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独立行政法人物質・材料研究機構共用設備等
平成２６年７月２２日
独立行政法人物質・材料研究機構施設及び設備の共用に関する規程
第３条に定める、
共用設備等（機構が保有する施設及び設備のうち、科学技術に関する研究開発を行う機構
外の方も利用できる施設及び設備）は、以下のとおりです。
（※印は、文部科学省からの委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」として
成果公開を原則に、割安な料金で利用可能な装置です）
材料創製・加工ステーション
１．ＣＣＬＭ溶解設備
２．3kg 真空溶解設備
３．20kg 真空溶解設備
４．加圧 ESR 溶解設備
５．鍛造設備 (油圧プレス)
６．熱間 2 段ロール圧延機
７．溝ロール圧延機
８．冷間 4 段ロール圧延機
９．大型スウェージングマシーン
１０．小型スウェージングマシーン
１１．鍛圧用加熱炉
１２．鍛圧用移動式加熱炉
１３．歪み速度制御圧延機
１４．溝圧用加熱炉
１５．大型熱処理炉
１６．焼鈍用熱処理炉
１７．炭酸ガスレーザ溶接機
１８．電子ビーム溶接機
１９．旋盤 （ガラス旋盤 D25-26）
２０．高真空排気装置
材料創製・加工ステーション
お問い合わせ：NAKAMURA.Terumi=nims.go.jp
([ = ] を [ @ ] にしてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/mmes/index.html
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材料分析ステーション
１．マルチガス導入グロー放電質量分析システム (VG90000)
２．微小部蛍光 X 線分析装置 (ORBIS PC)
３．誘導結合プラズマ発光分析装置(シーケンシャル型) (ICPS8100CL)
４．誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型) (IRIS AP)
５．２波長ＣＣＤ低温Ｘ線回折装置 (VariMax DW with Saturn)
６．電界放射型電子線プローブマイクロアナライザー装置 (JXA-8900R 改)
７．極低加速電圧電界放射型走査電子顕微鏡 (SU8000)
８．電界放射型走査電子顕微鏡 (S-5500)
９．断面試料作製装置 (SM-09020CP)
１０．走査型オージェ電子分光分析装置 (JAMP-9500F)
１１．走査型オージェ電子分光分析装置 (PHI680)
１２．X 線光電子分光分析装置 (Quantera SXM)
１３．電界放射型電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8500F）
１４．電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8900RL）
１５．電界放射型走査電子顕微鏡（S-5000）
１６．電界放射型走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
１７．走査電子顕微鏡（JSM-6510）
１８．酸素窒素分析装置（LECO TC600）
、炭素硫黄分析装置（RH404）
、
水素分析装置（CS444LS）
１９．誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型）
（720 ICP-OES）
２０．二重収束型 ICP 質量分析装置（ELEMENT XR）
２１．フェムト秒レーザー装置（IFRIT）
材料分析ステーション
お問い合わせ：analysis=nims.go.jp ([ = ]
を [ @ ] にしてください)
電子顕微鏡ステーション
１．実動環境対応物理分析電子顕微鏡 ※
２．300kV 電界放射型電子顕微鏡（Tecnai G2 F30）※
３．200kV 電界放射型電子顕微鏡（JEM-2100F1）※
４．200kV 電界放射型電子顕微鏡（JEM-2100F2）※
５．200kV 透過型電子顕微鏡
（JEM-2100）※
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６．FIB 加工装置群 ※
７．走査型電子顕微鏡
※
８．200kV 透過型電子顕微鏡
（JEM-2000FX）※
９．ウルトラミクロトーム ※
１０．3 次元解析ソフト ※
１１．TEM 試料作製装置群 ※
１２．300kV 電界放射型高分解能電子顕微鏡（JEM-3000F）※
１３．超高圧電子顕微鏡 ※
１４．単原子分析電子顕微鏡 ※
１５．200kV 電界放出型走査透過電子顕微鏡
