データシート L-9517-9340-06-A TONiC™ エンコーダシステム レニショーの TONiC シリーズは、運動性の 高い高精度モーションシステム用に設計され た新世代の超コンパクトなエンコーダです。 要求の厳しい様々な業界に高精度、高速性、 高い信頼性を提供します。 リードヘッドは、最新開発の RGSZ20 ゴールドテープスケール、 REXM 超高精度角度位置決め用エンコーダ、IN-TRAC ™両方向 オプティカルリファレンスマークを備えた FASTRACK ™/RTLC ス ケールシステムに加え、 ご好評をいただくRSLM ステンレススチ ールスケール、膨張率が低く安定性の高い RELM 高精度スケー ル、RESM ロータリーリングに使用できます。 TONiC リードヘッドは、究極の信頼性と汚れに対する耐久性を確 保するために、第三世代のオプティカルフィルター機構を備え、 ノ イズ(内部ジッタ) をさらに低減するように調整されているだけでな く、 オートゲインコントロールとオートオフセットコントロールなど のダイナミック信号処理によってさらなる拡張が加えられています。 この結果、低いサブディビジョナルエラー(SDE)によりスムーズな 速度制御が可能になり、高いスキャニング性能と位置決めの安定 性が得られます。 TONiC リードヘッドには、着脱式のアナログ/デジタルインターフ ェースが頑丈で便利なコネクター方式で提供されており、 これをリ ードヘッドから最高 10 m までの場所に配置できます。 このインターフェースは 最高1 nm の分解能でデジタル内挿分割 を適用することができ、 クロック出力により、業界標準のコントロー ラであらゆる分解能の最適化された高速性能が得られます。 • コンパクトなリードヘッド (35 x 13.5 x 10 mm) •客先で位置を選択できるIN-TRAC自動位相オプティ カルリファレンスマーク(基準設定)を備えた RGSZ20 ゴールドテープスケール、FASTRACK/RTLC スケー ルシステム、RSLM、RELM、RESM、RESD、REXM に使用できます。 • ノイズ(内部ジッタ)をさらに低減するように最適化さ れた第三世代のオプティカルフィルター機構 • ダイナミック信号処理で非常に低い周期誤差を実現 (平均 ±30 nm) • オートゲンコントロールにより、一定した信号強度が 得られることを長期的に保証 • ライドハイトクリアランス公差を拡大し、内蔵セットア ップ LED により取り付けを簡素化 • 最高速度 10 m/s (0.1 µm の分解能で 3.24 m/s) • 1 nm (0.00075 arc 秒) の分解能の内挿分割を内蔵 した着脱式のアナログ/デジタルコネクター • 内蔵デュアルリミット (リニアのみ) • 最高 70 ° Cの動作温度 • デュアル分解能のもの もご利用いただけます データーシート TONiC エンコーダシステム TONiC リードヘッドの取り付け図 (RGSZ スケール) M2.5 の通し穴 2 ヶ所、 別の取り付け面から Ø3 x 深さ 2.75 のザグリ リファレンスマークセレクター= (A-9653-0143) (寸法は P リミットの通り) 寸法と公差(単位mm) オプティカルセンターライン (インクリメンタルおよびリファレンスマーク) 18 IN-TRAC ™ リファレンスマーク 31 16 (ヨー公差 ±0.4°) 7.8 3 3.75 ±0.5 7.8 (ロール公差 ±0.5°) 8.75* 0.08 0.25 3.7 13.5 11* 10 Pリミットの磁石= (A-9653-0138) Q リミットの磁石= (A-9653-0139) (寸法は P リミットの通り) 3 15 22 Q リミットのト リガーポイント 29 P リミットのトリガーポイント 4.25 推奨取り付け面 別の取り 付け面 P と Q リミットスイッ チセンサーの位置 4.15 リファレンスマークセレク ターセンサーの位置 10 CAL/AGC LED ±0 .25 35 .25 Ø4 拡大図 A M2.5 固定穴 2 ヶ所、両側に Ø3 x 深さ 2.3 のザグリ 23 スケール スケール 厚 0.2 の読み取 り面 11.5 (ピッチ公差 ±1°) A 1.5 12.3 セットアップ LED 最低 6 >R20 動的曲げ半径 >R10 静的曲げ半径 0.6 リードヘッドから スケールまでの クリアランス 4.8 オプティカルセンターラインマーカー 取付高さ 2.1 ±0.15 4 9 14 Ti インターフ ェースに接続 *取り付け面 = ボルト固定式リファレンスマークセレクターの磁石とリミットの磁石を用意しています。