆ RS13-2220-0A ドライポンプ LR-180 ULVAC A85A-00908 2008年製 排気速度 3000L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 CVD使用品 非プロセス室に使用 RS13-2033 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2923-2 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2034 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2991-1 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2036 ドライポンプ LR-1800 ULVAC CK04-6031-2 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2041 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2921-1 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2042 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2990-1 RS13-2043 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2991-2 RS13-2044 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2921-2 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2045 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2923-1 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2046 ドライポンプ LR-1800 ULVAC YK04-0027-1 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2047 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2990-3 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2048 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2991-3 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) 7 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 ケーブル切断(コネクタ部残留) ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト RS13-2037 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2991-4 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2038 ドライポンプ LR-1800 ULVAC A1034-10409 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2039 ドライポンプ LR-1800 ULVAC NK03-2990-4 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2040 ドライポンプ LR-1800 ULVAC YK04-0027-2 排気速度 28000L/m 吸気口;VG150 CVD使用品。使用ガス:SiH4・PH3・B2H6 サイレンサ付属 ケーブル切断(コネクタ部残留) RS13-2172 ドライポンプ LR1800特 ULVAC A85A-03232 排気速度:28000L/m 吸気口:VG150 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS13-2173 ドライポンプ LR1800特 ULVAC A85A-01233 排気速度: 28000L/m 吸気口:VG150 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS13-2132 ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10237 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS13-2133 ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10013 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS13-2134 ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10233 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS13-2135 ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10296 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS13-2136 ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10236 CVD使用品。 付属品:コネクタのみ。 使用ガス:SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2 RS11-8146 ドライポンプ PDR-090CLN ULVAC - 排気速度 1800L/m 吸気口;VG80 排気口;NW40 本体のみ RS08-8029 RS08-8030 ドライポンプ ドライポンプ A30W A30W EBARA EBARA C60132 C61435 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50、コネクター破損 RS12-1126 ドライポンプ A30W EBARA CA0200 2000年製 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50 RIE装置に使用。 使用ガス:CF4・O2・Ar RS12-1128 ドライポンプ A30W EBARA C70771 2000年製 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50 RIE装置に使用。 使用ガス:CF4・O2・Ar RS12-1129 ドライポンプ A30W EBARA C80285 2000年製 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50 RIE装置に使用。 使用ガス:CF4・O2・Ar RS12-1130 ドライポンプ A30W EBARA CA0191 2000年製 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50 RIE装置に使用。 使用ガス:CF4・O2・Ar RS12-1127 ドライポンプ A30W EBARA C40290 2000年製 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50 RIE装置に使用。 使用ガス:CF4・O2・Ar RS12-1336 RS08-8032 ダイアフラム ダイアフラムポンプ DA-120D DA-241S アルバック機工 72315 アルバック機工 00153 RS12-1284 スクロールポンプ DVS-321 アルバック機工 563532 RS11-2527 RS09-1478 RS09-1480 ドライポンプ ドライポンプ ドライポンプ DVSL-500B QDP80 QDP80 アネスト岩田 EBARA EBARA RS12-1134 ドライポンプ RD90-1 樫山 02I0673 2002年製 排気速度:1300L/min 到達圧力:2.7Pa 吸気口:NW50 半導体、液晶製造装置の軽負荷プロセス排気用ポンプ ハードプロセス不向き。 RS12-1139 ドライポンプ RD90-1 樫山 01B0410 2002年製 排気速度:1300L/min 到達圧力:2.7Pa 吸気口:NW50 半導体、液晶製造装置の軽負荷プロセス排気用ポンプ ハードプロセス不向き。 RS12-1325 RS12-1326 RS12-1327 RS12-1328 RS12-1329 RS12-1330 ドライポンプ ドライポンプ ドライポンプ ドライポンプ ドライポンプ ドライポンプ SD60VⅡ SD60VⅡ SD60VⅡ SD60VⅡ SD60VⅡ SD60VⅡ 樫山 樫山 樫山 樫山 樫山 樫山 排気速度:3000L/min 吸気口:NW50 排気速度:240L/min 吸気口:Odφ 16×Idφ 12 排気速度:240L/min 吸気口:Odφ 16×Idφ 12 作動時間;12382.3hr 吸気口;KF25 排気口;KF16 ケーブル切断 取扱説明書無し 排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40 排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40 排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40 排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40 排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40 排気速度:1000l/min 吸気口:VG40 排気口:NW40 <排気セット> 中古品番号 RS11-1156 RS09-2124 品名 超高真空排気装置 排気セット 型式 XYZステージ DP40+EH250 メーカー ULVAC EDWARDS 製造番号 シリアル無し 5274A/7270FF 8 製造年 備考 CR(解放)保管。 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <真空バルブ ULVAC製> 中古品番号 RS07-2852 RS08-2050 RS12-1077 RS12-1078 RS09-8077-0A RS09-8026-0A RS09-8027-0A RS11-2153 RS11-2154 RS11-2073 RS11-2074 RS11-2155 RS11-2156 RS12-1295 RS09-8028-0A RS09-8029-0A RS09-8030-0A RS09-8032-0A RS09-8033-0A RS12-1274 RS09-8038-0A RS09-8041-0A RS09-8042-0A RS09-8043-0A RS09-8044-0A RS09-8045-0A RS09-8046-0A RS12-1263 RS12-1264 RS12-1257 RS12-1258 RS12-1259 RS12-1260 RS12-1262 RS12-1108 RS12-1275 RS09-8047-0A RS09-8048-0A RS09-8049-0A RS09-8050-0A RS09-8051-0A RS11-3142 RS09-8052-0A RS09-8053-0A RS09-8054-0A RS09-8055-0A RS09-8056-0A RS09-8057-0A RS09-8058-0A RS09-8059-0A RS09-8060-0A RS12-1273 RS09-8061-0A RS09-8062-0A RS09-8063-0A RS09-8064-0A RS09-8065-0A RS09-8066-0A RS12-1265 RS12-1266 RS12-1267 RS12-1268 RS12-1269 RS12-1270 RS12-1271 RS12-1272 RS11-1217 RS11-2534 RS09-8075-0A RS11-1215 RS11-1216 RS09-8076-0A RS09-1150 RS09-8069-0A RS09-8070-0A RS09-8071-0A RS09-8072-0A RS09-8073-0A RS09-8074-0A RS11-1014 RS11-1015 RS11-1016 RS11-1017 品名 オリフィスバルブ 仕切弁 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 型式 12in 70×430 VLP-01 VLP-01 VLP-8R VLPA-50KF VLPA-50KF VLP-U06AW VLP-U06AW VLP-U06SW-R VLP-U06SW-R VLP-U3/4S VLP-U3/4S VLP-U3/4S VLP-U1 VLP-U1 VLP-U1 VLP-U1 VLP-U1 VLP-U1 1/2S VLP-U1_1/2 VLP-U1_1/2 VLP-U1_1/2 VLP-U1_1/2 VLP-U1_1/2 VLP-U1_1/2 VLP-U1_1/2 VLP-U10S VLP-U10S VLP-U14S VLP-U14S VLP-U14S VLP-U14S VLP-U14S VLP-U1S VLP-U1S VLP-U1SW VLP-U1SW VLP-U1SW VLP-U1SW VLP-U1SW VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2 VLP-U2S VLP-U2S VLP-U2S VLP-U2S VLP-U2S VLP-U2S VLP-U2S VLP-U6S VLP-U6S VLP-U6S VLP-U6S VLP-U6S VLP-U6S VLP-U6S VLP-U6S VULP-100CM VULP-150F VULP-200CM VULP-25(旧型) VULP-25(旧型) VULP-250CM VULP-25CM VULP-25F VULP-25F VULP-25F VULP-65CM VULP-65F VULP-65F VAP-200Ⅱ VAP-200Ⅱ VAP-200Ⅱ VAP-200Ⅱ メーカー ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 製造番号 831734 000002 000004 068772 068771 070277 070276 800456 800361 800111 010427 017451 021755 021311 021702 517253 518203 518215 518244 518246 518249 518250 510332 102579 102581 147210 147231 174278 174281 147232 021415 0170001 0170002 0170004 0170019 0170034 028891 027242 028933 028935 028942 028953 028995 029006 029022 029065 020626 021536 021537 021544 021551 021552 221041 068673 068671 068672 068674 067358 067357 067811 067359 P951302 製造年 2002年製 2002年製 備考 状態良好 圧空式 JIS規格 1inフランジ 状態良好 圧空式 JIS規格 1inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 圧空式 JIS規格 3/4inフランジ 圧空式 JIS規格 3/4inフランジ 2000年製 動作未確認 圧空式 JIS規格 3/4inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ サイレンサー付き(ベント用) 圧空式 JIS規格 1inフランジ 2000年製 動作未確認 圧空式 JIS規格 1.5 inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 圧空式 JIS規格 1 1/2inフランジ 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 1989年製 2000年製 動作未確認 圧空式 JIS規格 10inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 10inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 14inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 圧空式 JIS規格 1inフランジ 2004年製 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 2000年製 動作未確認 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 圧空式 JIS規格 2inフランジ 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 2000年製 1997年製 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 動作未確認 圧空式 JIS規格 6inフランジ 良好。 未使用品 P200075 シリアル無し シリアル無し P250036 1997年製 1997年製 良好。 良好。 P250774 P252851 P252855 P651125 P650867 P650887 美品 動作未確認 JIS規格 8inフランジ 美品 動作未確認 JIS規格 8inフランジ 美品 動作未確認 JIS規格 8inフランジ 美品 動作未確認 JIS規格 8inフランジ 9 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 RS12-1432 RS12-1433 RS12-1434 RS12-1435 RS12-1438 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ VAP-200Ⅱ VAP-200Ⅱ VAP-200Ⅱ VAP-200Ⅱ VAP-250Ⅱ ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC MN03-0347-8 MN03-0347-3 MN03-0347-4 MN03-0347-5 000102 RS12-1437 真空ゲートバルブ VAP-250Ⅱ ULVAC 000098 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バタフライバルブ VAP-250Ⅱ VAP-300WⅡ VAP-300WⅡ VAP-300WⅡ VAP-300WⅡ VAP-300WⅡ VAP-300WⅡ VUGP-40 VULH-65C VLH-2 VLH-2 VLHC-3 VUH-251C VUH-251C VUH-251C VUH-651 VULH-40 ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 000103 000186 000183 000188 000189 000185 000184 P400182 H650189 - RS12-1439 RS11-2147 RS11-2148 RS11-2149 RS11-2150 RS11-2151 RS11-2152 RS09-8067-0A RS09-8068-0A RS12-1075 RS12-1076 RS12-1074 RS12-1068 RS12-1069 RS12-1070 RS12-1071 RS12-1072 RS09-2648 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト 圧空式 未使用 JIS規格 8inフランジ 圧空式 未使用 JIS規格 8inフランジ 圧空式 未使用 JIS規格 8inフランジ 圧空式 未使用 JIS規格 8inフランジ 圧空式 未使用 JIS規格 10inフランジ 圧搾空気動作式真空ゲートバルブ 未使用 仕様書:無し 取説:無し 圧空式 未使用 JIS規格 10inフランジ 圧空式 未使用 取扱説明書:なし 圧空式 未使用 取扱説明書:なし 圧空式 未使用 取扱説明書:なし 圧空式 未使用 取扱説明書:なし 圧空式 未使用 取扱説明書:なし 圧空式 未使用 取扱説明書:なし UFC114 手動 2002年製 2002年製 2002年製 2002年製 2002年製 2002年製 2002年製 2002年製 要無害化処理。 要無害化処理。 ICF-070 ICF-070 ICF-070 整備後、引渡し 状態良好。 要無害化処理。 