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エアサクションフィルタ
ZF Series
固形異物による真空機器のトラブルを未然に防止。
接続口径
シリーズ
特長
ZFA
型式
●エレメント内に固形異
物が捕集されるのでケ ZFA10
ース内に残留しません。
●大きなエレメントろ過面積。
流量注）
ろ過度
ページ
ワンタッチ管継手 ［L/min（ANR）］（μm）
ねじ込み
適用チューブ外径
1/8
50
―
●マニホールド化可能。
●エレメント交換可能な
カートリッジタイプ。
ZFB
ø4
10
ø6,ø3/16",ø1/4"
20
ø6,ø1/4"
30
ø8
50
ZFB30
ø8,ø10,ø3/8"
75
ZFB40
ø1/2"
100
ø4,ø5/32"
10
方向は360°
回転設定可能。 ZFB10
●ワンタッチ管継手で脱着
が容易。
●樹脂成形品で軽量・コン ZFB20
パクト。
●エレメント交換可能な
カートリッジタイプ。
●簡単なエレメント交換作業。
インラインタイプ
●IN,
OUTの ス ト レ ー ト
配管。
―
ZFC5
が容易。
―
●樹脂成形品で軽量・コン
パクト。
●簡単なエレメント交換作業。
ZFC7
30
P.1105
30
ø8,ø5/16"
70
ø10,ø3/8"
80
ø12
100
5
P.1107
注）初期圧力降下3kPa以下となる流量
使用例
真空ポンプシステムへの応用
エジェクタシステムへの応用
真空ポンプ
真空破壊弁
破壊流量
調整用
絞り弁
供給弁
エジェクタ
エアサクションフィルタ
真空切換弁
真空破壊弁
破壊流量
調整用
絞り弁
エアサクションフィルタ
真空圧力スイッチ
真空圧力スイッチ
パッド
ZFA
ZFB
ZFC
20
ø6,ø1/4"
●ワンタッチ管継手で脱着
P.1102
200
1/4
●IN側配管チューブの取付
ユニバーサル
ジョイントタイプ
ZFC
ZFA20
30
パッド
1101
エアサクションフィルタ
ZFA
固形異物による真空機器
のトラブルを未然に防止します。
エレメント内に固形異物が
捕集されるのでケース内に
残留しません。
最大10連迄マニホールド化
可能
大きなエレメントろ過面積
取付方向はいずれでも可能
エレメント交換が容易な
カートリッジタイプ
Series
RoHS
型式
型式
管接続口径
18
ZFA100
14
ZFA200
注）初期圧力降下3kPa以下となる流量
注）
推奨流量 L/min
（ANR）
50
200
質量 kg
0.14
0.19
内容積 cm3
30
49
仕様
使用流体注1）
使用圧力範囲
真空破壊圧力注2）
使用および周囲温度範囲
ろ過精度
エレメント交換差圧
空気・窒素
−100∼0kPa
MAX. 0.5MPa
（加圧保持不可）
5∼60℃
30μm
（捕集効率95％）
20kPa
注1）化学薬品の雰囲気または付着する場所ではエレメントが破損する場合がありますので使用しないでく
ださい。
（アルコール、アセトン等でも破損の原因になりますので特に注意してください。）
注2）加圧状態を保持するラインで使用しますと本体が破損する場合がありますので使用しないでください。
ブラケット品番
用途
片側
両側
マニホールド
（2∼10連）
用
（両側）
ZFA100
BP-1H-1A
ZZFA1-01
単体用
ZZFA1- 連数
ZFA200
BP-1H-2A
ZZFA2-01
注1）
ZZFA2- 連数
備考
ボルト、ナット、ワッシャ付
注1）
注1）連数の部分には例に従って2ケタの数字を入れてください。
（例）
6連の場合→06
型式表示方法（単体）
ZFA 100
付属品
（ブラケット）
エアサクション
フィルタ
ZFA100
ボディタイプ
（mm2）
記号 ろ過面積
100
2110
200
4210
ねじの種類
ZFA200
01
記号 ねじの種類
Rc
無記号
T
NPTF
G
F
記号
無記号
L
R
LR
付属品
（ブラケット）
なし
ブラケット付
（左側1ヶ付）
ブラケット付
（右側1ヶ付）
ブラケット左右両側付
※ フィルタINを正面より見てL（左）、R（右）
管接続口径
記号 管接続口径 適用型式
1 8B
01
ZFA100
1 4B
02
ZFA200
マニホールド
（2∼10連）
にする場合の表示方法
エアサクションフィルタ単体型式とブラケット品番を併記して表示します。
（例）ZFA100-01の6連マニホールド
