構 可塑化PVCゲルを用いた リニアアクチュエータの作製 端 科 学 載 技 ・加 術 推 工 進 等 機 は (戦略基盤)ナノMEMSセンシング・研究ユニット ④ものづくり ○松本啓伸(院生)、高橋智一(システム理工学部 機械工学科 助教)、鈴木昌人(准教授)、青柳誠司(教授) 研究概要・成果 従来研究 プロセス ②パターニングした銅箔に 5%wt塩酸+5%wt過酸化水素 水で溝を掘る レジスト ①銅箔にパターニングを 行う クリープ変形をするアクチュエータ (信州大学 橋本ら,2001年) ③銅箔鋳型をエポキシ系接着 剤でガラス基板に接着する 銅箔 (100μm) ⑤作製したPVCゲルを流し込む 接着剤 ガラス 基板 歪み:200% 電界:500V/mm 西 写 ・転 大 学 先 屈曲するアクチュエータ (信州大学 橋本ら 2001年) PVC(ポリ塩化 ビニル) +DBA(アジピ ン酸ジブチル) +THF(テトラヒ ドロフラン) ⑦5%wt塩酸+5%wt過酸化水 素水で銅箔をエッチングする 駆動実験 Cu 可塑化PVCゲル 幅:250~450μm 接着剤 メッシュ電極を用いたアクチュエータ (信州大学 橋本ら) 複 DC600V 印加後 断 印加前 陽極 無 可塑化PVCゲル - --- - - -- - - -- - - - - 印加前 250μm す 接地電極 禁 じ ま ※ 歪み:20% 印加中 。 関 変位:80 °/min 電界:1000V/mm ⑥余分なゲルを切断する ④可塑化PVCゲル溶液を作 製する 20℃ 250 rpm 応答速度:3Hz 電界:800V/mm 最大歪み200% 応用分野、実用可能分野 ステージなどのリニアアクチュエータや人工筋肉 への利用が期待できる 問合せ先: 関西大学 システム理工学部 青柳誠司 E-mail:[email protected] 関人ORDIST 先 端 科 学 技 術 推 進 機 構 社会連携部 産学官連携センター、知財センター
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