ICF070 10 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <真空バルブ 他社製> 中古品番号 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ RS13-8009-0A RS13-8012-0A RS13-8010-0A RS13-8011-0A RS10-8024 RS10-8025 RS09-8009-0A RS09-8010-0A RS09-8011-0A RS09-8012-0A RS09-8013-0A RS09-8014-0A RS09-8015-0A 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 圧力制御バルブ+バルブコントローラ 656A100IKKVVN+655AD2BJ MKS 高真空ゲートバルブ 12146-JA14 VAT 高真空ゲートバルブ(Oリング回転軸シール)14048-JE44 VAT 高真空ゲートバルブ(Oリング回転軸シール)14048-JE44 VAT 真空L型バルブ 1-800-345-1967 MKS 真空L型バルブ 1-800-345-1967 MKS 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 真空L型バルブ 26328-KA11-0001VAT 017067580 + 017669753 不明 不明 不明 9928670041 9928670044 0158 0241 0247 0250 0251 0252 0253 RS10-2762 真空L型バルブ KA21 - RS09-8016-0A RS09-8017-0A RS09-8018-0A RS09-8019-0A RS09-8020-0A RS09-8021-0A RS09-8023-0A RS11-2163 RS11-2164 RS11-2165 RS11-2166 RS09-8024-0A RS11-2082 RS11-2084 RS09-8025-0A RS09-8008-0A RS11-2226 RS11-2227 RS11-2222 RS11-2067 RS11-2068 RS11-2072 RS11-2070 RS11-2066 RS11-2069 RS11-2071 RS11-1160 RS11-1158 RS06-2823 RS11-2229 RS07-2961 RS11-2223 RS11-2224 RS11-8017 RS07-2931 RS09-8006-0A RS09-8007-0A RS11-2257 RS11-2077 RS11-2078 RS11-2171 RS11-2172 RS11-2173 RS11-2174 RS09-1149 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空L型バルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空ゲートバルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ 真空手動バルブ APCバルブ Series 24(KF-25) VAT Series 24(KF-25)VAT Series 26(KF-16)VAT Series 26(KF-16)VAT Series 26(KF-40)VAT Series 26(KF-40)VAT XLC-40-X559 SMC XLG25 SMC XLG25 SMC XLG25 SMC XLG25 SMC XLG-25 SMC XLG25-M9NC SMC XLG63-M9NC SMC XLG-80 SMC 10836-CE01-0004VAT 14036-CE44-AAC1 VAT 14046-CE34-0005 VAT 14048-CE34-0005 VAT 16250-JA28 VAT 16250-JA28 VAT 16250-JA28 VAT 16250-JA28 VAT 16250-JA28 VAT 16250-JA28 VAT 16250-JA28 VAT 48240-CE01 VAT 48244-CE01 VAT 64048-JE28-0006 VAT 64246-CE52-0101 VAT 64246-JE52-0101 VAT 64250-CE52-1101 VAT 64250-CE52-2202 VAT 64252-JE52-ANZ1+PM5 VAT VAT 11210-0159 HVA 11220-0150X HVA 1641431 フジ精機 IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT XLH40 SMC XLH40 SMC XLH40 SMC XLH40 SMC 253A-11792 MKS F-24-60045-1077 F-24-60045-1078 F-26-60049-893 F-26-60049-894 F-26-60317-200 F-26-60317-201 シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し - RS11-2157 ガスバルブ SCV 316L 10K-3/8 STD (N.C 0.4~0.7Mpa) BENKAN(KITZ-SCT) シリアル無し ガス配管用STOP VALVE N2流量計(TOKYO KEISO MAX500L/min)付き RS11-2158 ガスバルブ SCV 316L 10K-3/8 STD (N.C 0.4~0.7Mpa) BENKAN(KITZ-SCT) シリアル無し ガス配管用STOP VALVE N2流量計(TOKYO KEISO MAX500L/min)付き VAT VAT フジ精機 フジ精機 VAT VAT VAT VAT 不明 A-249751 100003 150006 RS13-8013-0A RS10-8026 RS09-8004-0A RS09-8005-0A RS11-2216 RS11-2217 RS11-2220 RS11-2460 ゲートバルブ バタフライバルブ バタフライバルブ バタフライバルブ バルブコントローラー バルブコントローラー バルブコントローラー バルブコントローラー 12146-JA14 20044-CE24-1001/0006 1021001 1021002 PM-5 PM-5 PM-5 PM-5 VAT Zi LL室メインバルブに使用 Zi LL室メインバルブに使用 KF25 圧空L型バルブ KF25 圧空L型バルブ KF25 圧空L型バルブ KF25 圧空L型バルブ KF25 圧空L型バルブ KF25 圧空L型バルブ KF25 圧空L型バルブ 2000年製 未使用品 26132-KA21(NW40)2個、24128-KA21(NW25)2個、 26124-KA21(NW16)2個 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 シリアル無し 0692 F14-109375/3 F14-96835/3 F14-104723/2 不明 不明 不明 不明 不明 不明 不明 不明 不明 NW63 F64-90562/0002 F64-10866 1/1 F64-105808/1 F64-105808/2 本体のみ、ゲートバルブコントロールシステム、ICF253、ステッピングモータ作動式 ICF114 手動式ゲートバルブ(クランクハンドル式) 本体のみ、高真空ゲートバルブ、ICF114、圧空駆動式 本体のみ、高真空ゲートバルブ、ICF253、圧空駆動式 本体のみ、高真空ゲートバルブ、ICF306、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 振子式高真空バルブ、VF300、圧空駆動式 CR(解放)保管。オールメタルゲートバルブ、ICF152、手動式 CR(解放)保管。オールメタルゲートバルブ、ICF203、手動式 本体のみ、ゲートバルブコントロールシステム、ICF356、ステッピングモータ作動式 本体のみ、ゲートバルブコントロールシステム、ICF356、ステッピングモータ作動式 (ISOバルブ) 95-01971 01-17156 000012 シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し ICF070 圧空作動式ゲートバルブ ICF070 圧空作動式ゲートバルブ 2004年製 ガス配管用STOP VALVE ガス配管用STOP VALVE NW40 NW40 NW40 NW40 Zi LL室コアメインバルブに使用 真空圧空式バタフライバルブ(ポジション付き) 真空圧空式バタフライバルブ(故障表示有) 本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/153 本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/160 本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/220 102532-R1 11 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <ピラニ真空計> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS11-3073 RS11-3074 RS11-3076 RS11-3077 RS11-3083 RS11-3090 RS11-3112 RS11-3113 RS11-3114 RS11-3116 RS11-3117 RS08-2158 RS08-2159 RS08-2160 RS08-2161 RS11-3081 RS11-3082 RS11-3088 RS11-3089 RS11-3091 RS11-3092 RS11-3093 RS11-3095 RS11-3096 RS11-3097 RS11-3098 RS11-3100 RS11-3101 RS11-3102 RS11-3103 RS11-3104 RS11-3105 RS11-3106 RS11-3107 RS11-3108 RS11-3109 RS11-3110 RS11-3111 RS11-3118 RS11-8031 RS11-8073 RS11-8074 RS11-8075 RS11-2326 RS11-2327 RS11-2328 イオンゲージボックスユニット イオンゲージボックスユニット イオンゲージボックスユニット イオンゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニゲージボックスユニット ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 G-TRAN BMR2 G-TRAN BMR2 G-TRAN BMR2 G-TRAN BMR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BPR2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 G-TRAN BRP2 DV-6200 DV-6200 DV-6200 ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 15001 15497 15004 15005 15804 15797 15810 15811 15812 15819 15820 3363 3364 3365 3366 15803 15802 15795 15796 15798 15488 15047 15814 15815 15816 15817 15822 15823 15048 15045 15290 15291 15805 15806 15807 15808 15041 15809 15046 04284 04285 04286 04287 07240212184 006760116373 006740115388 RS13-2123 ピラニ真空計 EM301 ULVAC PH8601 12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、 付属品:表示機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し RS13-2124 ピラニ真空計 EM301 ULVAC PH8602 12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、 付属品:表示機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し 非表示式(ホットカソードゲージ) 非表示式(ホットカソードゲージ) 非表示式(ホットカソードゲージ) 非表示式(ホットカソードゲージ) 2004年製 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V ケーブル 付属無し。SENSOR CABLE 35m ケーブル 付属無し。SENSOR CABLE 40m ケーブル 付属無し。SENSOR CABLE 40m 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 2004年製 ケーブル 付属無し。SENSOR CABLE 40m 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0~10V ケーブル:30M校正 30M校正 30M校正 30M校正 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ☆ RS13-2230-0A ピラニ真空計 EM-301 ULVAC - 2008年製 12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、 付属品:表示機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し ☆ RS13-2231-0A ピラニ真空計 EM-301 ULVAC - 2008年製 12CH(35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m)、 付属品:表示機(表示機⇔ピラニ真空計間ケーブル付)、取説無し RS11-2102 RS11-2103 RS11-2188 RS11-2189 RS13-1082-0A RS13-1083-0A RS13-1084-0A RS13-1085-0A RS13-1086-0A RS13-1087-0A RS13-1088-0A RS13-1089-0A RS13-1090-0A RS12-1112 EM-301 8CH EM-301 8CH EM-301 8CH EM-301 8CH GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1000 GP-1SRY ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC PH1508 PH1509 PH7302 PH7301 14646 4049 14645 4048 14684 4047 14683 9174 11840 52780 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 MAX8点測定 MAX8点測定 MAX8点測定 MAX8点測定 2000年製 付属品:電源ケーブル、I/Oケーブル(切断状態) 付属品:I/Oケーブル(切断状態)、センサーケーブル(切断状態) 2000年製 付属品:I/Oケーブル(切断状態)、センサーケーブル(切断状態) 付属品:I/Oケーブル(切断状態)、センサーケーブル(切断状態) 2000年製 付属品:I/Oケーブル(切断状態)、センサーケーブル(切断状態) 付属品:I/Oケーブル(切断状態) 2000年製 付属品:I/Oケーブル(切断状態) 付属品:I/Oケーブル(切断状態) 1999年製 付属品:I/Oケーブル(切断状態)、電源デーブル。 アナログ表示 定温度型 SETPOINT 2点 (メータ:Aタイプ) ☆ RS13-1091-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 53610 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220937)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1092-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 53611 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220936)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1093-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60317 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220933)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 12 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト ☆ RS13-1094-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60391 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99E211921)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1095-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 44611 1996年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99E211909)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1096-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60393 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220929)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1097-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60318 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99E211916)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1098-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60392 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220909)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WP-01 10mにて校正品 ☆ RS13-1099-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60389 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220923)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WPB-10 10mにて校正品 ☆ RS13-1100-0A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 60390 1999年製 付属品:メーター型式:GP-1SRY-C(S/N:99H220907)、メーター⇔真空計間 ケーブル、電源ケーブル/WPB-10 10mにて校正品 ☆ ☆ GP-1SRY-C GP-1SRY-C GP-2001 GP-2A ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 001283446 001283423 ☆ RS13-8102-0A RS13-8103-0A RS11-1063 RS13-1079-0A 2003年製 付属品:電源ケーブル、/WP-01 4mにて校正品。 ☆ RS13-1078-0A ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC 00398 付属品:電源ケーブル、I/Oケーブル(切断状態)/WP-01 4mにて校正品。 