詳細については、当該 TONiC インストールガイドを参照してください。 注意:RGSZ20 のみを表示。詳細な取り付け図については、当該 TONiC インストールガイドまたはデータシートを参照してください。 Ti/TD インターフェースの寸法図 寸法と公差(単位mm) 67 62 診断 LED (Ti0004-Ti20KD および TD4000-TD0040) 16 8 2 mm 六角レ ンチ要 15 8 CAL/AGC プッシュス イッチの通し穴 Ø2.4 33.3 40 9 1 >R20 動的曲げ半径 >R10 静的曲げ半径 最低 6 カバープレート 4- 40 UNC x 2 データーシート TONiC エンコーダシステム 一般仕様 電源 5V ±10% リプル リードヘッドのみ 100 mA 未満 T1xxx/T2xxx と Ti0000 <100 mA T1xxx/T2xxx と Ti0004 – Ti20KD または TD4000 – TD0040 <200 mA 注意:電流消費値はシステムが終端されていない状況のものです デジタル出力では、120R で終端を行った場合、1チャネル(A+、A- など) あたり 25 mA の電流が余分に消費されます。 アナログ出力では、 120R で終端を行った場合、 1チャネルあたり合計 20 mA の電流が余分に消費されます。 EN (IEC) 60950 の SELV 要件に準拠した 5 V DC から電源を供給してください。 周波数最高 500 kHz で 200 mVpp 温度 (システム) -20 °C ~ +70 °C 0 °C ~ +70 °C 保管時 動作時 湿度 (システム) +40°C まで、最大相対湿度95% (結露なきこと) 防水性能 (リードヘッド)IP40 (インターフェース) IP20 加速 (リードヘッド) 動作時 500 m/s² BS EN 60068-2-7:1993 衝撃 (システム) 動作時 500 m/s², 11 ms, ½ sine BS EN 60068-2-27:1993 振動 (システム) 動作時 最大 55Hz ~ 2000Hz で 100 m/s² BS EN 60068-2-6:1996 質量 リードヘッド インターフェース ケーブル 10 g 100 g 26 g/m EMC 準拠 (システム) BS EN 61326-1: 2006 環境EU 指令 2011/65/EU (RoHS) 準拠 リードヘッドケーブル ダブルシールド式、外径 4.25 ±0.25 mm 屈曲寿命:曲げ半径 20 mm で >20 x 10e6 サイクル UL 認定コンポーネント スピード 最高速度 (m/s) クロック出力 オプション (MHz) Ti0004 5 µm Ti0020 1 µm Ti0040 0.5 µm Ti0100 0.2 µm Ti0200 0.1 µm Ti0400 50 nm Ti1000 20 nm Ti2000 10 nm Ti4000 5 nm Ti10KD 2 nm Ti20KD 1 nm 50 10 10 10 6.48 3.240 1.625 0.648 0.324 0.162 0.065 0.032 40 10 10 10 5.40 2.700 1.350 0.540 0.270 0.135 0.054 0.027 25 10 10 8.10 3.24 1.620 0.810 0.324 0.162 0.081 0.032 0.016 20 10 10 6.75 2.70 1.350 0.670 0.270 0.135 0.068 0.027 0.013 12 10 9 4.50 1.80 0.900 0.450 0.180 0.090 0.045 0.018 0.009 10 10 8.10 4.05 1.62 0.810 0.400 0.162 0.081 0.041 0.016 0.0081 08 10 6.48 3.24 1.29 0.648 0.324 0.130 0.065 0.032 0.013 0.0065 06 10 4.50 2.25 0.90 0.450 0.225 0.090 0.045 0.023 0.009 0.0045 04 10 3.37 1.68 0.67 0.338 0.169 0.068 0.034 0.017 0.0068 0.0034 01 4.2 0.84 0.42 0.16 0.084 0.042 0.017 0.008 0.004 0.0017 0.0008 アナログ出力 10 (-3dB) 注意:TD インターフェースの最大速度は、上に定義されたように分解能に依存します。 