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Cat.No. C01-05-G
XR65
圧力調整弁
Model XR65 Pressure Regulator
概 要
半導体プロセス用として開発した圧力調整弁です。
パーティクルの発生、測定流体の滞留を防ぐ工夫を
した信頼性の高い製品です。
特 長
・操作が非常にスムーズで、ハンドルの動きに対する
二次圧力の追従性が優れています。
・ウルトラクリーン（ＵＣ）処理を施すことにより、
反応雰囲気をクリーンに保つために必要な条件を
満たしています。
・一次圧力（元圧）、二次圧力（調整圧）の測定は半導
体歪ゲージを使用した「小形・高性能な圧力セン
サ」を使用しており、測定した圧力値をデジタル
指示計との組み合わせによりデジタル表示が可能
です。（オプション）
・半導体製造プロセスにおいてパージングガス、
キャリアガス（希釈ガス）など大流量用に使用する
タイプで、比較的小形化してあります。
グレード一覧表
グレード
UC
（Ultra Clean）
本 体 ：SUS316L
ダイアフラム、弁：SUS316L
接ガス部材質＊1
弁 バ ネ ：SUS316
弁 シ ー ト ：CTFE、
フッ素樹脂又はポリイミド樹脂
圧力センサ（オプション）：SUS630（17-4PH）
+SiO₂ コーティング
気密性（He真空法）
1×10-11 Pa・m3/s以下
パーティクル
0.1μm 以上粒子ノーカウント
（弊社検査基準において）
洗 浄
超清浄化（洗浄）
＊1 接ガス部材質が制御する気体に適合したものであることをご確認ください。
XR65
圧力調整弁
製作仕様
項
目
内
容
制御流体
各種プロセスガス
接続継手
3/8、1/2（UJR、VCR、JSK、CVC）
一次圧力
５MPa
一次側耐圧＊1
7.5 MPa
二次圧力
0.01∼0.3MPa
0.02∼0.7MPa
二次側耐圧＊1
実使用設定圧力の1.5倍
最大流量（normal）
500L/min
使用温度範囲
−5∼40℃（氷結、結露なきこと）
保存温度範囲
−5∼50℃（氷結、結露なきこと）
無し、１個または２個から選択が可能です。
圧力センサは、デジタル指示計、または専用アンプ等と組み合わせ
の製作になります。
圧力センサ
（オプション）
ケース構造
屋内一般形
質 量
約５kg（継手形状により異なる）
＊1 耐圧とは、それぞれの圧力ポートに一時的な圧力を印加しても、設定圧力（定格圧力）内に圧力を戻した時、
正常動作する圧力の上限値です。
静圧で数回（10分程度）を加えても、性能に影響がない圧力で繰返し圧力を保証するものではありません。
コネクタ・ケーブル
（圧力センサ付の場合）
コネクタ（プラグ）：
1-480424-0（タイコ エレクトロニクス ジャパン製）
ケーブル：
環境温度
−20∼105℃
耐熱ケーブル
導 体
最小曲げ半径（mm）
ケーブル外径（mm）
2）
断面積（mm 構成
（本/mm）
0.3
12/0.18
※ケーブル長さ：3m
流量特性
二次圧力［MPa］
一次圧力：1.0 MPa
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0.0
0
100 200 300 400 500 600 700 800 900
流 量［L/min］（N2）
2
φ6.0
25
XR65
圧力調整弁
外形寸法
単位：mm
120
・電源 5V DC
1（橙）センサー電源（＋）
2（白）センサー電源（−）
3（緑）センサー出力（＋）
φ103
（133）
２次ポート
H
M
１次ポート
H
31
（最大174）
4（青）センサー出力（−）
M
二次側圧力センサ
54
一次側圧力センサ
オプション
76
オプション
76
（83）
（L）
M
H
H
M
（L）
30
2×M6 深さ7
接続継手
配管径
ネジサイズ
Ｍ
寸 法
Ｈ
（Ｌ）
24 × 27.7 六角
146.6
XR65-□J1
3/8
VCRオスナット
XR65-□K1
1/2
VCRメスナット
（ベアリング無し）
形 番
XR65-□L1
3/8
27 × 31.2 六角
137.8
XR65-□M1
1/2
7/8−14UNF
XR65-□N1
3/8
23 × 26.5 六角
UJRオスナット
UJRメスナット
（ピュアリング入）
1/2
XR65-□P1
3/8
XR65-□Q1
26 × 30 六角
1/2
注意事項
計器使用雰囲気（被測定体を除く）が通常の状態において、引火・爆発の原因となるような設備で使用しないこと。
3
156
137.9
XR65-□R1
XR65
圧力調整弁
形番構成
ご用命に際しては、形番、各仕様をご指定ください。
モデルNo.
X R 6 5
1
圧力調整弁
①
②
2
③
④
形番
⑤
⑥
⑦
選択仕様
①
センサ
0
センサなし
1
１個 二次側付 耐熱ケーブル３m付
2
２個 一・二次側付 耐熱ケーブル３m付
②
接続ネジ
③
接ガス部材質
J
3/8 VCRオスナット
K
1/2 VCRオスナット
L
3/8 VCRメスナット（ベアリング無し）
M
1/2 VCRメスナット（ベアリング無し）
N
3/8 UJRオスナット
P
1/2 UJRオスナット
Q
3/8 UJRメスナット（ピュアリング入）
R
1/2 UJRメスナット（ピュアリング入）
1
⑧
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
⑮
付加仕様（オプション）
本体：SUS316L
圧力センサ：SUS630（17-4PH）＋SiO2コーティング
④
一次圧力＊
2
5MPa
⑤
二次圧力＊
⑥
シート材質
1
0.01∼0.3MPa
2
0.02∼0.7MPa
C
CTFE樹脂
F
特殊フッ素樹脂（Cℓ2用）
P
ポリイミド樹脂（N2O用）
⑧
その他付加仕様
⑮
ドキュメント
0
ナシ
1
センサケーブル長さ指定（ /m）
0
ナシ
1
アリ
（ご希望のものを別途ご指示ください。）
提出図、取扱説明書、検査要領書、
ミルシート、検査成績表（１個１部）、
検査・トレサビリティ証明書、
強度計算書、立会検査
＊組み合わせ用 GC84（オプション）の圧力レンジ
XR65
一次圧力
二次圧力
GC84圧力レンジ
5MPa
0∼5 MPa
0.01∼0.3MPa
−0.1∼0.5MPa
0.02∼0.7MPa
−0.1∼1 MPa
※仕様項目がない場合は、 をご指定ください。
4