G-TRAN ISP G-TRAN ISP G-TRAN ISP ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 00382 00265 00270 センサーユニット RS07-2783 RS07-2791 RS07-2792 RS11-2529 RS11-2303 RS11-2304 RS11-2305 RS11-2306 RS11-2307 RS11-2308 RS11-2309 RS11-2310 RS11-2311 RS11-2312 RS11-2313 RS11-2314 RS11-2315 RS11-2316 RS11-2317 RS11-2318 RS11-2319 RS11-2320 RS11-2321 RS11-2323 RS11-2325 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 ピラニ真空計 G-TRAN SP1センターユニット PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 PG-6200 8495 センサーユニット センサーユニット センサーユニット 2131 0212188 01 376 9017382 2837 04191737 2128 0212185 2831 1418377 1813 0116195 2127 0212184 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 シリアル無し 018140116196 018110116193 018080116190 シリアル無し 018370116197 シリアル無し 018070116199 018090116191 018100116192 018120116194 018390116199 28400419176 13 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <電離真空計> 中古品番号 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ RS11-8076 RS13-1070-0A RS13-1071-0A RS13-1072-0A RS13-1064-0A RS13-1065-0A RS13-1066-0A RS13-1067-0A RS13-1068-0A RS13-1069-0A RS13-2232-0A RS13-2233-0A RS13-2234-0A RS13-2235-0A RS13-2236-0A RS13-2237-0A RS13-1080-0A RS13-1077-0A RS13-8098-0A RS13-1073-0A RS13-1074-0A RS13-1075-0A RS13-1076-0A RS11-2332 RS11-2333 RS11-2334 RS11-2335 RS11-2336 RS11-2337 RS11-2338 RS11-2339 RS11-2340 品名 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 電離真空計 型式 BMR2 GI-D7 GI-D7 GI-D7 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-M2 GI-N7 GI-N8 GI-TL3 GI-TL3RY GI-TL3RY GI-TL3RY GI-TL3RY IG-6200 IG-6200 IG-6200 IG-6200 IG-6200 IG-6200 IG-6200 IG-6200 IG-6200 メーカー ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 製造番号 10207 00026 00028 00027 10491 22140 22134 22147 22139 22136 3215 01052 0262 5018 4602 5017 4601 014120116347 013900115378 013910115379 014100116345 013880115376 15630123381 15650123381 15660123381 0267 製造年 備考 非表示式(ホットカソードゲージ) 2001年製 2001年製 2001年製 2004年製 2006年製 2006年製 2006年製 2006年製 2006年製 2008年製 2008年製 2008年製 2008年製 2008年製 2008年製 付属品無し。 付属品無し。 付属品無し。 付属品無し。 付属品:I/Oケーブル、電源ケーブル、測定子ケーブル(14m)。 付属品:I/Oケーブル、電源ケーブル、測定子ケーブル(14m)。 付属品:I/Oケーブル、電源ケーブル、測定子ケーブル(14m)。 付属品:I/Oケーブル、電源ケーブル、測定子ケーブル(14m)。 付属品:I/Oケーブル、電源ケーブル、測定子ケーブル(14m)。 付属品:電源ケーブル付き 付属品:電源ケーブル付き 付属品:電源ケーブル付き 付属品:電源ケーブル付き 付属品:電源ケーブル付き 付属品:電源ケーブル付き 付属品:電源ケーブル、I/Oケーブル(切断状態) 2005年製 付属品無し。 本体のみ 1999年製 1999年製 1999年製 1999年製 付属品:電源ケーブル、 I/Oケーブル(切断状態) 付属品:電源ケーブルのみ。 付属品:電源ケーブル、I/Oケーブル(切断状態) 付属品:電源ケーブルのみ。 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品、本体のみ ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 ULVAC製 MCH・MLXシリーズ搭載品 <バラトロン真空計> 中古品番号 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ RS10-8044 RS11-3007 RS10-2727 RS11-2105 RS08-8015 RS08-8016 RS08-8017 RS13-2238-0A RS13-2239-0A RS13-2240-0A RS13-2241-0A RS13-2242-0A RS13-2175 RS13-2176 RS13-2177 RS13-2178 RS10-2219 RS09-1421 品名 バラトロン真空計 バラトロン真空計 バラトロン真空計 バラトロン真空計 バラトロン真空計 バラトロン真空計 バラトロン真空計 バラトロン真空計コントローラ バラトロン真空計コントローラ バラトロン真空計コントローラ バラトロン真空計コントローラ バラトロン真空計コントローラ バラトロン真空計コントローラー バラトロン真空計コントローラー バラトロン真空計コントローラー バラトロン真空計コントローラー バラトロン真空計電源 バラトロン測定子 型式 メーカー 186B-BOJOAANV MKS 628A1TBF-S MKS-127 PDR-CJ1C-BCD PDR-CJ1C-BCD PDR-CJ1C-BCD PDR-CJ1C-BCD 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ 651CD2S1NJ MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS MKS PDR-C1-C(-BCD) MKS CMX-1110 CELERITY 製造番号 製造年 000,206,023 000065664 外観問題なし、動作未確認、ケーブル無。レンジ:1Pa 000759408 001240828J 001240829J 001240830J 016293679 016293683 016293684 016293833 000094997 備考 Ver1.20.15X 本体のみ、故障 本体のみ 本体のみ 2008年製 2008年製 2008年製 2008年製 2008年製 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル 付属品:電源ケーブル <成膜コントローラー> 中古品番号 RS11-1057 RS11-2012 品名 成膜コントローラ 水晶振動式膜厚計 型式 CRTM-7000 MDC-260 メーカー 製造番号 製造年 ULVAC 0977 MAXTEK,INC 121 備考 本体、ケーブルのみ(センサー無し) <ガス分析計> 中古品番号 品名 RS13-1030-0A 残留ガスモニター RS11-1169 質量ガス分析計 RS11-1170 質量ガス分析計 型式 OL-PS01-1A&SMPA7-5-2100C Transpector 2 Transpector 2 メーカー HORIBA - 製造番号 製造年 LOTT23B02800 70003237 備考 (OL-PS01-1A&SMPA7-5-2100C) Transpector 2(911-242-G1U H100M) <リークテスト計> 中古品番号 RS11-2208 品名 Heリークディテクタ 型式 メーカー HELIOT 302s特 ULVAC 製造番号 3198 14 製造年 備考 スニファー専用機器 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <表面検査装置> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS12-1340 RS13-3018 触針式表面形状測定器 ウェーハ異物検査装置 DAKTAK3030 - ULVAC タイヨー電機 シリアル無し - RS12-1422 ウェーハ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 01250019 1997年製 2013/4まで稼動し特に問題なく動作。 型式詳細:6インチ、8インチ対応。仕様書:なし 取説:なし RS12-1423 ウェーハ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 90670026 1997年製 2013/4まで稼動し特に問題なく動作。 型式詳細:6インチ、8インチ対応。仕様書:なし 取説:なし RS12-1424 ウェーハ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 00370032 1997年製 2013/4まで稼動し特に問題なく動作。 型式詳細:6インチ、8インチ対応。仕様書:なし 取説:なし RS12-1087 RS12-1088 RS12-1396 ウェーハ表面検査装置 ウェーハ表面検査装置 ウェーハ表面検査装置 WM-2500 WM-2500 WM-300FOUP TOPCON TOPCON TOPCON 00110021 00110022 00350074 2001年製 2001年製 RS13-3032 パーティクル検査装置 WM3 TOPCON 80873023 保守不能機器 部品取り用 Smif200mmウエハ専用 0.079μ mパーティクルの測定が可能 正常動作確認済み。 仕様書・取説・図面無し。 <EB電源> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS11-8009 RS11-8010 RS11-8048 EB電源 EB電源 EB電源 HPS-1600F HPS-1600F HPS-1600F ULVAC ULVAC ULVAC 20020014 20020012 20020011 電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様 RS11-8049 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020013 電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様、フィラメントBOX付属無し RS11-8050 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020010 電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様、フィラメントBOX・ローカルBOX付属 無し PSG-004S PSG-004S ULVAC ULVAC 19912145 19912146 JST-10F JEOL BS101108-74AEZ372 2003年製 製造番号 製造年 RS10-8060-0A ビームスイープコントローラ RS10-8061-0A ビームスイープコントローラ RS12-1122 EB電源 電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様 電源本体鍵無、コントローラはハイパワー仕様、フィラメントBOX付属無し EB電源:JST-10F (アークスプレッサー付属) EB蒸発源:EBG-203UB4H(4るつぼ仕様) 電圧導入端子:フィラメント用 EBG-HV025G02 / 偏向コイル用 EBGLV025G01 高圧ケーブル(3m) <RF電源> 中古品番号 品名 RS13-8026-0A RF電源 型式 AX-1000LFⅢ メーカー AD-TEC 備考 1kw、400KHz M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2(S/N:1090800003) RF出力ケーブル(8m) M/BOX⇔RF CONTケーブル(10m) RF電源I/Oケーブル(3m) RF電源ケーブル(2m) ※RF CONT無し。 10154000085 1kw、400KHz M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2(S/N:1090800004) RS13-8027-0A RF電源 RS13-8024-0A RF電源 ☆ ☆ AX-1000LFⅢ AX-2000Ⅲ AD-TEC AD-TEC RS13-8025-0A RF電源 AX-2000Ⅲ AD-TEC RS09-1042 RS11-2212 RS09-1152 RS13-8106-0A RS11-2266 RS11-2267 RS13-8108-0A RS11-2288 LF-10 MCP-1010E RF-50 RFK05ZFSW2 RFK10Z-SK5 RFK10Z-SK5 RFK50Z-SW1 RFS-005 AMAT ULVAC 日本高周波 KYOSAN KYOSAN KYOSAN KYOSAN ULVAC RF電源 RF電源 RF電源 RF電源 RF電源 RF電源 RF電源 RF電源 RF出力ケーブル(8m) M/BOX⇔RF CONTケーブル(10m) RF電源I/Oケーブル(3m) RF電源ケーブル(2m) ※RF CONT無し。 10154000084 10155100518 2kw、13.56MHz M/BOX:AMVG-2000-DI(S/N:10224300003) RF CONT:AMVG-RCM1-D1(S/N:10225800003) RF出力ケーブル(8m) M/BOX⇔RF CONTケーブル(10m) RF電源I/Oケーブル(5m) RF電源ケーブル(2m) RF CONT I/Oケーブル(3m) 10155100519 2kw、13.56MHz M/BOX:AMVG-2000-DI(S/N:10224300002) RF CONT:AMVG-RCM1-D1(S/N:10225800002) RF出力ケーブル(8m) M/BOX⇔RF CONTケーブル(10m) RF電源I/Oケーブル(3m) RF電源ケーブル(2m) RF CONT I/Oケーブル(3m) 1032 エッチング電源 0103037 0107014 0107015 0104039 88004 2004年製 2004年製 本体のみ(1kw) 本体のみ(1kw) ☆ RS13-1043-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595181 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1044-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595179 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1045-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 594036 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1046-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 594039 付属品無し。 200W、13.56MHz 15 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト 付属品無し。 200W、13.56MHz トリガースイッチカバー無し。 付属品無し。 200W、13.56MHz RF ON⇔OFFスイッチカバー無し。 ☆ RS13-1047-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595137 ☆ RS13-1048-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595167 ☆ RS13-1049-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 597139 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1050-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595046 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1101-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595136 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1102-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595188 付属品無し。 200W、13.56MHz ☆ RS13-1103-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595168 付属品無し。 200W、13.56MHz RS09-1302 RS11-8119 RF電源 RF電源 RFS-1205S RFS-1305A ULVAC ULVAC RS13-2060 RF電源 RFS-1305A ULVAC 202065 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2061 RF電源 RFS-1305A ULVAC 205001 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2062 RF電源 RFS-1305A ULVAC 203038 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2063 RF電源 RFS-1305A ULVAC 204019 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2066 RF電源 RFS-1305A ULVAC 203043 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2067 RF電源 RFS-1305A ULVAC 204021 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2068 RF電源 RFS-1305A ULVAC 203004 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル20m RS13-2069 RF電源 RFS-1305A ULVAC 203041 出力;500W 13.56MHz 付属品なし、本体のみ RS13-2107 RF電源 RFS-1305A ULVAC 207050 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m RS13-2108 RF電源 RFS-1305A ULVAC 207051 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m RS13-2109 RF電源 RFS-1305A ULVAC 207052 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m RS13-2110 RF電源 RFS-1305A ULVAC 207053 出力;500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m ☆ RS13-2243-0A RF電源 RFS-1305A ULVAC - 2008年製 出力:500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m ☆ RS13-2244-0A RF電源 RFS-1305A ULVAC - 2008年製 出力:500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m ☆ RS13-2245-0A RF電源 RFS-1305A ULVAC - 2008年製 出力:500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m ☆ RS13-2246-0A RF電源 RFS-1305A ULVAC - 2008年製 出力:500W 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1305A) ケーブル16m 出力:500W 12.56MHz 出力:500W 13.56MHz RS13-2071 RF電源 RFS-1310A ULVAC 202006 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル20m RS13-2073 RF電源 RFS-1310A ULVAC 205007 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル20m RS13-2074 RF電源 RFS-1310A ULVAC 204005 出力;1KW 13.56MHz 付属品なし、本体のみ RS13-2111 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207004 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m RS13-2112 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207005 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m RS13-2113 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207006 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) 欠品:ケーブル RS13-2114 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207007 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) 欠品:ケーブル RS13-2115 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207008 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) 欠品:ケーブル RS13-2116 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207009 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) 欠品:ケーブル RS12-8047 RF電源 RFS-1310A ULVAC 201006/302007 出力:1KW 13.56MHz MBX-10EA付き 付属ケーブル: EXT.CONT 2m/RF OUT 12m/ VPP-VPP 8m/AC100V 入力1m ☆ RS13-2247-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC - 2008年製 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m ☆ RS13-2248-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC - 2008年製 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m 16 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト ☆ RS13-2249-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC - 2008年製 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m ☆ RS13-2250-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC - 2008年製 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m ☆ RS13-2251-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC 2008年製 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m ☆ RS13-2252-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC - 2008年製 出力;1KW 13.56MHz 付属品:M/BOX(MBX-1310A) ケーブル16m RFS-1310L RFS-13200F RFS-1330L ULVAC ULVAC ULVAC 209009 210006 209017 RS13-2158 RS13-2154 RS13-2157 RF電源 RF電源 RF電源 出力:1KW 13.56MHz、 付属品:ケーブル8m 出力:20KW 13.56MHz、 付属品:ケーブル8m 出力:3KW 13.56MHz、 付属品:ケーブル8m 出力:5KW 13.56MHz MBX-1350U付き 付属ケーブル: AC POW(RFS)-POW IN(AMC) 4m/AMC(AMC)AMC(RFS) 4m/CONT(MBX)-CONT(AMC)8m/POW OUT(AMC)POW IN(MBX)8m/VDC(MBX)-VDC IN(VDC)12m/AC100(MBX)3m /アース50cm RS12-8048 RF電源 RFS-1350U ULVAC RS09-1471 RF電源 RFS-20CB ULVAC RS06-2704 RF電源 RFS-2712K ULVAC 306001 RS13-2153 RS13-2151 RS13-2152 RF電源 RF電源 RF電源 RFS-27200L RFS-27400F RFS-27400F ULVAC ULVAC ULVAC 208005 210001 210002 RS07-3026 RF電源 RFS-30CB ULVAC 出力;3kW 13.56MHz 付属品:M/BOX (ケーブル無し) ULVAC 出力:5KW 13.56MHz MBX-50EA付き 1付属ケーブル: CONT(RFP)-CONT(RFS) 4m/CONT(MBX)-CONT (AMC) 8m/POW OUT(AMC)-POW IN(MBX)12m/VPP IN-VPP MBX 8m/VDC IN-VDC MBX 8m/アースx2本(3m、1m) ■Power Control Monitorケーブル: VDC 8m/MBX 8m/トリガー 8m/CONT 4m RS12-1294 RF電源 RFS-50C RF電源 RF電源コントローラ RF コントロールパネル RF コントロールパネル マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ マッチングコントローラ RFXⅡ-3000 RFP-1A SP-RKC SP-RKC AMC-1AR AMC-1AR 207004/306030 出力;2kW 13.56MHz 付属品:M/BOX (ケーブル無し) 出力:1KW 27.12MHz、 付属品:M/BOX(MBX-2712A)ケーブル無し 出力:20KW 27.12MHz、 付属品:ケーブル8m 出力:40KW 27.12MHz、 付属品:ケーブル8m 出力:40KW 27.12MHz、 付属品:ケーブル8m 200003/300004 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ RS07-2652 RS11-2287 RS11-2268 RS11-2269 RS11-2289 RS11-2290 RS09-1502 RS11-2272 RS11-2270 RS11-2271 RS13-1058-0A RS13-1059-0A RS13-1060-0A RS13-1061-0A RS13-1081-0A RS13-1109-0A RS13-1110-0A RS13-1111-0A ☆ RS13-1051-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 395079 付属品無し 200W ☆ RS13-1052-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 398039 付属品無し 200W ☆ RS13-1053-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 397035 付属品無し 200W ☆ RS13-1054-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 395075 付属品無し 200W ☆ RS13-1055-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 395068 付属品無し 200W ☆ RS13-1056-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 395030 付属品無し 200W ☆ RS13-1105-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 397036 1998年製 付属品無し 200W 内部錆あり(バリコン周り) ☆ RS13-1106-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 397034 1998年製 付属品無し 200W 内部錆あり(バリコン周り) ☆ RS13-1107-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 395073 付属品無し 200W ☆ RS13-1108-0A マッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 394017 付属品無し 200W MBX-1310L MBX-13200F MBX-1330L MBX-27200L MBX-27400F MBX-27400F MBX-50A VDC-1A VDC-1A PHS-2C-SK1 ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC KYOSAN 309010 308001 309107 310006 310001 310002 1kw用 RS13-2167 RS13-2163 RS13-2166 RS13-2162 RS13-2160 RS13-2161 RS09-1297 RS11-2291 RS11-2292 RS11-2273 マッチングボックス マッチングボックス マッチングボックス マッチングボックス マッチングボックス マッチングボックス マッチングボックス VDCモニタ VDCモニタ フェーズシフタ AE ULVAC KYOSAN KYOSAN ULVAC ULVAC RFP-05CA/VDC5A ULVAC NAK5A KYOSAN NAK5A KYOSAN NAK5A KYOSAN AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC AMC-6D ULVAC 140021 F/R C 89023 L/N WB3563 L/N WB3563 395008 92005 0107014 0107016 0107015 399006 397136 395004 397137 395041 398082 392008 392009 3kw出力 2004年製 2004年製 本体のみ 2004年製 2004年製 2004年製 1999年製 1998年製 本体のみ 本体のみ 本体のみ 本体のみ VDCモニター付属:VDC5A(S/N:395040)、ケーブル無し。 VDCモニター付属:VDC5A(S/N:397001)、ケーブル無し。 VDCモニター付属:VDC5A(S/N:395001)、ケーブル無し。 1998年製 VDCモニター付属:VDC5A(S/N:396035)、ケーブル無し。 VDCモニター付属:VDC5A(S/N:395025)、ケーブル無し。 付属品:I/Oコネクタ 付属品無し。 付属品無し。 20kw用 3kw用 20kw、27.12MHz用 40kw、27.12MHz用 40kw、27.12MHz用 5kw用 086008 91020 L/N WB3569 17 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <DC電源> 中古品番号 RS09-1498 RS09-1499 ☆ 品名 型式 メーカー DC電源 DC電源 DCR-1502A DCR-1502A ULVAC ULVAC RS13-1063-0A DC電源 DCS-0052B ULVAC RS10-8036 RS10-8035 DC電源 DC電源 ☆ RS13-8006-0A DC電源 ☆ RS13-8007-0A DC電源 ☆ RS13-8008-0A DC電源 RS13-1028 RS09-2804 RS11-2286 RS11-8086 RS13-3096 RS13-3097 RS13-3098 RS13-3099 RS13-3100 RS13-3087 RS13-3088 RS13-3089 RS13-3090 RS13-3091 RS13-3092 RS13-3093 RS13-3094 RS13-3095 RS08-2041 RS09-1162 RS09-1161 RS09-1289 RS10-2721 RS11-2029 RS13-3101 RS13-3102 RS13-3103 RS13-3104 RS13-3105 RS13-3106 RS13-3107 RS13-3108 製造番号 製造年 19922009 19922010 197193 出力:15kw 30,000 HAR-1N100-LOL MATUSADA 52933 HAR-1P100-L0L MATUSADA 52945 DC電源(4台) DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 DC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 パルスDC電源 備考 出力:15kw 電源ケーブル(切断状態) 出力ケーブル(切断状態) 出力1KW(800V 1.25A) I/Oケーブル無し。 出力:1kv (負極性 100mA/100W) 出力:1kv (正極性 100mA/100W) 本体のみ、ケーブル無し。 吸引ガス:Ar 出力電力:3kw HPK-03Z 京三 WA2434 HPK-03Z他 京三製作所 京三 WA2433、2434、 4264、4265 WA4264 【4台】動作未確認、研究開発用途。 HPK-10Z HPK-10Z 京三 WA4265 本体のみ、ケーブル無し。 吸引ガス:Ar HPK-15ZI HPK-15ZI HPK-15ZI MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-1001A MDL-15 MDL-L6 MDX-L6 MDX-L6 KYOSAN KYOSAN KYOSAN ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC AE AE AE KIKUSUI 松定プレシジョン AE AE AE AE AE AE AE AE WA0789 PAK20-18A/PAK10-70 PR-500-10LGB Sparc-le V Sparc-le V Sparc-le V Sparc-le V Sparc-le V Sparc-le V Sparc-le V Sparc-le V 本体のみ、ケーブル無し。 吸引ガス:Ar 1998/01 タンデム仕様(Mastor15kw)+(Slave 15kw)=30kw出力 タンデム仕様(Mastor15kw)+(Slave 15kw)=30kw出力 WA1267+WA6036 タンデム仕様(Mastor15kw)+(Slave 15kw)=30kw出力 C609108 C609110 C611703 C612995 C612996 C356777 C440625 C442141 C582925 C582927 C586619 C586620 C609100 C609102 145679F/RC 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:10kw、付属品: ケーブル類一式 出力:15kw ※2台 045547S C609412 C609413 C609414 C614572 C614574 C614575 C624126 C675118 2009年製 新古品 5kw (500V/10A仕様) 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 出力:12kw、付属品: ケーブル類一式 <AC電源> 中古品番号 RS11-1189 品名 AC電源 型式 PE Ⅱ メーカー 製造番号 製造年 AE 備考 10KW SV-9040付属品。本体のみ、ケーブル等付属なし。 <アナライザーマグネット電源> 中古品番号 RS04-8017 品名 アナライザーマグネット電源 型式 KS40-50S メーカー ULVAC 製造番号 製造年 12762 備考 中電流イオン注入装置 <マグネット電源> 中古品番号 RS11-2278 RS11-2279 RS11-2369 RS09-1496 RS10-8043 品名 マグネット電源 マグネット電源 マグネット電源 マグネット電源 マグネット電源 型式 MCP-1010SX MCP-1010SX MCP-1010SX MCP-1010E MCP-1010E メーカー ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 製造番号 製造年 備考 2310 2449 2253 1092 18 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <加熱電源> 中古品番号 RS13-2075 RS13-2076 RS13-2077 RS13-2078 RS13-2079 RS13-2081 RS13-2082 RS13-2083 RS13-2084 RS13-2085 RS13-2086 RS13-2087 RS13-2088 RS13-2089 RS13-2090 RS13-2091 RS13-2092 RS13-2093 RS13-2094 RS09-2665 RS09-2666 RS11-8082 品名 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 加熱電源 温度調節器 型式 PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-306C PSH-072SP PSH-072SP メーカー SR82-11-N-90-1166000 ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC シマデン シマデン シマデン 型式 メーカー 製造番号 製造年 U406-024 U406-038 410052-001 U406-029 U406-018 U406-021 U406-017 U406-037 U406-014 U406-027 U406-026 U406-025 U406-039 U406-050 U406-056 U406-058 U406-077 U406-069 U406-071 備考 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 基板加熱用 トランス無し 11304810901-002 <その他電源> 中古品番号 RS12-1020 品名 ion bombard power supply DCP-505 製造番号 ULVAC 製造年 備考 状態良好。要整備。 