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Keysight Technologies
B2961Aおよび34420Aを使用した
低抵抗測定
Keysight B2961A/B2962A 6.5桁 低ノイズ・ソース
高精度電流源と
ナノボルトメータの併用
抵抗測定は、電気デバイスの特性を評価す
るために行われる最も一般的なテストの1つ
測定システムのブロック図
この抵抗測定方式では、B2961Aにより正確な電流が供給され、34420Aにより電圧が測
定されます。B2961Aは、トリガ信号をN1294A-031 GPIO−BNCトリガ・アダプタ経由で
34420Aに出力して、電圧を測定するタイミングを知らせます。
ですが、特定のタイプの抵抗測定では、テス
ト中のデバイスの自己発熱や損傷を防ぐため
N1294A-031
GPIO - BNCトリガ・アダプタ
に、非常に高精度の微小レベル電流源が必要
です。
同軸ケーブル
DIO 9
一般的に、抵抗測定の確度は、測定対象の電
トリガ入力へ
トリガ
圧／電流の大きさとともに向上します。この
ため、抵抗値の低いデバイス
（超伝導体、カ
•
ーボン・ナノ・チューブ
（CNT）など）では、で
きるだけ大きな測定電圧を使用する必要があ
ります。Keysight B2961A 6.5桁低ノイズ・ソ
lsrc
ースとKeysight 34420A 7 ½桁ナノボルト／
マイクロオーム・メータを組み合わせれば、こ
Vmeas
•
れらの測定要件を満たします。
Keysight B2961A/B2962A低ノイズ・ソース
210V
10.5A
1A
1mA
1V
Keysight B2961A/B2962Aは、電圧／電流を供給しながらモニタすることもできる、低
ノイズ・ソースです。6.5桁の分解能で電圧／電流を供給でき、さまざまな測定アプリケ
ーションに不可欠です。
6.5桁の分解能で
電源の値を設定
電圧／電流の
リードバック
1mV
バイポーラ
1μA
バイポーラ
1nA
1μV
100nV
1pA
10fA
電圧
電流
B2961A/B2962Aはバイポーラ電源なので、
電圧／電流の極性を正または負にするこ
とができます。10 fA ∼ 3 A
（DC）または
10.5 A（パルスド）の電流、100 nV ∼ 210 V
の電圧を供給できます。
サンプル測定プログラム
B2961Aと34420Aを使用して抵抗測定を行うためのサンプル・プロ
グラムが、B2961A/B2962Aに付属しています。プログラムは、C#、
National Instruments LabVIEW、Microsoft Excel（VISA-COM使用）
で動作します。また、基本的な抵抗測定に加えて、以下に示す測定誤
差を低減する手法もサポートしています。
小さな抵抗の測定では、オフセット電圧や熱起電力（EMF）による誤差が測定確度に大きな影響を与
える可能性があります。以下の式は、電流を印加して電圧を測定する抵抗測定方法の誤差の影響を
ISrc
I
表しています。
t
V
V
V
V
R Meas = Meas = DUT + Error = R DUT + R Error
ISrc
ISrc
ISrc
VMeas
測定
VError
t
このような誤差は、順方向電流と逆方向電流を印加し（I Srcと−I Src）、2つの電圧測定結果を平均す
ることにより除去できます。これらの2つの測定結果を用いて真の抵抗値を以下の式で計算します。
R Meas =
V1 − V2
= R DUT
2 × ISrc
I
ISrc
t
-ISrc
V
V1
前述のように、サンプル・プログラムはこの測定手法をサポートしています。
V2
t
測定
Keysight B2961A/B2962A低ノイズ・ソースの主な仕様と特性
製品
番号
最大出力
パルス
B2961A
DC
210 V
最大
パワー
電源分解能
桁
最小分解能
ノイズ 1
測定分解能
200 V
31.8 W
6 1/2
100 nV
＜5 μVpp
4 1/2
B2962A
3.03 A
10.5 A
31.8 W
6 1/2
10 fA
＜1 pApp
4 1/2
1. 補足特性
B2961A/B2962Aの主な特長：
・ 6.5桁の高分解能と広いバイポーラ・レンジ
・ 10 μVrmsの超低ノイズ
・ 10 kHzプレシジョン任意波形発生機能
・ プログラマブル出力抵抗
B2900Aシリーズ プレシジョン・
www.keysight.co.jp/find/b2900a
ソース・メジャー・ユニット
B2900Aシリーズは、高精度電源と高精度測
定の両方に対応しています。
キーサイト・テクノロジー合同会社
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© Keysight Technologies, 2014
Published in Japan, December 19, 2014
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