１６．冷陰極電界放出型電子顕微鏡 ※
１７．冷陰極電界放出型ローレンツ電子顕微鏡
※
１８．セラミクス試料作製装置群 ※
電子顕微鏡ステーション
お問い合わせ：TAKEGUCHI.Masaki=nims.go.jp ([ = ]
を [ @ ] にしてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/tem/
※印は、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業（成果公開）での
ご利用も可能です。
（ウェブサイト：www.nims.go.jp/nmcp/ ）
高輝度放射光ステーション
１．試料自動交換システム付放射光硬 X 線光電子分光装置
２．高輝度放射光硬 X 線光電子分光装置 ※
３．高輝度放射光高分解能粉末 X 線回折装置 ※
４．高輝度放射光薄膜・ナノ構造用回折計 ※
高輝度放射光ステーション
お問い合わせ：BL15XUoffice=ml.nims.go.jp ([ = ]
を [ @ ] に変えてお送りください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/webram/index.html
※印は、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業（成果公開）での
ご利用も可能です。
（ウェブサイト：www.nims.go.jp/nmcp/ ）
強磁場ステーション
１．ハイブリットマグネット装置
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２．水冷銅マグネット装置
３．18T 汎用超伝導マグネット装置
４．15T 超伝導スプリットマグネット装置
５．冷凍機伝導冷却型 10T 超伝導マグネット装置-Ⅱ
６．試料振動型磁化測定装置(VSM)
７．冷凍機伝導冷却型 12T 超伝導マグネット装置
８．20T マグネット・希釈冷凍機システム
９．20T マグネット・ヘリウム 3 冷凍機システム
１０．17T マグネット・ヘリウム 4VTI システム
１１．500MHz 固体高分解能 NMR システム ※
１２．500MHz 汎用 NMR システム ※
１３．300MHz 広幅 NMR システム ※
１４．930MHz 固体高分解能 NMR システム
１５．強磁場光学測定システム
強磁場ステーション
お問い合わせ：SHIMIZU.Tadashi=nims.go.jp ([ = ]
を [ @ ] にしてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/TML/index.html
※印は、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業（成果公開）での
ご利用も可能です。
（ウェブサイト：www.nims.go.jp/nmcp/ ）
低炭素化材料設計・創製ハブ拠点
１．MBE 量子井戸薄膜創製装置
２．放電プラズマ焼結創製装置
３．炭素系材料気相成長装置
４．高純度窒化物気相成長装置
５．磁性多元合金スパッタ装置
６．ナノマニピュレーション用電界放出形走査電子顕微鏡
７．集束イオンビーム加工観察装置
８．電子線描画装置
９．微細組織三次元マルチスケール解析装置
１０．酸化膜ドライエッチング装置
１１．無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
１２．マイクロフォーカス X 線 CT 装置
１３．単結晶 X 線構造解析装置
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１４．顕微ラマン測定装置
１５．電子スピン共鳴装置
１６．温度変調型熱分析装置/熱重量-示差熱-質量同時測定装置
１７．極低温比熱・電気抵抗測定装置
１８．パワーデバイスアナライザ
１９．表面・界面物性解析装置
２０．飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）※
２１．実動環境対応ナノ物理分析 TEM
２２．蛍光体発光特性評価装置
２３．ナノ材料評価用カソードルミネッセンス測定装置
２４．蛍光寿命測定装置
２５．走査型ヘリウムイオン顕微鏡 ※
２６．３次元測定レーザー顕微鏡
２７．高圧ガス／蒸気吸着量測定システム
２８．触針式表面形状測定器
低炭素化材料設計・創製ハブ拠点
お問い合わせ：nims-hub=nims.go.jp ([ = ]
を [ @ ] にしてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/low_carbon/
微細構造解析プラットフォーム