19 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <スパッタ装置 ULVAC製> 中古品番号 ☆ 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS10-2807 スパッタリング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME00-7820 【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 2T 基板:φ 6in SP1:Metal SP2:Metal 加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT 排気:TMP(旧型)+CryoTrap 設置:階下置き仕様 ※ 拡張性有り RS10-2808 スパッタリング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME00-7818 【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 2T 基板:φ 6in SP1:Metal SP2:Metal 加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT 排気:TMP(旧型)+CryoTrap 設置:階下置き仕様 ※ 拡張性有り RS12-1062 スパッタリング装置 CERAUS Z-1101 ULVAC ME93-5021 1994年製 【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E1T 基板:φ 6in Etch:ICP SP:Metal 加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT 排気:TMP(旧型)+CryoTrap 設置:階下置き仕様 ※ 拡張性有り RS12-1061 スパッタリング装置 CERAUS Z-1301 ULVAC ME02-8012 2002年製 【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E3T 基板:φ 6in Etch:ICP SP1~3:Metal 加熱機構::Infrared Lamp 制御:GPCS-300GT 排気:TMP(旧型)+CryoTrap 設置:階下置き仕様 ※ フルチャンバー仕様 機能充実 RS12-1204 スパッタリング装置 CERAUS Zi-1000N ULVAC ME00-5001/ SE00-5001-1 【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 4T1E1H φ 8in ノッチ Etch:ICP HEAT:Infrared Lamp SP1:Ta SP2:Ta SP3:FeO SP4:Si 排気系:TMP+CryoTrap RS13-3017 スパッタリング装置 CS-200 ULVAC MA07-1009 【ロードロック式】 実験・量産 スパッタダウン φ 12in回転磁石型マグネトロンカソード(誘電体用) 1元 SP電源:RF 3kwx1台 排気系 TMP+DRP 基板サイズ:φ 6in RS12-1227 スパッタリング装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 RS12-1118 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME00-5016 【枚葉式(Multi_Chamber)装置】 量産用 1E2T 基板:φ 6in Etch:2重極 SP1:Metal SP2:Metal 加熱系:Infrared Lamp カセット室×2 排気系:CRYO+RP RS13-3127-0A スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME99-1017 【枚葉式】 【バッチ式】 実験装置 処理基板 150mm 加熱:MAX300℃ 4inマグネトロンスパッタ(3台)(Si、Ag、 ZnO) スパッタ電源 RFS-1305A 500W DCS-0052B 500W 逆スパッタ 200W 排気系:CRYO-U6H D-330DK MFC:Ar100sccm N2:50sccm O2:50sccm 真空計 GI-M RS13-2211 スパッタリング装置 RS13-2209-0A スパッタリング装置 RS12-1197 スパッタリング装置 RS13-3124-0A スパッタリング装置 2004年製 MPS-8000 ULVAC MB05-5013 PME-200LE ULVAC MA08-3536 SBH-2206 ULVAC SBH2306DE ULVAC RK92-1009 1993年製 2010年製 【ロードロック式】 イオンビームスパッタ装置 動作確認済み G-BOX付き 使用頻度尐なく良好 【枚様式】 研究開発で使用された設備の為、使用頻度尐なく、また高年式の為状 態良い。 仕様書・取説・図面あり。 【バッチ式】尐量生産 φ 6inカソード ×2式 赤外線ランプ加熱 スパッタUP RS12-1001 スパッタリング装置 SBH-5315 ULVAC MH60-0287 1985年製 【バッチ式 カルーセル(ドラム)タイプ】 量産機 □100基板2枚取り12面ドラム搭載。 AC電源化、Dual カソードへの改造済み。 装置は古いが、機能充実。 RS12-1301 スパッタリング装置 SH-350-C10 ULVAC MH90-5010(XW05-6514) 1990年製 【バッチ式】 実験・尐量生産 φ 4in マグネトロンカソード×1元 スパッタ電源 DC×1(2.5kW) 排気系:CRYO+RP バラトロン真空計:MKS ガス系:Ar+O2 2004年度当社リニューアル販売品 RS13-2204 スパッタリング装置 SH-350-D06 ULVAC MH62-5073 【バッチ式】実験・尐量生産 φ 150mmカソード 1元 (スパッタアップ) 排気系:拡散ポンプ欠品(ULK-06A)、D-650D スパッタ電源:DCG-05C ガス:2系統 シーケンサー:三菱製AOJ2 RS13-1009 スパッタリング装置 SH-350L ULVAC MH62-0058 【ロードロック式】 実験・尐量生産 φ 4インチカソードx3式 RF/DC切替・逆スパ付き。 2010年リニューアル装置。 制御系タッチパネル・フルオート制御。 仕様書・取説・図面あり。 RS12-1420 スパッタリング装置 SH-350-T08 ULVAC MA01-1045 【バッチ式】 実験・尐量生産 φ 3in マグネトロンカソード ×3元 スパッタ電源 DCx1・RFx1 逆スパッタ付(500W) 排気系:TMP+RP RS12-1405 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH61-0502(NH8978) 【バッチ式】 実験・尐量生産 φ 6in マグネトロンカソード ×3元 スパッタ電源 DCx1・RFx1 逆スパッタ付(500W) 排気系:CRYO+RP RS13-2210 スパッタリング装置(バッチ式) SH-450-C12 ULVAC MA07-3717 20 【バッチ式】実験・尐量生産 スパッタアップ 6in3元 マグネトロンスパッタ DC電源 DCS-0402x3台 排気系:CRYO-U-12HSP V30V D-950D 真空計:GI-TL3 GI-TL3RY GP-1SRY MFC Ar 1系統 基板4in 8枚 操作パネル旧型(銀色) ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト XT07-0489BB 2008年製 【バッチ式】 実験・尐量生産 φ 6in マグネトロンカソード ×3元 スパッタ電源 DCx1・RFx1 逆スパッタ付(500W) 排気系:CRYO+RP 1990年製 【バッチ式】 実験・尐量生産 φ 8in マグネトロンカソード ×3元 スパッタ電源 DCx1・RFx1 逆スパッタ付(500W) 排気系:CRYO+RP RS12-1051 スパッタリング装置 SH-550 ULVAC RS12-1391 スパッタリング装置 SH-550 ULVAC RS13-2001 スパッタリング装置 SH-550-D10 ULVAC RS11-2038 スパッタリング装置 SIH-4545 ULVAC MH63-0222 1988年製 【ロードロック式】 尐中量生産 □5in×20in カソード 3元 スパッタ電源:DC スパッタUP 通過成膜方式 動作確認済。故障個所無し。 RS11-1022 スパッタリング装置 SIV-850 ULVAC MA03-1012 2006年製 【インターバック式】 実験・尐量生産 ガラス基板: □850×900 カソード3元搭載 スパッタ電源:DC 片面 縦搬送 通過成膜式 排気系:CRYO+RP RS11-1021 スパッタリング装置 SIV-850 ULVAC MA06-1006 2006年製 【インターバック式】 実験・尐量生産 ガラス基板: □850×900 カソード3元搭載 スパッタ電源:RF 片面 縦搬送 通過成膜式 排気系:CRYO+RP RS13-2207-0A スパッタリング装置 SME-200LDM ULVAC MA08-3623 2010年製 【枚様式】 研究開発で使用された設備 仕様書・取説・図面あり。 RS13-2208-0A スパッタリング装置 SME-200LDM ULVAC MA08-3625 2010年製 【枚葉式】 研究開発で使用された設備の為、使用頻度尐なく、高年式のため状態 良い。 2004年製 【枚葉式(クラスタータイプ)】 量産用 2C1E3T 基板:φ 8in SP1:Metal SP2:Metal SP3:化合物 Etch:RIE 薄ウェーハにも対応 【バッチ式】 実験・尐量生産 φ 8in マグネトロンカソード ×3元 スパッタ電源 DCx1 逆スパッタ付(500W) 排気系:DP+RP MH63-5263 RS13-1002 スパッタリング装置 SRH-420 ULVAC MA04-3429 RS13-3030 スパッタリング装置 SRH-820 ULVAC MA00-1034 【枚葉式 静止成膜】 スパッタダウン方式 基板:200φ 基板加熱室×1、基板クリーニング室×1、スパッタ室×5 カソード:非磁性体金属ターゲット用×5 RS11-1186 スパッタリング装置 SV-9040-T14 ULVAC MA00-1013 【バッチ式 カルーセル(ドラム)タイプ】 量産機 基板:ガラス カソード:5inx18in×3 スパッタ電源:DC 排気系:TMP+RP <スパッタ装置 他社製> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 【Multi_Chamber】 量産用 基板:φ 8in Etch×1 SP×3 通電・試運転 可能 RS11-1185 スパッタリング装置 ENDURA AMAT 3843/E-No.6520 RS11-1201 スパッタリング装置 HSR-512A 島津製作所 1M9062 1994年製 【バッチ式】 研究用(全手動操作) φ 4inカソード 3元 静止成膜 スパッタ電源:RF 逆スパッタ:可能 小型実験装置 RS12-1228 スパッタリング装置 L-350S-C ANELVA EVP-30577 1996年製 【ロードロック式】 研究用 カソード: 5元(DC3式+RF2式) イオン銃(クリーニング用) RS09-1008 スパッタリング装置 NSP-17 昭和真空 96-4399 1997年製 【バッチ式】 φ 5inカソード 3元 RS11-1184 スパッタリング装置 SPC-530H ANELVA EVP-13998-1 1983年製 【カルーセル(ドラム)式】 カソード:5in×15in 3元 DC/RF切替 排気系:DP 2004年にカソード追加・基板ホルダー改造実施 RS13-1006 スパッタリング装置 SPF-332 ANELVA 1990年製 【バッチ式】 排気系(TMP・PR) 動作確認済み。 取説あり、図面・仕様書無し。 RS12-2027 スパッタリング装置 SPF-540H アネルバ RS09-1024 スパッタリング装置 SPS-503 トッキ RS10-2806 スパッタリング装置 TDY-01298 東京電子冶金研究所 EVP-24622 【バッチ式】 カソード:φ 6in× 3元 【カルーセル(ドラム)式】 小量生産 カソード:3元(角カソード) 不明 21 【バッチ式】 研究用 イオンビームスパッタ装置 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <スパッタ装置部品 ULVAC Ceraus> 中古品番号 RS09-1483 RS09-1500 RS09-1501 RS09-1504 RS09-1505 RS09-1465 RS09-1484 RS12-1154 RS12-1155 RS12-1156 RS12-1157 RS12-1158 RS12-1159 RS12-1160 RS12-1161 RS12-1162 RS12-1151 RS12-1152 RS12-1153 RS11-8139 RS11-8140 RS11-8141 RS11-8142 RS11-8143 RS11-8144 RS10-8053 RS10-8054 RS10-8052 RS10-8051 RS10-8048 RS10-8049 RS10-8050 RS10-8042 RS10-8045 RS10-8046 RS10-8047 RS10-8040 RS10-8041 RS10-8055 品名 RYB シャッター シャッター シャッタードライバー シャッタードライバー プロセスモジュールコントローラ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 真空計用ボードゲージ 制御BOX 制御BOX 制御BOX 制御BOX 制御BOX 制御BOX 制御ボード 制御ボード 制御ボード 制御ボード 制御ボード 制御ボード 制御ボード 制御系 制御系 制御系 制御系 制御系 制御系 通信COM 型式 RYB1 SG6100S SG6100S PMC-Ⅱ GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-IG GS-PG GS-PG GS-PG ME-Ⅱ ① ME-Ⅱ ② ME-Ⅱ ③ ME-Ⅱ ④ ME-ⅡA ① ME-ⅡA ② 1420A TKK-5 1420A TKK-6 1608ATKK-5 KU80376 PI-30 PMC-6 PVME-387 Contunit型式001-8185-05 PMC-Ⅱ PMC-Ⅱ PMC-Ⅱ メーカー ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC Adme Adme Adme 製造年 備考 P236 P237 P238 P247 P248 P249 P271 445 481 P128 P137 P197 シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し 96-1500-27001 PMC-1 旭エンジニアリング オンテック ブルックス ULVAC ULVAC ULVAC 980309-1 KEPB-372 9910-10099 スパッタ用 IPC用 アニール用 №2 №1 SYSTEM I/F BOX SYSTEM I/F BOX AT-MX10 製造番号 Allied TelesynI 22 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <スパッタ装置部品 AMAT ENDURA> 中古品番号 RS09-1390 RS09-1544 RS09-1509 RS09-1510 RS09-1527 RS09-1528 RS09-1530 RS12-2091 RS12-2077 RS09-1554 RS09-1555 RS09-1552 RS09-1522 RS09-1523 RS09-1524 RS09-1525 RS09-1529 RS09-1534 RS09-1545 RS09-1546 RS09-1541 RS09-1507 RS09-1508 RS09-1550 RS09-1551 RS09-1519 RS09-1520 RS09-1521 RS09-1514 RS09-1515 RS09-1516 RS09-1539 RS09-1540 RS09-1512 RS09-1526 RS09-1547 RS09-1548 RS09-1549 RS09-1513 RS09-1536 RS09-1537 RS09-1538 RS09-1506 RS09-1559 RS09-1560 RS09-1517 RS09-1518 RS09-1562 RS09-1558 RS09-1561 RS09-1557 品名 スパッタリング装置チャンバー BLDG TO BLDG Transfer CH-A 天板 CH-B 天板 CRYO PUMP CABLE CRYO PUMP CABLE CRYO PUMP CABLE Endura マッチングBOX他パーツ一式 Hearter ASSY Hose Push-Lok 5/8 250PSI Hose Push-Lok 5/8 300PSI HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSI SYNTH ION GAUGE CABLE ION GAUGE CABLE ION GAUGE CABLE ION GAUGE CABLE ION GAUGE CABLE MAGNET MFC AR100sccm MFC AR100sccm MFC N2200sccm STEC Nallow Load/Lock LLA Nallow Load/Lock LLB PVD HP LIFT PVD HP LIFT REMOTE/SYSTEM VIDEDO ケーブル(MONITOR) REMOTE/SYSTEM VIDEDO ケーブル(MONITOR) REMOTE/SYSTEM VIDEDO ケーブル(MONITOR) Shield 8" Shield 8" Shield Upper SPACER INSULATOR LIFTER SPLTR BOX HELIX STD Lifter SYS.CONT. BULKHEAD CABLE VAT 弁体+O/H Kit VAT 弁体+O/H Kit VAT 弁体+O/H Kit Wide Chamber WSHR INSULATOR LIFTER WSHR INSULATOR LIFTER WSHR INSULATOR LIFTER コンプレッサー 8510 Compressor バッキングプレート バッキングプレート バッキングプレート ALターゲット付き バッキングプレート Ti ターゲット付き プリクリーンTMP取付配管 真空配管類 水冷コネクター、水冷パーツ 中古ホース 型式 ENDURA5500チャンバ 0010-01465 - メーカー AMJ AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT 製造番号 製造年 備考 ※改造に最適 - NECエレクトロニクス AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT ※中古 ※中古 ※使用済み ※使用済み AMAT <スパッタ装置部品> 中古品番号 RS11-2495 カソード RS07-2971 昇降機 RS09-1262-0A イオンボード 品名 型式 メーカー φ 4インチマグネトロンカソード ULVAC ULVAC - H-18 - 製造番号 製造年 備考 1994年製 - 23 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <蒸着装置> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS13-3016 蒸着重合装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 RS12-1080 蒸着装置 EBH-6 ULVAC MH62-5022 RS12-1196 蒸着装置 EBV-6CA ULVAC SE3403-10 RS12-1224 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-0136 1983年製 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 自公転治具(JPD-050C) 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系;CP+RP 赤外線ランプ加熱 使用履歴;Au RS12-1233 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5039 1984年製 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 公転治具 蒸発源:電子ビーム (EGL-206M) 膜厚計:CRTM-9000 排気系:CRYO + RP RS13-2099 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5058 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 公転平板 □150ガラス基板 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系;CP+RP RS12-1428 蒸着装置 EBX-8C ULVAC MH59-0112 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:□500×600H 自公転治具(φ 100用) 蒸発源:電子ビーム(EGL-35M) 排気系:CRYO+RP (ガス導入:O2) RS10-2175 蒸着装置 EBX-10C ULVAC SE58-1359-4 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 600W×800H 蒸発源:電子ビーム(EGL-35M) 電源:10kw(真空管) 排気系:CRYO + RP RS10-2682 蒸着装置 EBX-10C ULVAC RS13-1003 蒸着装置 EBX-10C ULVAC ME90-1073 RS11-3014 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE59-1362-4 RS12-1419 