角度計測の速度はリング直径によります。rpmに変換するには次の数式を利用してください。 角度計測速度(rpm)= V x 1000 x 60 記号の意味:V = 最大直線速度 (m/s) 、D = RESM または REXM の外径 (mm) pD データーシート TONiC エンコーダシステム 主な仕様 リファレンスマーク 形状 インクリメンタルトラックに直接埋め込まれた IN-TRAC リファレンスマーク リファレンスマークの位置については、 RGSZ FASTRACK/RTLC、RELM、RSLM、RESM、 RESD、REXM データシートを参照してください。 温度と速度の全範囲で両方向へ繰返し機能。 電気的に位相調整が行われ、物理的な調整は不要。 選択 T1xx0: 客先で配置した磁気アクチュエータ (両面テープ A-9653-0143 またはボルト固定式 A-9653-0290)による単一リファレンスマーク選択 。 T1xx1 および T2xx1: 選択不要。すべてのリファレンスマーク出力。 繰返し精度 温度と速度の全範囲における分解能の繰返し再現性の単位。 デュアルリミットスイッチ(リニアシステムのみ、TD インターフェースでは使用不可) 形状P および Q リミットスイッチ用磁気アクチュエータ 両面テープを使用 ボルト固定式 10 mm P リミットA-9653-0138 A-9653-0292 10 mm Q リミットA-9653-0139 A-9653-0291 20 mm P リミット A-9653-0237– 20 mm Q リミット A-9653-0238– 50 mm P リミット A-9653-0235– 50 mm Q リミット A-9653-0236– プローブ のトリガーしたポイント 移動方向からの磁石の先端 。 トリガーポイントの許容範囲 リードヘッド の移動方向 (RGSZ スケールを表示) 3 mm のトリガーポイントの許容範囲 公称トリガーポイント 取付方法 両面テープまたはボルト固定式。 位置 必要な位置に客先で配置。 繰返し精度 < 0.1 mm ダイナミックな信号処理 様々な作動条件で最適性能を達成するリアルタイム信号コンディショニング。 – 自動ゲインコントロール (AGC) – 自動オフセットコントロール (AOC) 平均で ±30 nm の極めて低い周期誤差。 キャリブレーション ボタンを押すだけでキャリブレーションを簡単に実行、物理的調整は不要。 インクリメンタルとリファレンスマーク信号の最適化。 TD デュアル分解能インターフェース 出力を 2 つの分解能に切り替え可能 注意:移動が完全に停止してから、分解能を切り替えるようにすることを推奨します。 使用可能な分解能の詳細については、パーツ番号セクションを参照してください。 リミット出力なし。 データーシート TONiC エンコーダシステム 出力信号 デジタル出力 インターフェース 機能 Ti0004 – Ti20KD TD4000 – TD0040 信号 ピン ピン 5V 7, 8 7, 8 0V 2, 9 2, 9 + 14 14 - 6 6 + 13 13 - 5 5 + 12 12 動力 インクリメンタル A B リファレンスマーク Z - リミット セットアップ シールド 動力 インクリメンタル COS インター フェース Ti0000 信号 色 ピン 5V 茶 4, 5 0V 白 12, 13 + レッド 9 - 青 1 + 黄 10 - グリーン 2 + 紫 3 - 灰 11 Vp ピンク 7 Vq 黒 8 Vx クリア 6 V1 SIN V2 リファレンスマーク V0 4 P 11 – Q> 10 – X 1 1 セットアップ + – 11 リモート CAL CAL オレンジ 14 - 3 3 シールド 内部 グリーン/イエロー* – 外部 外部スクリーン ケース E 分解能切替> 機能 リードヘッド T1xxx/2xxx 4 ‡ アラーム アナログ出力 – – 10 内部 – – 外部 ケース ケース リミット *内部遮蔽は Ti/TD インターフェース内の 0 V に接続されます。 Ti オプション E, F, G, H の場合はアラーム出力 (E+) になります アラーム信号は、 ラインドライバ信号またはトライステイトとして出力させることができます。 発注時にお選びください。 >TD インターフェースでは、低分解能に切り替えるために ピン 10 を 0 V に接続する必要があります。 D サブ 15 ピンコネクタ ‡ 電気結線 アースと遮蔽 リードヘッド 内部シールド 客先エレク トロニクス Ti/TD インターフェース 最大ケーブル長 5V リードヘッド~インターフェース: 10 m 出力信号 0V 外部シールド インターフェース~コントローラ: クロック出力オプションに 依存します。 