ZZFA1-06 ………1ケ（6連用ブラケット）
＊ZFA100-01……6ケ（エアサクションフィルタ単体）
1102
エアサクションフィルタ
流量特性
ZFA Series
構造図
使用流体 ： 空気 圧力 ： 2次側大気開放
（加圧）
ろ過精度 ： 30μm 温度 ： 常温
エレメント（ポリエステル、ABS）
（交換可能）
止めねじ
スプリングピン
カバー（亜鉛合金）
圧力降下 kPa
ガスケット（NBR）
（交換可能）
ケース
（アルミニウム合金）
流量 L/min
（ANR）
交換エレメントおよびガスケット品番
部品名
ガスケット
エレメント
エレメントサイズ
エレメントサイズmm
部品品番
ZFA100
ZFA200
AL-204H
AL-205H
EJ001H-030N
EJ101H-030N
43×42×12
43×40×22
エレメント交換要領
ZFA
1）運転を止めてフィルタ内圧を大気圧にしてください。
エレメント
2）止めねじをゆるめ、カバーを開いてください。
ZFB
ZFC
3）エレメントの上部つまみをつまんで取出してください。
4）ガスケットの破損、変形、膨潤などの有無を確認し、異常
が確認された場合は新品と交換してください。
カバー
5）逆の手順で新品のエレメントへ交換してください。なお、
エレメントをケースへ挿入する際に、間違った向きで挿入
するとカバーを閉じることができません。
止めねじ
6）カバーを閉じ、止めねじを締付けてください。
7）各部より漏れのないことを確認後、本運転を開始してくだ
さい。
ガスケット
1103
ZFA Series
ZFAシリーズ／ZFA 100
200 -□□□
単体
注）上図はZFA200タイプを示す。
ブラケット取付位置はL側を示す。
型式
記号
ZFA100
ZFA200
管接続口径
18
14
A
ー
20
B
18
28
A
19
24
B
18
28
マニホールド
型式
記号
ZFA100
ZFA200
型式
ZFA100
ZFA200
記号 単体
注）
L1
L2
L1
L2
38
50
48
60
管接続口径
18
14
マニホールド連数
2
3
4
5
6
7
56 74 92 110 128 146
68 86 104 122 140 158
76 104 132 160 188 216
88 116 144 172 200 228
8
164
176
244
256
注）エアサクションフィルタ単体に左右ブラケットを付ける場合
1104
9
182
194
272
284
10
200
212
300
312
ワンタッチ管継手付
エアサクションフィルタ
ZFB
固形異物による真空機器
のトラブルを未然に防止します。
Series
型式
チューブ
サイズ
IN側配管チューブの取付方向
は360°
回転設定可能
型式
ミリサイズ
ZFB100-04
ZFB100-06
ZFB200-06
ZFB200-08
ZFB300-08
ZFB300-10
インチサイズ
ZFB101-05
ZFB101-07
ZFB201-07
ZFB301-11
ZFB401-13
簡単なエレメント交換作業
ワンタッチ管継手で脱着が容易
樹脂製で軽量・コンパクト
エレメント交換が容易な
カートリッジタイプ
RoHS
注2）
管接続口径
（適用チューブ外径） 注1）推奨流量
L/min
（ANR）
IN側、OUT側
ø4
10
20
ø6
30
ø6
50
ø8
75
ø8
75
ø10
ø 3 16 ″
ø1 4″
ø1 4 ″
ø 3 8″
ø 1 2″
質量
g
22
22
30
30
39
39
内容積
cm3
7
7
12
12
16
16
22
22
30
40
62
7
7
12
16
19
20
20
30
75
100
注1）初期圧力降下3kPa以下時における流量 注2）受注生産
仕様
使用流体注1）
使用圧力範囲注2）
真空破壊圧力
使用および周囲温度範囲
ろ過精度
エレメント交換差圧
適用チューブ材質
空気・窒素
−100∼0kPa
MAX. 0.5MPa
（加圧保持不可）
0∼60℃
（但し凍結しないこと）
30μm
（捕集効率95％）
20kPa
ナイロン、ソフトナイロン、ポリウレタン
注1）化学薬品の雰囲気または付着する場所では本体が破損する場合がありますので使用しないでください。
（アルコール、アセトン等でも破損の原因になりますので特に注意してください。）
注2）加圧状態を保持するラインで使用しますと本体が破損する場合がありますので使用しないでください。