１．極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡
２．環境制御型周波数変調方式走査型プローブ顕微鏡
３．実動環境対応型電子線ホログラフィー電子顕微鏡
お問い合わせ：nmcp[at]nims.go.jp ([at]を@に置き換えてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/nmcp/
微細加工プラットフォーム
１．100kV 電子ビーム描画装置
２．レーザー露光装置
３．マスクアライナー
４．ナノインプリント装置
５．全自動スパッタ装置
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６．超高真空スパッタ装置
７．12 連電子銃型蒸着装置
８．超高真空電子銃型蒸着装置
９．原子層堆積装置
１０．プラズマ CVD 装置
１１．多目的ドライエッチング装置
１２．化合物ドライエッチング装置
１３．シリコン深堀エッチング装置
１４．酸化膜ドライエッチング装置
１５．FIB-SEM ダブルビーム装置
１６．急速赤外線アニール炉
１７．シリコン酸化・熱処理炉
１８．走査型電子顕微鏡
１９．原子間力顕微鏡
２０．3 次元測定レーザー顕微鏡
２１．ダイシングソー
２２．自動スクライバー
２３．ダイヤモンドワイヤーソー
２４．CMP 装置
２５．ワイヤーボンダー
２６．室温プローバーシステム
２７．極低温プローバーシステム
２８．125kV 電子ビーム描画装置
２９．高速マスクレス露光装置
微細加工プラットフォーム
お問い合わせ：NIF-office[at]nims.go.jp
([at]を@に置き換えてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/nfp/
分子・物質合成プラットフォーム
１．LC/MS/MS
２．共焦点顕微鏡 SP5
３．NMR
４．ライブセル高速イメージング・全反射蛍光顕微鏡
５．ナノサーチ顕微鏡
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６．レーザーラマン顕微鏡
７．リアルタイム PCR
８．DNA シーケンサ
９．表面プラズモン解析装置
１０．FT-ラマン IR 分光器
１１．円二色性分光器
１２．リサイクル分取 GPC
１３．卓上電子顕微鏡
１４．クライオスタット
１５．プレートリーダー
１６．グローブボックス
１７．LC/MS/MS（Q-exactive）
１８．マイクロアレイスキャナー
１９．レーザーマイクロダイセクションシステム
２０．細胞分離分析システム
２１．蛍光顕微鏡群
２２．生体分子分離装置群
２３．材料調整装置群
２４．材料分析装置群
２５．分子材料分光分析装置群
２６．ナノ材料分析装置群
２７．分子材料分離分析装置群
分子・物質合成プラットフォーム
お問い合わせ：SML-office[at]nims.go.jp
([at]を@に置き換えてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/mmsp/
蓄電池基盤プラットフォーム
１．スーパードライルーム
２．小型電池試作装置群
３．FTIR（フーリエ変換赤外分光装置）
４．レーザーラマン顕微鏡
５．高速分光エリプソメータ
６．ガス透過率測定装置
７．TG/MS（熱重量測定質量分析装置）
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８．コンパクト SEM
９．レーザー顕微鏡
１０．粘度計
１１．充放電試験機
１２．高精度電気化学測定システム
１３．単粒子測定システム
１４．ICP/MS（誘導結合プラズマ質量分析計）
１５．LC/MS （液体クロマトグラフ質量分析計）
１６．イオンクロマトグラフ
１７．酸素・窒素・水素定量分析装置
１８．グロー放電発光分析装置（GD-OES）
１９．GC/MS（ガスクロマトグラフ質量分析計）
２０．電池発生ガス分析装置
２１．XRF（蛍光 X 線分析装置）
２２．XPS（X 線光電子分析装置）
２３．HAXPES
２４．XRD（X 線回折装置）
２５．比表面積測定装置
２６．粒子径分布測定装置
２７．環境制御型 SPM
２８．TOF-SIMS
２９．TEM/STEM
３０．FIB
３１．FIB-SEM
３２．SEM
３３．走査型オージェ電子分光装置
３４．クロスセクションポリッシャ（CP）
蓄電池基盤プラットフォーム
お問い合わせ：Battery-PF[at]nims.go.jp
([at]を@に置き換えてください)
ウェブサイト：http://www.nims.go.jp/brp/nims/
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