詳細は下表をご覧下さい。 クロック出力オプション (MHz) 最大ケーブル長 (m) 40 ~ 50 25 <40 50 アナログ 50 重要:外部シールドを機械のアース(フィールドアース)に接続する必要があります。内部シール ドは、客先エレクトロニクスの 0 V にのみ接続する必要があります。内部シールドと外部シール ドを断絶するよう注意してください。内部シールドと外部シールドを一緒に接続すると、0 Vとア ースがショートし、電気ノイズの問題が発生します。 推奨信号終端処理 もしくは適切なリレーまたは光断路器を使用 (Ti オプション A、B、C、D) デジタル出力 5V インターフェース A B Z E+ 客先エレクト ロニクス インターフェース 4k7 客先エレクト ロニクス 1k8 ケーブル Z 0 = 120R 120R 100R E4k7 A B Z E標準 RS422A ライン受信機回路 リミット出力 (Ti インターフェースのみ) *最大電流が 20 mA を超えないよう、 5 ~ 24 V R* Vp Vq P Q R を選択 もしくは適切なリレーまたは光 断路器を使用 アナログ出力 V0 V1 V2+ 120R V0 V 1 V 2- 100nF データーシート TONiC エンコーダシステム 出力仕様 デジタル出力信号 – インターフェースモデル Ti0004-Ti20KD および TD4000-TD0040 形状 – 矩形波ディファレンシャルラインドライバを EIA RS422A に出力 (リミット P と Q を除く) インクリメンタル 2チャンネル A と B (90° の位相差) アナログ出力信号 – インターフェースモデル Ti0000 とすべてのリードヘッドからの 直接出力 インクリメンタル 2 チャンネル差分正弦波 V1 と V2 (90° の位相差) 信号周期 P 分解能 S A B モデル P (µm) S (µm) Ti0004 20 5 Ti0020 4 1 Ti0040 2 0.5 Ti0100 0.8 0.2 Ti0200 0.4 0.1 Ti0400 0.2 0.05 Ti1000 0.08 0.02 Ti2000 0.04 0.01 Ti4000 0.02 0.005 Ti10KD 0.008 0.002 Ti20KD 0.004 0.001 20 µm グリーンの LED 表示(リー ドヘッド) と 120R 終端で 0.7~1.35 Vpp。 中心は 1.65 V (V1 +)-(V1 -) 0° 注意:Ti0000A00V の中心は 2.5 V (V2 +)-(V2 -) リファレンス リファレンス 0.8 ~ 1.2 Vpp 同期パルス Z、長さは分解能 Z 45° ワイドリファレンス= (V0 +)-(V0-) 両方向に繰返し再現性の ある45 度を中心にしたデ ィファレンシャルパルス V0 360° (公称) 同期パルス Z、長さは信号周期 Z 注意:使用するコントローラのニーズに合わせて、発注時に「スタンダード」か「ワイド」 リファレンスをお選びください。 Ti0004 では、 ワイドリファレンスマークが使用できません。 リミット オープンコレクター出力、非同期パルス リミット オープンコレクター出力、非同期パルス デジタル Ti インターフェースのみ Ti0000 インターフェースのみ アクティブハイ または ~ リミットアクチュエータの長さ 注意:Ti インターフェースにリミットなし Ti オプション E、F、G、H の場合は P リミットが E+ になります。 ~ リミットアクチュエータの長さ 注意:Ti0000 インターフェースには、 リードヘッドの「アクティブロー」 信号を「アクティブハイ」出力に変換するトランジスタが含まれます。 信号レベルが 20% 未満または 135% を超えたと きにアラーム発信。さらに、 リードヘッドのスピー ドが高すぎる場合にも操作の信頼性を確保するた めにアラームが発信されます。 すべての Ti および TD インターフェースには、CAL/AGC 機能を有効にするためのプッシュボタンスイッチが搭載さ れています。 CAL CAL/AGC のリモート操作はアナログ Ti0000 インターフェ ースのピン 14 で可能になります。 E- 出力は Ti オプション A、B、C、D のみ またはトライステイトアラーム 0V インターフェースを使用しないアプリケーションの場合 は、CAL/AGC のリモート操作が不可欠になります。 