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE56-1351-3 RS11-2397 蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH96-1051 1996年製 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 自公転治具 蒸発源:電子ビーム(EGL-35M) ×2式(Au、Sn成膜) 排気系:CRYO+RP RS11-3233 蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH97-5026 1998年製 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 蒸発源:未搭載(選択自由) 排気系:CRYO+RP RS11-1191 蒸着装置 EX-550-D10-B ULVAC MH90-1086 【前扉式バッチ装置】 研究用 2005年製 【ベルジャ式バッチ装置】 研究用 全手動操作 抵抗加熱式蒸発源 (欠品:ベルジャー) 【ベルジャ式バッチ装置】 研究用 抵抗加熱式蒸発源 金属ベルジャ 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 蒸発源:電子ビーム(EGK-3) 電源:5kW(Solid) 排気系:CRYO + RP 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 自公転治具 蒸発源:電子ビーム(EGL-35M) 電源:10kW(真空管) 排気系:CRYO + RP 赤外線ランプ加熱 1885年製 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 治具無し 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系:DP + RP 赤外線ランプ加熱 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 治具無し 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボート×3) 排気系:DP + RP 赤外線ランプ加熱 【前扉式バッチ装置】 小量生産・研究用 真空槽:φ 650W×800H 蒸発源:未搭載(選択自由) 排気系:DP(LN2トラップ)+RP 【前扉式バッチ装置】 中量生産 抵抗加熱蒸発源:3元 治具:JPD-075C 排気系:LR90+UTM-3302FH 膜厚計:CRTM-9000 RS13-2203 蒸着装置 ei-5k ULVAC MA06-3266 RS11-1194 蒸着装置 EBX-2000C ULVAC MH97-1045 1998/01 【前扉式バッチ装置】 中量生産 蒸着室:750W×750D×900H 自公転治具(φ 100用) 蒸発源;電子ビーム (EGL-406M) 排気系;蒸着室 CRYO RS13-3131-0A 蒸着装置 EBX-2000C ULVAC MH97-1044 1998年製 【バッチ式】 抵抗加熱式蒸発源 【前扉式バッチ装置】 中量生産 真空槽:φ 750W×900H 自公転治具 蒸発源:抵抗加熱式(タングステンボート 10連回転駆動) 排気系:CRYO + RP 赤外線ランプ加熱 RS09-2143 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH97-5033 RS11-2512 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH96-1010 RS05-2068 蒸着装置 ED-60000-D14 ULVAC MH96-5015 【ドラム式】 量産向き 両面同時成膜 真空槽:φ 1000×1000L ドラム横回転治具 蒸発源:抵抗加熱式(内面用 10連/外面用 14連) 排気系:DP+RP RS11-3206 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF95-5002 有機薄膜形成装置 有機EL 研究・生産装置 RS12-1314 蒸着装置 MC-500 シンクロン 960021 RS11-2022 蒸着装置 SEC-06D 昭和真空 調査中 24 1997年製 1996年製 【前扉式バッチ装置】 中量生産 真空槽:φ 750W×900H 自公転治具 蒸発源:電子ビーム(EGL-406M) 排気系:CRYO + RP 赤外線ランプ加熱 【前扉式バッチ装置】 研究用 φ 4インチ公転ドーム JEOL電子銃(TI・Au・Pt・Ta・Cu) 【前扉式バッチ装置】 研究用 蒸発源:抵抗2元+EGK-3M(X-Y偏向コイルあり) 排気系:DP+RF ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 ☆ RS13-1038-0A 蒸着装置 EBS-10A特型 ULVAC XJ99-70010A ☆ RS13-3129-0A 蒸着装置 SEC-16C 昭和真空 99-4030 ☆ RS13-3131-0A 蒸着装置 EBX-2000C ULVAC MH97-1044 RS13-2205 RS13-2200 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト 蒸着装置(バッチ式) EBS-10A ULVAC 1999年製 1998年製 【ベルジャー式 バッチ装置】 排気系:U-12HSP(C30MT予防保全済)+PMB-003C+D-950DK 加熱源:赤外線ランプヒーター ステージ回転:0~10rpm 蒸発源:抵抗蒸発源(Wフィラメントx4連x6点切替方式) 仕様書・取説・図面あり。 【バッチ式】 ME54-0003 【ベルジャー式 バッチ装置】2006年リニューアル 操作系:タッチパネル 真空動作:AUTO/MANUAL 成膜半自動 蒸着材料:AL・In・Sn 公転ドーム(JRA-050) ワークサイズ:50mmx75mm 排気系:クライオポンプ:Torr8/C30V RP D-650 PMB-003C 蒸発源:E/B EGL-35M HP1010SG 抵抗蒸発源:1元 ボンバード電源付き MFC Ar 100sccm 膜厚計CRTM-6000 【前扉式バッチ装置】 生産用 φ 900x1125H SUS製 後方排気 水冷パイプ巻 公転ドーム 蒸発源:EB蒸発源(JEOL) JEBG-102UHO 15連ハース 電源JST-10F (10Kw) 排気系:RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP(SFD-22B・昭和)+ポリ ゴールド(PFC-550) その他: RF誘導バイアス(3Kw) 京三 / 光学膜制御(SOCS-1α )昭和 / CRTM-6000(シングルセンサ) / シースヒ-ター加熱 真空蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 00-4561 RS13-1035-0A 真空蒸着装置 SGC-22WA-RF 昭和真空 95-4293 1996年製 【前扉式バッチ装置】※要整備 φ 900mm前扉式チャンバー、DP:SFD-22、RP:VS-2401、MBP:PMB006CM、蒸発源:JEBG-102UHO(ルツボ15点)、 電源:JST-10F、RF印 加機構付き(3Kw)、 光学モニターSOCS-1α 、 膜厚計:CRTM-6000、 MFC:SEC-400MK3-Ar-100sccm、 SEC-400MK3-O2-100sccm 製造年 備考 <蒸着装置部品> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 RS09-1309 RS09-1576 RS11-8162 RS11-8163 RS11-8164 EBガン EBガン EB蒸発源 EB蒸発源 EB蒸発源 EGL-35 EGO-40M EGK-3C EGK-3C EGL-35 ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 183100264 183100262 177100197 RS11-2558 イオンソース LIS ULVAC 579883 イオンソース部 M/N:3151900-005A(メーカー:AE) 程度良品ほぼ未使用 RS11-2559 イオンソース LIS ULVAC 579882 イオンソース部 M/N:3151900-005A(メーカー:AE) 程度良品ほぼ未使用 RS11-8028 RS11-8029 RS11-8070 RS11-8071 RS11-8072 RS11-1219 RS11-1221 RS11-1222 RS10-8064 RS11-2466 マルチセンサーコントローラー マルチセンサーコントローラー マルチセンサーコントローラー マルチセンサーコントローラー マルチセンサーコントローラー 回転導入 回転導入 回転導入 抵抗加熱蒸発源ユニット グローブボックス CRTS-12NS CRTS-12NS CRTS-12NS CRTS-12NS CRTS-12NS TDU-08F TDU-08F TDU-08F ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC ULVAC 美和製作所 134-134 Ver2.04 136-136 Ver2.04 135-135 Ver2.04 137-137 Ver2.04 252-252 Ver2.04 シリアル無し シリアル無し シリアル無し シリアル無し MF98-1018付属 25 2005年製 2005年製 2005年製 2005年製 2007年製 1997年製 1997年製 1997年製 良好。 良好。 良好。 1998年製 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <アッシング装置> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 RS12-2079 アッシング装置 UNA-2000 ULVAC XS06-4604 RS11-2405 アッシング装置 UNA-2000N ULVAC RE93-1003 アッシング装置 アッシング装置 アッシング装置 P-1000 OPM2001CN OPM2001CN GLEN TECHNOLOGIES 10271 2000年製 1998年製 1994年製 仕様書・取説あり。 東京応化工業 C-9802050 東京応化工業 C-9401250 アッシング装置 TCA3822 東京応化工業 T-9608455 1996年製 【C to C ロードロック】 液晶画面が若干見にくいが、それ以外は問題なし。 RS13-3123-0A RS10-2204 RS10-2205 RS11-1026 1992年製 備考 【C to C ロードロック】 電源:マイクロ波 600~1000W 2450MHz±50MHz 高周波 200W 13.56MHz 【C to C ロードロック】 電源:マイクロ波 600~1000W 2450MHz±50MHz 高周波 200W 13.56MHz 【C to C ロードロック】 【C to C ロードロック】 <CVD装置> 中古品番号 品名 RS13-2010-0A CVD装置 型式 メーカー 製造番号 CME-200J ULVAC MA07-5012-0 ULVAC - RS12-1145 CVD装置 CPD-1210 RS10-2769 CVD装置 DWNT成膜装置 ULVAC RS09-1003 CVD装置 PD-20N SAMCO RS11-1200 CVD装置 PD-240 SAMCO RS12-1318 CVD装置 PD-270STA サムコ RS12-2004 CVD装置 HR-4421 太陽日酸 RS12-2005 CVD装置 SR-6420 太陽日酸 MB03-7002 製造年 備考 【CtoC】 生産用 プラズマCVD 156基板 《ガス》H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2, アモルファスSi 《不足品》 防着板2室分、シールドブロック4x2室分、シャワープレート2枚、防着 マスク4x2室分 【バッチ式】 研究用 プラズマCVD 基板:φ 200 使用ガス:SiH4・・O2・N2 2003年製 【バッチ式】 熱CVD カーボンナノチューブ研究用 加熱系:MAX1100℃ 排気系:RP ガス:H2(10SLM)・Co(10SLM) 基板:200mm×600mm 【バッチ式】 プラズマCVD 研究用 電極:平行平板 電源:13.56MHz 150W シーケン サー故障 1996年製 【バッチ式】 TEOS CVD 研究用 電極:平行平板式 電源:13.56MHz 300W 2001年製 【バッチ式】 研究用 TEOS-CVD 使用ガス:C2F6 Ar O2 N2 HN136-716 2002年製 【ロードロック式】 拡散用 MO-CVD 反応管:950×φ 257 ALNトレイ(φ 160) 加熱系:カーボンサセプタ 400~1000℃ グローブボックス付 43006001-C 2006年製 【ロードロック式】 Zn拡散用 MO-CVD 反応炉:水冷箱型 φ 6in×1枚 加熱系:抵抗加熱式 400~900℃ シリアル無し 26 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <プラズマCVD装置部品 AMAT Centura> 中古品番号 RS09-1267 RS09-1041 RS09-1091 RS09-1067 RS09-1194 RS09-1213 RS09-1170 RS09-1250 RS09-1251 RS09-1253 RS09-1257 RS09-1260 RS09-1151 RS09-1048 RS09-1049 RS09-1070 RS09-1082 RS09-1095 RS09-1066 RS09-1086 RS09-1556 RS09-1272 RS09-1196 RS09-1542 RS09-1543 RS09-1263 RS09-1264 RS09-1265 RS09-1223 RS09-1065 RS09-1286 RS09-1284 RS09-1211 RS09-1212 RS09-1071 RS09-1072 RS09-1088 RS09-1164 RS09-1165 RS09-1224 RS09-1225 RS09-1227 RS09-1228 RS09-1229 RS09-1230 RS09-1231 RS09-1252 RS09-1254 RS09-1258 RS09-1261 RS09-1171 RS09-1172 RS09-1173 RS09-1174 RS09-1473 RS09-1166 RS09-1220 RS09-1044 RS09-1043 RS09-1135 RS09-1106 RS09-1075 RS09-1167 RS09-1168 RS09-1178 RS09-1177 RS09-1179 RS09-1185 RS09-1175 RS09-1181 RS09-1127 RS09-1062 RS09-1063 RS09-1064 RS09-1136 RS09-1279 RS09-1222 RS09-1214 RS09-1186 RS09-1187 RS09-1209 RS09-1269 RS09-1036 品名 15V PWR SUPPLY(CEN/END) 200V DEGAS DRIVER 200V PVD DRIVER 4,5,6,”ROBOT 5相ドライバー 5相ドライバー AI/Oボード AI/Oボード AI/Oボード AI/Oボード AI/Oボード AI/Oボード ALエッチャー ANALOG OUTPUT BOARD ANALOG OUTPUT BOARD ASSY RF MATCH,ETCH ASSY STORAGE ELEV WAFER CASSETTE HNDLR ATP100 BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP MODULE BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP MODULE Blaker,MC 一式 Gen-Rack, メクラ数,Gen-Psの台 ブラケット Bufferガートバルブ Cable Cable Assy Source Water Manifold Ground アース線 Cable Assy Source Water Manifold Ground アース線 Centura イオンベージコントローラー Centura イオンベージコントローラー Centura イオンベージコントローラー Centura フロントパネル CHOPPER DRIVER Cntura Buffer Lid Cntura インターコネクト CRTモニター CRTモニター CVD RF-MATCH CVD RF-MATCH DC POWER SUPLY DCPS DCPS DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DI/Oボード DIO DRVER BOX Dry Pump Dura Source 13” Al Dura Source 13”JMW-1 FAN FAN PAC 型式 REV.E 0010-20697 Wideインデクサー メーカー P-5000 - AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT DC24、DC12、DC15,DC5V電源 POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源 POWER STANDARD ELECTRONICS INC - AMAT AMAT AMAT AMAT ULVAC AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT ANALOG INPUT/OUTPUT DIGITAL I/O BOARD DIGITAL I/O BOARD DIGITAL I/O BOARD DIGITAL I/O BOARD K-380-02 CH1,CH2のみDRVERあり A30W 0010-20328 0010-21206 D299-857 HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE 344VACUUM GAUGE CONTROLLER IG CONT 344VACUUM GAUGE CONTROLLER IG CONT CHAMBER INTERFACE BD INTERFACEボード INTERLOCK SELECT BD INTERLOCKボード MAINFRAME INTERLOCK INTERLOCKボード LOADLOCK INTERLOCKS INTERLOCKボード ISOLATION AMPLIFTER BD ISOLボード ISOLATION AMPLIFTER BD ISOLボード LAMBDA LIS 7I-15 LAMBDA LIS-3I-12 LAMBDA LIS-7I-15 LAMBDA LIS-7I-15 LAMBDA LIS-7I-15 LLC A,B Wide LLカバー LLドアカバー LL室ステージ LL室ステージ MDX-12I-650 MDX-6L MDX-L12M MDX-L12M 製造番号 製造年 備考 ※部品 GRANVILLE PHILLIPS GRANVILLE PHILLIPS AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT - ※2式 ※2式 ADVANCED ENERGY 27 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 RS09-1037 RS09-1270 RS09-1169 RS09-1218 RS09-1275 RS09-1276 RS09-1219 RS09-1273 RS09-1274 RS09-1039 RS09-1050 RS09-1051 RS09-1052 RS09-1053 RS09-1054 RS09-1079 RS09-1059 RS09-1060 RS09-1061 RS09-1078 RS09-1055 RS09-1217 RS09-1268 RS09-1105 RS09-1188 RS09-1030 RS09-1031 RS09-1032 RS09-1033 RS09-1034 RS09-1035 RS09-1090 RS09-1176 RS09-1102 RS09-1103 RS09-1040 RS09-1259 RS09-1101 RS09-1256 RS09-1068 RS09-1069 RS09-1025 RS09-1026 RS09-1027 RS09-1288 RS09-1203 RS09-1280 RS09-1281 RS09-1073 RS09-1077 RS09-1241 RS09-1326 RS09-1046 RS09-1047 RS09-1057 RS09-1058 RS09-1074 RS09-1076 RS09-1083 RS09-1084 RS09-1085 RS09-1232 RS09-1206 RS09-1233 RS09-1202 RS09-1192 RS09-1193 RS09-1195 RS09-1210 RS09-1204 RS09-1278 RS09-1283 RS09-1255 