型式表示方法
ミリサイズ
（リリースブッシュ：ライトグレー）
ミリサイズ
ZFB 10 0 04
インチサイズ
ZFB 10 1 05
適用チューブサイズ
ミリサイズ
記号
04
06
08
10
適用型式
チューブ
サイズ ZFB10 ZFB20 ZFB30
ø4
●
―
―
ø6
●
●
―
ø8
―
●
●
ø10
―
―
●
インチサイズ
ボディタイプ
記号
10
20
30
40
ろ過面積
（mm
1037
1584
1980
3016
2）
記号
05
07
11
13
適用型式
チューブ
サイズ ZFB10 ZFB20 ZFB30 ZFB40
ø3/16"
―
●
―
―
ø1/4"
―
●
●
―
ø3/8"
―
―
―
●
ø1/2"
●
―
―
―
インチサイズ
（リリースブッシュ：オレンジ）
1105
ZFA
ZFB
ZFC
ZFB Series
構造図
流量特性
使用流体 ： 空気 測定圧 ： 二次側大気開放
（加圧）
ろ過精度 ： 30μm 温度 ： 常温
リリースブッシュ
Oリング（NBR）
ワンタッチ管継手
本体（PBT）
Oリング
（NBR）
圧力降下 kPa
プラグ
（黄銅）
（無電解Niめっき）
カバー用Oリング（NBR）
（交換可能）
ユニバーサル
ジョイント
（PBT）
注）
エレメント（PVF）
（交換可能）
qZFB100-04
wZFB100-06
ZFB101-05、-07
注）PVF：ポリビニルフォルマール
透明カバー
（透明特殊ナイロン）
交換エレメント品番
eZFB200-06
ZFB201-07
セット内容
部品
適用フィルタ
エレメントサイズ
品番
型式
mm
エレメント カバー用Oリング
ZFB101 ø10×ø6×L33
I-34S-A ZFB100、
10ヶ
10ヶ
I-35S-A ZFB200、
ZFB201 ø12×ø8×L42
10ヶ
10ヶ
I-36S-A ZFB300、
ZFB301 ø14×ø10×L45
10ヶ
10ヶ
ZFB401
ø16×ø14×L60
10ヶ
10ヶ
I-39S-A
rZFB200-08
tZFB300-08、
-10
ZFB301-11、
ZFB401-13
yZFB401-13
流量 L/min
（ANR）
注）エレメントおよびカバー用Oリング各10ヶのセット販売となります。
外形寸法図
エレメント交換要領
1）運転を止めてフィルタの内圧を大気圧にしてく
ださい。
2）透明カバーを反時計回りにして、透明カバーの
ツバ部矢印を本体の"L"（LOCK）側突起部から
"O"
（OPEN）
側突起部へ位置を合わせてください。
3）透明カバーを下方へ引抜き、エレメントを取り
出してください。透明カバー内に付着滞留して
いる塵埃等はエアブロー等で除去してくださ
い。（Oリングの損傷確認も行ってください。）
4）新しいエレメントを本体へ差込んでください。
5）透明カバーのツバ部矢印を本体の"O"側突起部
に合わせ、透明カバーを本体へ押込み時計回り
に回して"O"側突起部から"L"側突起部へ合わ
せるとLOCKは完了します。
6）運転を開始してください。
エレメント交換要領図
サイズ
ミリサイズ
インチサイズ
型式
ZFB100-04
ZFB100-06
ZFB200-06
ZFB200-08
ZFB300-08
ZFB300-10
ZFB101-05
ZFB101-07
ZFB201-07
ZFB301-11
ZFB401-13
1106
A
B
48
26
52
28
57
69.5
30
27 14.5 29.5 21
70
48
26
52 28
57 30
64.5 34
C
D
E
F
G
H
53
22.5 12.5 24 17.5 15
54
65 24.5 13.5 27 19.5 16
17
53
24 17.5
22.5 12.5
15
54
24.2 17.7
65 24.5 13.5 27.2 19.7 16
70 27 14.5 30.2 21.7 17
87.5 30.5 16.5 34 24 21.5
I
J
K
L
M
4
6
6
61 17.5 16.6 15.2
8
8
65 21.5 18 18.5
10
50 15.5 14.4 12.8
50 15.5 14.4 12.8
N
8.5
9.5
11
3 16″
8.5
1 4″
61 17.5 16.6 15.2 1 4″ 9.5
65 21.5 18 18.5 3 8″ 11
81 25.6 23 21.7 1 2″13.5