アラーム状態になると、ディファレンシャル信号が送出され、 15 ms 以上にわたって強制的に開回路となります。 セットアップ* セットアップ* 1 3.3 V (公称) X の電圧 VX の電圧 0 ~ リミットアクチュエータの長さ リモート CAL 操作 (アナログバージョンのみ) アラーム 非同期パルス >15 ms 繰り返し再現性 <0.1mm Vp Vq Vp Vq PQ E アクティブロー 繰り返し再現性 <0.1mm 繰り返し再現性 <0.1mm PQ ~ リミットアクチュエータの長さ アクティブハイ アクティブロー 繰り返し再現性 <0.1mm リードヘッドからの直接出力 0 0 信号レベル 100% セットアップ信号の電圧は、インクリメンタル信号振幅に比例 0 50% 信号レベル 70% 100% 信号レベル 50%~70% では、VX はデューティサイクルで、20 µm の長さとなります。 3.3 V での時間は、インクリメンタル信号レベルとともに増加します。 信号レベル 70% 以上では、VX は公称 3.3 V となります。 わかりやすくするため、反転信号は表示していません。 *ここに示されたセットアップ信号は、キャリブレーションルー チンでは示されません。 データーシート TONiC エンコーダシステム T1xxx リニアリードヘッド Ti インターフェース RGSZ20、RTLC, RSLM、RELM スケールとの併用が可能。 すべての TONiC リードヘッドと併用が可能 リードヘッドパーツ番号 インターフェースパーツ番号 T 1 0 0 0 - 15 A アナログ: シリーズ T = TONiC スケール形状 1 = リニア デジタル: リードヘッドタイプ 0 = スタンダード Ti 0200 A 20 A シリーズ Ti = TONiC スケールタイプの互換性 0 = RGSZ20/RGSN20 1 = RSLM/RELM 3 = RTLC 4 = RGSZ20-P/RGSN20-P リファレンスマーク 0 = ユーザーの選択可能なリファレンスマーク 1 = すべてのリファレンスマーク出力 内挿分割数/分解能* 0004 = 5 µm 0040 = 0.5 µm 0200 = 0.1 µm 1000 = 20 nm 4000 = 5 nm 20KD = 1 nm 0020 = 1 µm 0100 = 0.2 µm 0400 = 50 nm 2000 = 10 nm 10KD = 2 nm アラーム信号形式と状態 A = ラインドライバ E- 出力、全アラーム B = ラインドライバ E- 出力、低信号、高信号 E = トライステート、全アラーム F = トライステイト、低信号、高信号 ケーブル長 05 = 0.5 m 10 = 1 m 15 = 1.5 m 30 = 3 m 50 = 5 m 99 = 10 m クロック出力オプション 50, 40, 25, 20, 12, 10, 08, 06, 04, 01 (MHz) ケーブル末端処理 A = Ti/TD インターフェースにはめ込む標準ミニコネクター T2xxx ロータリーリードヘッド RESM、RESD、REXM リングに使用可 リードヘッドパーツ番号 Ti 0000 A 00 A オプション A = デュアルアクティブハイリミット V = 2V5 Vmid デュアルアクティブハイリミット T 2 0 0 1 - 15 A シリーズ T = TONiC スケール形状 2 = ロータリー オプション A = P/Q リミット - ‘アクティブハイ’、標準リファレンスマーク B = P/Q リミット - ‘アクティブロー’、標準リファレンスマーク C = P/Q リミット - ‘アクティブハイ’、 ワイドリファレンスマーク‡ D = P/Q リミット - ‘アクティブロー’、 ワイドリファレンスマーク‡ E = Q リミットのみ、差分アラーム - ‘アクティブハイ’、 標準リファレンスマーク F = Q リミットのみ、差分アラーム - ‘アクティブロー’、 標準リファレンスマーク G = Q リミットのみ、差分アラーム - ‘アクティブハイ’、 ワイドリファレンスマーク‡ H = Q リミットのみ、差分アラーム - ‘アクティブロー’、 ワイドリファレンスマーク‡ リードヘッドタイプ 0 = スタンダード デュアル分解能: リング直径 0 = RESM/REXM/RESD >135 mm 1 = RESM/REXM/RESD 60 ~ 135 mm 2 = RESM/REXM/RESD <60 mm シリーズ TD = TONiC デュアル分解能 4 = RGSZ/RGSN 部分アーク >135 mm 5 = RGSZ/RGSN 部分アーク <135 mm リファレンスマーク 0 = ユーザーの選択可能なリファレンスマーク 1 = すべてのリファレンスマークを出力 (ロータリースタンダード) ケーブル長 05 = 0.5 m 10 = 1 m 15 = 1.5 m 30 = 3 m 50 = 5 m 99 = 10 m ケーブル末端処理 A = Ti/TD インターフェースにはめ込む標準ミニコネクター 部分アークアプリケーションが必要な場合は、 レニショー株式会社 にお問い合わせください。 