RS09-1242 RS09-1246 RS09-1226 RS09-1200 RS09-1282 RS09-1287 RS09-1236 RS09-1237 RS09-1239 RS09-1240 RS09-1080 RS09-1093 RS09-1482 MDX-L12M MDX-L18M MODULE MFG O/D Body O/D Body O/D Body O/D Lid O/D Lid O/D Lid PC1 MATCH ASSY PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O PCB ASSEMBLY DIGITAL Ⅰ/O 【お客様用】中古品在庫リスト MDX-L12M - 2014年2月20現在 ADVANCED ENERGY AMAT 0010-20441 AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT PCB ASSEMBLY ENCODER INTERFACE AMAT PCB ASSEMBLY T,C,GAUGE MONITOR AMAT PCB ASSEMBLY T,C,GAUGE MONITOR AMAT PCB ASSY AI MUX AMAT PCB ASSY SBC I/O BREAKOUT AMAT PCB ASSY,ANALOG INPUT AMAT PC-I POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源 PRCOIジェネレーター 1783 AMAT PVD Lid STD Lid PVDドライバー(centura) 0010-20764 AMAT PVDドライバー(centura) 0010-20764 AMAT PVDドライバー(センチュラ) 0010-20764 AMAT PVDドライバー(センチュラ) 0010-20764 AMAT PVDドライバー(センチュラ) 0010-20764 AMAT PVDドライバー(センチュラ) 0010-20764 AMAT REDUCER BOX AMAT RELAY CONTROL BD AMAT RELAYボード RF MATCH PHASE IV 26295-01A AMAT RF MATCH PHASE IV E01-027-03A AMAT RF POWER SOURCE CPS-1001/13 AMAT SBC SBC BOARD 602599 AMAT SEI Slit Valve Assy AMAT Slit Valve Assy AMAT SOLD STATE POWER GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI SOLD STATE POWER GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI SOLD STATE POWER GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI STD Bode STD Body STD Lid STD ヒンジ SUSCEPTOR LIFT AMAT SUSCEPTOR LIFT AMAT TC GAUGEボード TC GAUGE BD THROTTLE VALVE ASSY, ETCH 0010-09019 AMAT VME STEPPER CONTROLLERⅠ AMAT VME STEPPER CONTROLLERⅠ AMAT VME STEPPER CONTROLLERⅠ AMAT VME STEPPER CONTROLLERⅠ AMAT WAFER LIFT AMAT WAFER LIFT AMAT wASSY LAMP DRIVER,TESTED REP0190-09009 AMAT wASSY LAMP DRIVER,TESTED REP0190-09009 AMAT WMAGNET DRIVE ASSY AMAT ISOLATION AMPLIFTER BD アイソレーションアンプ アダプター wide INTERLOCK SELECT BD インターロックセレクトBD エアオペ フジキン オリエントデガス O/D オリエントデガス O/D カセット カセット ゲートバルブ VAT ゲートバルブ ゲートバルブ コンタークタインターロック SYS RESET/INTLK SEL BD システムリセット/インターロックセレクト シリアルアイソレーション ステッパーコントローラーボード スリットAssy スリットAssy スリットAssy CHAMBER INTERFACE BD チャンバーインターフェイス CHAMBER INTERFACE BD チャンバーインターフェイス CHAMBER INTERFACE BD チャンバーインターフェイス CHAMBER INTERFACE BD チャンバーインターフェイス ディスクドライブとボード AMAT ドライバー AMAT ドライバー UDK514VN ULVAC 15V PWR SUPPLY(CEN/END) 28 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 RS09-1485 RS09-1094 RS09-1081 RS09-1098 RS09-1099 RS09-1100 RS09-1197 RS09-1198 RS09-1271 RS09-1089 RS09-1109 RS09-1110 RS09-1111 RS09-1112 RS09-1113 RS09-1114 RS09-1115 RS09-1116 RS09-1117 RS09-1118 RS09-1119 RS09-1120 RS09-1121 RS09-1122 RS09-1123 RS09-1124 RS09-1125 RS09-1126 RS09-1128 RS09-1129 RS09-1130 RS09-1131 RS09-1132 RS09-1133 RS09-1134 RS09-1141 RS09-1137 RS09-1138 RS09-1139 RS09-1140 RS09-1142 RS09-1143 RS09-1144 RS09-1145 RS09-1146 RS09-1096 RS09-1092 RS09-1221 RS09-1247 RS09-1248 RS09-1249 RS09-1234 RS09-1235 RS09-1238 RS09-1087 RS09-1108 RS09-1201 RS09-1104 ドライバー バラトロン パワーサプライ ヒーター ヒーター ヒーター ブレーカー ブレーカー ブレーカー プロセスキット(CVD) ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード ボード マスフローコントローラマスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー モニター モニターベース モニター制御BOX(2個口) リモートサプライヂストリビューション リモートサプライヂストリビューション リモートサプライヂストリビューション リレーコントロール BD リレーコントロール BD ロードロックインターロック ロードロック用ファン ロボット 信号Cable 電源 【お客様用】中古品在庫リスト UDK514VN 0040-06421 0040-06421 0040-06421 RELAY CONTROL BD RELAY CONTROL BD LOADLOCK INTERLOCKS 0010-20000 2014年2月20現在 ULVAC AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT 29 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <プラズマCVD装置部品 AMAT P-5000> 中古品番号 RS09-1315 RS09-1316 RS09-1317 RS09-1374 RS09-1329 RS09-1356 RS09-1312 RS09-1348 RS09-1349 RS09-1324 RS09-1351 RS09-1352 RS09-1330 RS09-1331 RS09-1376 RS09-1386 RS09-1388 RS09-1344 RS09-1345 RS09-1346 RS09-1347 RS09-1354 RS09-1355 RS09-1389 RS09-1328 RS09-1314 RS09-1357 RS09-1358 RS09-1321 RS09-1322 RS09-1353 RS09-1381 RS09-1382 RS09-1383 RS09-1384 RS09-1323 RS09-1369 RS09-1327 RS09-1320 RS09-1365 RS09-1366 RS09-1360 RS09-1371 RS09-1350 RS09-1336 RS09-1337 RS09-1361 RS09-1375 RS09-1387 RS09-1377 RS09-1378 RS09-1379 RS09-1380 RS09-1359 RS09-1385 RS09-1367 RS09-1368 RS09-1313 RS09-1334 RS09-1335 RS09-1338 RS09-1339 RS09-1340 RS09-1341 RS09-1342 RS09-1343 RS13-2002 RS13-2003 RS09-1332 RS09-1333 RS09-1362 RS09-1363 RS09-1364 品名 3103,THERMOCOUPLE,DXZ 3103,THERMOCOUPLE,DXZ 3連ファン ASSEMBLY BEARING ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS AC PWRCHO ASSY RF MATCH BW ETCHBACK BASE,RF BRG LEADSCR&NUT ASSY .5DX.1LEADX4TRVLX CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34 POS CAP, BEARING, DXZ CLAMP, ACME LEAD SCREW CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN PACKAGE CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN PACKAGE COAXIAL RESISTOR ELECTROSTATIC CHUCK COVER FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD FAN, MUFFIN 4"115CGFM FAN, MUFFIN 4"115CGFM GATE 5000 ZA SLITVALV GATE 5000 ZA SLITVALV GATE 5000 ZA SLITVALV GATE 5000 ZA SLITVALV GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD KIT, 6" MAINTENANCE ESC MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUM NITRID PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM PROM KIT ASSY SERIAL SIDE BOAD ASSY THROTTLE VALVE ASSY, ETCH VACUUM VALVE VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1 VGA VIDEO CONTROLLER BOAD WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE, DXZ インジェクションバルブ インジェクションバルブ エアオペバルブ オーブンユニット カバーリング(絶縁リング?) シャワープレート シャワープレート シャワープレート シャワープレート スロットバルブ トッププレート フロメーター フロメーター ホットバルブヒーターコントローラー ポンプモジュール ポンプモジュール マスフロ マスフロ マスフロ マスフロ マスフロ マスフロ マスフロー マスフロー電源 マルチファンクション アダプター マルチファンクション アダプター 手動バルブ 電磁弁 電磁弁 型式 0190-35413 0190-35413 FSCM-03522 0010-30583 0010-05256 0150-75202 0010-09490 0020-34131 3690-03269 0150-70018 0020-34726 0020-34727 3250-01007 3250-01007 8860 AMAT部品 0021-00042 0600-01011 0600-01011 0190-09533 0190-09533 0190-09533 0190-09533 3310-01074 0140-09551 0240-32135 0090-02980 0090-02980 0100-00084 0100-00084 0010-00084 0200-36629 0020-30570 0020-30570 0020-30570 0300-09055 0100-00165 0010-09019 BENKAN 3870-01455 3870-01455 3870-01245 0100-00793 0200-09969 IV-2410AV IV-2410AV FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP IFGG7005M-C AMAT部品 メーカー 0190-09663 AMAT部品 FM-PX25W-111-B3-SW-TI 東京フロコーポレーション FM-PX25W-111-B3-SW-TI 東京フロコーポレーション 004101117E284119423 00310117E038119423 00410117E038119423 製造年 備考 大日本スクリーン AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT 00410117E326119423 製造番号 AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT TERMALINE AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT VARIAN AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT AMAT NC NC スエジロック AMAT AMAT STEC STEC フジキン ベーカンユーティミー AMAT AISIN DBM-P21(DBM-K4PC) AISIN 1159B-00020RU-S MKS SEC-4400M STEC SEC-4400M STEC SEC-4400M STEC SEC-4400M STEC SEC-4400M STEC SEC-400MK3 STEC PAC-3E STEC 3155077-003A AE 3155094-003A AE SS-BNVS1-AB NUPRO AB31-2N-2-04A OKD AB31-2N-2-04A OKD DBM-P21(DBM-K4PC) - Ar 50SCCM、ケーブル付 3系統タイプ 30 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <ドライエッチング装置> 中古品番号 型式 メーカー 製造番号 RS12-1304 ドライエッチング装置 CE-300I ULVAC MA03-1008 RS12-2047 ドライエッチング装置 CSE-1000 ULVAC RE92-1023 RS10-2784 ドライエッチング装置 CSE-1110 ULVAC MH58-0012 RS11-2399 ドライエッチング装置 CSE-1210 ULVAC RS13-2097 ドライエッチング装置 NE-5500 ULVAC RS12-1208 RS12-1312 ☆ 品名 ドライエッチング装置 ドライエッチング装置 NLD-500 NLD-6000 ULVAC ULVAC 製造年 2004年製 備考 【ロードロック式】 研究用 ICP方式 電源:Antenna 1kW 13.56MHz 排気系:TMP・DRP・APC 基板:φ 150mm (ESCホールド) 使用ガス:CF4/C3F8/SF6/He/Ar/O2 【バッチ式】 研究用 RIE方式 電源:500W 13.56MHz 排気系:メカニカルブースターポンプ+油回転真空ポンプ 基板:φ 200mm (平置き) 1983年製 【バッチ式】 研究用 RIE方式 電源:500W 13.56MHz 排気系:メカニカルブースターポンプ+油回転真空ポンプ 基板:φ 200mm (平置き) 【バッチ式】 研究用 RIE方式 電源:500W 13.56MHz 排気系:DP+PMB+RP 基板:φ 200mm (平置き) ガス系:4系統 MV02-5006-0 【CtoCロードロック式】 量産用 ISM方式 電源:Antenna 1kW 13.56MHz/BIAS 300W 12.5MHz 排気系:TMP・DRP・APC 基板:φ 50mm (ESCホールド) 使用ガス:CF4/Cl2/SF6/He/Ar/O2 MV03-1022 【ロードロック式】 研究用 NLD方式(Deep Etch) 電源:Antenna 1kW /Bias 500W 13.56MHz 排気系:TMP・DRP・APC 基板:φ 150mm (メカチャック) 使用ガス:C4F6/CH2F2/O2 2005年製 MV99-1003 【C to C ロードロック式】 研究用 NLD方式(Deep Etch) 電源:Antenna 2kW /Bias 1kW 13.56MHz 排気系:TMP・DRP・APC 基板:φ 100mm (メカチャック) 使用ガス:C4F6/CH2F2/O 【ロードロック式】 研究用 NLD方式(Deep Etch) 電源:Antenna 2kW /Bias 1kW 13.56MHz 排気系:TMP・DRP・APC 基板:φ 150mm (メカチャック) 使用ガス:C4F6/CH2F2/O2 RS09-2186 ドライエッチング装置 NLD-800 ULVAC MV97-1003 RS10-2789 ドライエッチング装置 DEM-451 ANELVA EVP-16956 1987年製 【バッチ式】 研究用 RIE方式 基板:φ 150mm 平置き RS11-2028 ドライエッチング装置 L-210H-WS ANELVA EVP-35058 2000年製 【ロードロック式】 研究用 RIE方式 使用ガス:O2 CF4:Ar CHF3 C4F8 SF8 排気系:R/P×2台 TMP×1台 RS12-2072 ドライエッチング装置 RIE-10N SAMCO E9302147 1993年製 【バッチ式】 研究用 RIE方式 電源故障・要修理 RS12-1311 ドライエッチング装置 DES-320E YAC RS12-1386 ドライエッチング装置 VPE-4F サムコ RS10-2182 ドライエッチング装置 CDE-80N 芝浦エレクトロニクス WFX0013 RS13-3128-0A ドライエッチング装置 DEA-506 ANELVA EVP-26588 FT1410GA ULVAC Takaoka 2004AA003634-101 RS12-1029 RS12-1030 ホットプレート 蛍光温度計 【枚葉式】 生産向け RIE方式 基板:φ 4トレイ搬送 チャンバー2室 28A2081 TA01140075 31 2006年製 【バッチ式】 研究用 卓上簡易式 XeF2用 犠牲層エッチング(非プラズマ雰囲気) 【枚葉式】 生産向け ケミカルエッチング方式 電源:マイクロ波 2. 45GHz 1 kW 基板:φ 200mm (裏面エッチング) 2001年製 2001年製 NE-5500付属 2インチ用ホットプレート NE-5500付属品。ケーブル無し。測定部分無し。 