内挿分割数/分解能* ピン 10 開 4000 = 5 nm 2000 = 10 nm 1000 = 20 nm 0400 = 50 nm 0200 = 0.1 µm 0040 = 0.5 µm TD 4000 A 20 A ピン 10 = 0 V 10 nm 20 nm 40 nm 0.1 µm 0.2 µm 1 µm アラーム信号形式と状態 A = ラインドライバ、差分アラーム、全アラーム B = ラインドライバ、差分アラーム、低信号、高信号 E = トライステートアラーム、全アラーム F = トライステートアラーム、低信号、高信号 クロック出力オプション 50, 40, 25, 20, 12, 10, 08, 06, 04, 01 (MHz) オプション A = 標準リファレンスマーク B = ワイドリファレンスマーク *他の内挿分割数については、レニショーにお問い合わせください。 DSi と使用する場合は、インターフェースにライン駆動アラームと 01、04、06、08、10、12、20 のクロック出力オプションを設定する必要があります。 ‡ Ti0004 (5 µm) では、 ワイドリファレンスマークが使用できません。 Renishaw K.K. T +81 3 5366 5316 F +81 3 5366 5320 E [email protected] 東京都新宿区 四谷四丁目29番地8, 160-0004 www.renishaw.jp TONiC に使用できる製品: RGSZ20 T100x RGSZ インストレーションガイド M-9653-9184 データーシート L-9517-9350 RELM T101x RSLM/RELM インストレーションガイド M-9653-9228 データーシート L-9517-9222 RSLM T101x RSLM/RELM インストレーションガイド M-9653-9228 データーシート L-9517-9307 FASTRACK/RTLC T103x FASTRACK/RTLC インストレーションガイド M-9589-9005 データーシート L-9517-9483 RTLC-S T103x RTLC-S インストレーションガイド M-9589-9016 データーシート L-9517-9483 TONiC TONiC T1xxx T2xxx RESM DOP(デュアル出力) エンコーダシステム インストレーションガイド M-9653-9273 データーシート L-9517-9414 T20x1 RESM インストレーションガイド M-9653-9223 データーシート L-9517-9174 REXM T20x1 REXM インストレーションガイド M-9653-9251 データーシート L-9517-9516 TONiC DSi RGSZ20 パーシャルアーク DSi デュアルリードヘッドロータリーエンコーダシステム インストレーションガイド M-9653-9301 データーシート L-9517-9469 RESD T20x1 RESD インストレーションガイド M-9676-9003 データーシート L-9517-9378 詳細については、 レニショー株式会社にお問い合わせください。 世界各国でのレニショーネットワークについては弊社のWeb サイトをご覧下さい。www.renishaw.jp/contact レニショーでは、本書作成にあたり、細心の注意を払っておりますが、誤記等により発生するいかなる損害の責任を負うものではありません RENISHAW® および Renishaw ロゴに使用されているプローブシンボルは、 英国およびその他の国における Renishaw plc の登録商標です。 apply innovationと、 その他のレニショー製品および技術の名称や呼称は、 Renishaw plcまたはレニショー子会社の登録商標です。 © 2009-2014 Renishaw plc 2014年01月 内容は予告無く変更される場 合 があります *L-9517-9340-06*
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