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <イオン注入装置> 中古品番号 RS07-2983 品名 イオン注入装置 型式 IMX-3500 メーカー ULVAC 製造番号 製造年 備考 中電流イオン注入装置 (MAX Energy 200KeV) 基板:4in 1枚仕込(サイズ変更可能) MI98-0001 <イオン注入装置部品> 中古品番号 RS04-8081 RS04-8084 RS04-8092 RS04-8021 RS04-8087 RS04-8022 RS04-8088 RS04-8023 RS04-8089 RS04-8025 RS04-8091 RS04-8026 RS04-8027 RS04-8093 RS04-8034 RS04-8071 品名 ACCEL/DECEL P/S ARC/FIL P/S CPU BOX HV P/S HV P/S HV P/S(DEC P/S) HV P/S(DEC P/S) HV P/S(EXT P/S) HV P/S(EXT P/S) Q-LENS P/S Q-LENS P/S インテグレータープロセッサー インテグレータープロセッサー インテグレータープロセッサー コックロフト サブレッションバイアス電源 型式 メーカー MDL-2/10 製造番号 製造年 52609 110838 Ver.5 TAP80V/変圧器150V用 備考 イオンソース部 イオンソース部 60055 ブラウン管モニター PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂 高圧電源(180kV) PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂 880258 PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA) 高圧電源(180kV) M669040-01C V 930630 ディセル電源 S/N:99993103 ディセル電源 PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA) GLASSMAN/高砂 PS/UL-3517G1254(-35kv/17mA) GLASSMAN/高砂 M674070-01DW930922 PS/UL-3517G1254(-35kV/17mA) GLASSMAN/高砂 引出電源(30kV) S/N:2900392 引出電源(30kV) PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 S/N:2930099 Qレンズ電源(15kV) CPU BOX DOSE DISPLEY DOSE DISPLEY - 演算制御部 Qレンズ電源(15kV) 演算制御部 60055 演算制御部 高圧電圧昇圧 ULVAC IDZ-8000用 動作い確認 <その他真空装置> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 RS10-2602 誘導加熱式真空高温炉 FHT-75S ULVAC MF99-1131 RS11-3222 凍結乾燥装置 DF-05H ULVAC ZF93-5301 RS13-2201-0A 凍結真空乾燥装置 DFM-09A-S ULVAC RS12-2056 赤外線ランプ加熱装置 RTA-6000 アルバック理工 RS12-1044 真空アニール炉 TYPE BH アユミ工業 RS13-1010 分子線エピキタシー装置 - Eico 製造年 備考 【バッチ式】 実験用 金属焼結等 (MAX1800℃・・・カタログ値) 排気系:RP+PMB 1994年製 棚面積:0.49m2、予備凍結温度:-35~-40℃、 乾燥時加熱温度:常温~80℃(打点記録計は故障中) 【円筒形棚段式前面扉開閉式】 棚面積:0.9m2 棚冷却到達温度:約-45℃以下 棚温度調節可能範囲:+60℃~ー30℃ MF99-5104 2010年製 【C to C】 大気ロボット搬送 量産用 加熱室:赤外線ゴールドイメージ炉(2式) 加熱温度 800℃(MAX 1000℃) φ 100in基板用 ガス系 O2 N2 ドライポンプ付属 VF01-16 2002年製 【バッチ式】 実験用 排気系:CRYO PumP + RP - 2009年製 【ロードロック式】 蒸発源セルx6式のMBE装置 <その他加熱装置> 中古品番号 RS12-1316 RS12-1315 RS12-1338 RS12-1339 RS12-1320 RS12-1373 品名 1連式横型管状炉 3連式横型管状炉 ベーク炉 ベーク炉 縦型チューブ電気炉 電気炉 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 A-T-H A-T-H 各種 ノリタケ ノリタケ ヤマト φ 4インチ ~1300℃ VF-2000 KOYOサーモシステム オートローダ φ 4X36枚 ~1200℃ φ 4インチ ~1250℃ □350mm内径 200℃ 大気オーブン・DG82(ヤマト) <UV装置> 中古品番号 RS12-1379 品名 UV照射装置 型式 UV-1F メーカー サムコ 製造番号 24A1643 製造年 備考 2003年製 <ディスペンサー装置> 中古品番号 品名 RS11-2027 ディスペンサーコントローラー 型式 MS-1 メーカー 武蔵エンジニアリング 製造番号 1M010002412 製造年 2010年製 備考 15時間程度使用後、保管状態。 <アライナー> 中古品番号 RS12-2087 RS10-2788 RS11-1245 品名 マスクアライナー マスクアライナー TFE電子ビーム描画装置 型式 MPA-600Super PLA-501 ELS7500EX メーカー CANON CANON エリオニクス 製造番号 UM031046 91092827 H35-019 32 製造年 備考 2004年製 1991年製 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <その他装置> 中古品番号 ☆ ☆ RS11-2213 RS12-1376 RS09-1021 RS12-1392 RS13-3130-0A RS12-1310 RS12-2065 RS09-1394 RS12-1378 RS12-1317 RS12-1368 RS12-1389 RS13-3121-0A RS13-3019 RS12-1375 RS12-1385 RS11-1036 品名 コータ-・デベロッパ CMP SOGコーター ウェハ洗浄装置 ごみ検査装置 スピンドライヤ スピンドライヤー スプレー洗浄機 超臨界乾燥装置 ディップ式自動洗浄装置 デシケーター 型式 メーカー Mark-Ⅴz SPP600S TMR6100 EVG301 WM-1700 TEL ST-270 セミツール 製造番号 616540 岡本工作機械 7039 東京応化 EVGジャパン S050012 TOPCON 207013 製造年 備考 1999年製 2005 U/A ※6インチ仕様 SST-F-221-280KF SEMI-TOOL F123982 1998年製 2008年製 SCRD4 ETN-1100-110 レグザム ETS 3.011 H9903-0437 凍結割断レプリカ作製装置 JFD-310 日本電子データム JK121026-129 2002年製 生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製 装置 ボンドアライナー装置 レジストコーター レジスト保管用冷蔵庫 卓上型現象装置 両面スクラバー EVG620 EVG S020115 2003年製 装置停止時期:2013/12/初旬 仕様書・取説あり。 2槽式(フッ素・水) ズースマイクロテック - 取説あり。 U/N SANYO ミカサ SS-W60A-AR 大日本スクリーン 55700-6949 2006年製 装置検品済みで状態問題なし。 <顕微鏡> 中古品番号 品名 型式 RS09-1400 RS12-1413 MM07ローダ オートファインコーター WL-300-Mac/Mic-AT RS12-1414 RS12-1412 RS12-1323 RS13-3125-0A RS13-3126-0A RS12-1341 RS11-2380 RS11-2381 RS11-2382 RS09-1406 RS12-1345 RS12-1347 RS12-1322 RS09-1401 メーカー 製造番号 製造年 備考 JFC-1600 伊藤忠 日本電子 SM78250082 非導電性試料へ金属コーティングをするイオンスパッタ装置 クロスセクションポリシャー SM-09010 日本電子 SM39050050 イオンビームと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する 断面試料作製装置 電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-7500FA 日本電子 SM17500037 程度良好・動作確認済み。 取説あり。 付属品:透過電子検出器(74240RTED)・冷却水循環装置 (78130CWC)・バックアップ電源(UPS7.5KVA)・バックアプ電源(UPS1.2KVA) モニター付顕微鏡 簡易測定顕微鏡 簡易測定顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 顕微鏡 L-200N メジャーNAVI メジャーNAVI AVT-45NC NIKON 中央精機 中央精機 明立精機 BH2MJLA-10+AL-1MBL オリンパス BH2MJLA-10+AL-1MBL オリンパス BH2MJLA-10+AL-1MBL オリンパス ERGOLUX ライカ MM-22 NIKON OPTIPHOTO-150SNIKON S-3000H HITACHI WL-300-Mac/Mic-AT 伊藤忠 MM07 顕微鏡用 421174 GDA0110 GDA0112 2011年製 2001年製 2001年製 ECLIPSE 取説あり。 通電確認済み。 取説あり。 通電確認済み。 汎用顕微鏡 シリアル無し シリアル無し シリアル無し 10031 9102843 汎用顕微鏡 汎用顕微鏡 電子顕微鏡(SEM) MM07 <その他計測器> 中古品番号 ☆ 品名 型式 メーカー 製造番号 RS13-1040-0A 飛行時間型二次イオン質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100(バッチ式) アルバックファイ RS12-1374 FTIR IRP restige-21 島津製作所 FT-IR psメーター X線解析装置 オシロスコープ オシロスコープ ナノインプリント装置 ナノ断面形状観察装置(FIB) プリズムカプラ 気中パーティクルカウンター 気中パーティクルカウンター 全自動4探針装置 熱分析装置 非接触三次元測定装置 微小領域観察シュリーレン装置 Nicolet4700 VR-120 X pert MRD SS-7602(20Mhz) SS-7602(20Mhz) NM-0402 SMI3050 Thermo 国際電気 Panalytical IWATSU IWATSU 明昌機工 SII TS3700 TS3700 WS-8800 TG8120 NAFS3070P - 日立計測サービス RS12-2062 魔境検査装置 MSI-110 コベルコ技研レオ M-002 RS13-3020 両面位置ズレ測定装置 DCM60 ユニオン光学 RS12-1404 RS10-2179 RS12-2022 RS04-8096-0A RS04-8097-0A RS12-1387 RS12-1384 RS12-1369 RS09-1398 RS09-1399 RS12-2067 RS12-1408 RS12-1411 RS12-1410 製造年 1997年製 2004年製 AFZ0400155 52061-003 DY2576 52277869 52277872 備考 2014/1/末まで通電・使用。 欠品・不具合なし。 フーリエ変換型赤外分光光度計 別途PCあり フーリエ変換型赤外分光光度計 付属品:電源ケーブルのみ 通電確認したところ異常なし 2001年製 状態良好。 11.100.367.000.007 2006年製 プリズムとレーザーで試料の屈折率や損失を測定 897834 日立計測サービス 907939 ナプソン U/A リガク ZT006809 日本技術センター 17591007 溝尻工学 シリアル無し 2012年製 購入後未開封で未使用の装置 2007年製 2003年製 魔境の原理を用いて、ウエーハの鏡面加工された試料表面の目に見えな い凹凸を濃淡画面で表示する。 - 33 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <ガス制御> 中古品番号 品名 型式 RS13-3013-0A RS12-1361 RS12-1362 RS12-1363 RS12-1364 RS12-1365 RS12-1366 ガス処理設備一式 キャビネット キャビネット キャビネット キャビネット キャビネット キャビネット - RS12-1033 マスフローコントローラー FC-770AC マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー マスフローコントローラー電源 マスフローコントローラー電源 マスフローコントローラー電源 マスフローコントローラー電源 レギュレーターユニット 除害装置 除害装置 除害装置 電磁弁ユニット FC780C FC780C FC780C RS09-1028 RS09-1029 RS09-1038 RS11-2177 RS11-1168 RS11-2086 RS11-2087 RS11-2092 RS11-2093 RS11-2178 RS11-2179 RS11-2182 RS11-1166 RS11-1167 RS09-2672 RS11-2180-0A RS11-2175 RS11-2176 RS11-2160 RS09-1304 RS11-2083 RS12-1370 RS12-1371 RS12-1372 RS11-2118 メーカー 製造番号 製造年 備考 日本パイオニクス - IUCHI IUCHI IUCHI IUCHI IUCHI (1200Wx650Dx1800H) (1200Wx650Dx1800H) (1200Wx650Dx1800) (1200Wx650Dx1800H) (1200Wx650Dx1800H) (1200Wx650Dx1800H) Aere Aere Aere Aera SEC-4400M(MK3) STEC SEC-4400M STEC SEC-4400M(MK3) SMC SEC-4400M(MK3) SMC SEC-4400M(MK3) STEC SEC-4400M(MK3) STEC SEC-4400M(MK3) STEC SEC-4400M(MK3) STEC SEC-4400M(MK3) STEC SEC-E440J STEC SEC-E440J STEC SEC-F740MCA1 STEC SEC-4400M(MK3) STEC PAC-3HS-01 STEC PAC-3HS-01 STEC PAC-3HS-01 STEC PS-74DA アエラ W3000 CKD SQシリーズ SMC 291502488 3424592121 291502493 291502489 3458018281 3422582475 291502487 291502492 291502490 3430014434 3463572997 2451023 291502486 4168320105 4168320143 4168320104 2001年製 ケーブル無し。電源無し(4式セット) Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF4 50sccm(S/N:26F0358)、Sicl4 20sccm(S/N:26F0278)、O2 50sccm(S/N:26F0275) 2001年製 Ar 200sccm VCR継手 CH4 10sccm VCR継手 2001年製 2001年製 2007年製 2007年製 2001年製 2001年製 2001年製 O2 10sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付 Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付 Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Kits Valve付 Ar 1000sccm VCR継手→Swagelok Kits Valve付 Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付 O2 5sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付 Ar 1000sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付 Co 10sccm VCR継手 H2 10sccm VCR継手 Ar 2SLM VCR継手 Fujikin Valve付 2001年製 2001年製 1808 シリアル無し <搬送ロボット> 中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 RS09-2604 オートローダー 31RU8141-002-001 RORZE RS11-2496 真空搬送ロボット アルファースⅡ ULVAC RS09-2670 真空搬送ロボット KEYTRANⅢ ULVAC - ULVAC製スパッタ装置 ZX-1000 搭載 真空搬送ロボット トレイ搬送用ピックアップハンド RS11-1254 真空搬送ロボット ULSTA-2400 ULVAC WD05-1001 ULVAC製スパッタ装置 SMD-2400 搭載 大気搬送ロボット テスト運転済 RS08-8028 RS10-8028 真空搬送ロボット 真空搬送ロボット MAG6 MAG7 brooks brooks 9911-10601 型003-1600-11 RS08-8038 真空搬送ロボット SPR-301-X501 ダイヘン X1501Y3994301 ULVAC製スパッタ装置 SME-200 搭載 真空搬送ロボット トレイ搬送用ピックアップハンド RS04-8076 RS04-8077 RS08-8027 RS08-8026 RS10-8031 RS10-8029 RS10-8030 RS10-2672 大気搬送ロボット 大気搬送ロボット 大気搬送ロボット 大気搬送ロボット ティーチングペンダント ティーチングペンダント 搬送ロボットアーム 搬送ロボット UT0150 UT0150 UTMF5000 MECS MECS ASYST UTV-UTV-F2620W ASYST KEYTRAN用 ULVAC Mag7用 brooks Mag7用 brooks SPR-801-X0980 ダイヘン 1994年製 ULVAC製スパッタ装置 MLX-3000 搭載 真空搬送ロボット トレイ搬送用ピックアップハンド 製造番号未確認 3軸 3軸 A06260950-1 502000000159 R11862-717-01 HH135074 9911-10602 X0538Y3742701B JZMQZ-TB38A KEYTRAN-4ZEX-172用 型式001-1984-07 型式002-0015-50 <電気制御系> 中古品番号 RS04-8056 RS04-8014 RS04-8080 RS04-8012 RS04-8013 RS11-2117 RS11-8036 RS04-8053 RS04-8054 品名 キーボード シーケンサー シーケンサー シーケンサー シーケンサー シーケンサー タッチパネル パソコン パソコン 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考 PC9801Sの付属品 CYCMAC C1000H オムロン CYCMAC C1000H オムロン CYCMAC C500-PS221 CYCMAC C500-PS222 三菱Qシリーズ GP2600-TC11 PC9801S PC9801S オムロン オムロン 三菱 Pro-face NEC NEC 901090 053930J007499 S369148CA S369146CA 34 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。 アルバックテクノ株式会社 2014年2月20現在 【お客様用】中古品在庫リスト <ユーティリティー設備> 中古品番号 RS12-1350 RS12-1351 RS12-1352 RS12-1353 RS12-1354 RS12-1355 RS11-3162 RS08-2013 RS10-2799 RS10-2800 RS10-2801 RS10-2802 RS10-2803 RS12-1049 RS13-2095 RS13-2096 RS12-1324 RS12-1048 品名 クリーンベンチ クリーンベンチ クリーンベンチ クリーンベンチ クリーンベンチ クリーンベンチ 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー 水冷チラー チラーユニット 超純水製造装置 型式 メーカー 明立精機 NIKON NIKON NIKON NIKON NIKON RKS-400V-A ORION CH-5500WS タイテック CS1500NR リッシー CS1500NR-B リッシー MMR-101 リッシー MMR-101 リッシー MMR-101 リッシー SCS-3WAT ステップサイエンス RKE-5500A-VW ORION RKE-5500A-VW ORION 各種 リッシー PURIC-MXⅡ-LS オルガノ㈱ 製造番号 製造年 備考 2503011 9607002 9803021 0707467 0708575 0707466 9904132 2004年製 601003 602031 仕様書・取説・図面無し 仕様書・取説・図面無し CS1000x1台 CS6000x1台 MLD2173321 35 2004年製 ※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。 ※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。 ※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
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