油拡散エゼクタポンプPBLシリーズ (936KB) [PDF]

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バ
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空
アルバッ
ク 機工
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マテリ
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アルバ
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制御ソ
リューシ
ョン
アルバ
ック
電子機
器
アルバ
ック
産業機
器
アルバ
ック
規格品
真空ポンプ(油拡散ポンプ)
株式会社 アルバック 規格品事業部
PBL シリーズ
油拡散エゼクタポンプ ULVAC の PBL 型油拡散エゼクタポンプは、長年の研
究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。
数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を
高く評価されています。
特 長
-1
PBL-04
外形寸法図
(単位:mm )
A
A
●10 Pa 台で排気速度が最大です。
● PBL-02 〜 PBL-04 型は本体(シリンダ)にステンレス
鋼を使用しています。したがってアウトガスが少なく、
高真空が得やすく、耐食性にすぐれています。
●横型エゼクタポンプに比べ作動範囲は、約一桁低圧側
にずれますが、同じ口径での排気速度ははるかに大き
く、また排気速度特性もすぐれています。油回転真空
ポンプ、メカニカルブースタポンプと油拡散ポンプの
中間圧力で使用するのに効率がよいうえ、据付面積も
小さく、最適のポンプです。
● PBL-06 〜 PBL-20 型の大型ポンプはパイプヒータを
直接作動油中に入れているので、特に熱効率がすぐれ
ています。
動作原理および構造説明図
BB
動作原理および構造説明図
高真空側
冷却水入口
冷却水入口
冷却水入口
冷却水入口
A
A
シリンダ
BB
BB
A
A
冷却水出口
冷却水出口
HH
冷却水入口
冷却水入口
第1ジェット
第2ジェット
第3ジェット
HH
HH
冷却水出口
冷却水出口
冷却水出口
冷却水出口
チムニ
PLB-02
PBL-02
PLB-02
PBL-02
PLB-04
PBL-04
PLB-04
PBL-04
HH
BB
BB
HH
BB
冷却水出口
冷却水出口
内部冷却水出入口
内部冷却水出入口
冷却水出口
冷却水出口
PLB-20
PLB-20
PBL-20
PBL-14
PBL-20
PBL-02
PBL-04
PBL-06
PBL-10
PBL-14
PBL-20
H
463
526
975
1325
1687
2344
A
100
150
200
300
340
510
B
70
112
154
350
550
444
外形寸法
62
型式
ボイラ
パイプヒータ
PLB-14
PLB-14
PBL-14
PBL-10
空気分子
A
A
冷却水出口
冷却水出口
PLB-10
PLB-10
PBL-10
油蒸気
A
A
HH
冷却水入口
冷却水入口
A
A
冷却水パイプ
PLB-06
PBL-06
PLB-06
PBL-06
冷却水入口
冷却水入口
冷却水入口
冷却水入口
補助真空側
VACUUM COMPONENTS
保温材
油拡散エゼクタポンプは本体、加熱部およびジェット
部より構成され、ボイラ内で加熱された作動油は、蒸気
となって各段のジェットより高速度で噴射します。高真
空側の気体は噴射する蒸気中に巻込まれ(拡散)上段の
ジェット部より下段のジェット部に運ばれ圧縮されなが
ら排気口より補助ポンプ側に排気されます。噴射した蒸
気は本体の内壁で冷却、凝縮されてボイラに戻ります。
この作用を繰返しながら排気が行われます。
株式会社 アルバック 規格品事業部
01
02
03
仕 様
仕様の範囲
●1回分の油(油の種類は ULVOIL B-6 )
付属品
●吸気、排気口ガスケット(材料:NBR )各1
●水冷バッフル、封止フランジ、水冷用ホース口、ボルト、
ナットは付属していません。
(オプション)
●輸送、保管時の防塵のため蓋をつけております。
{
諸元
排気速度
型式
PBL-02
PBL-04
PBL-06
PBL-10
PBL-14
PBL-20
L/s
80
200
500
1800
4000
7000
-2
-2
-2
-2
Pa
臨界背圧
Pa
40
40
40
40
40
40
所要電力
kW
200V/ 単相0.44
200V/ 単相1.8
200V/3相4.0
200V/3相8.0
200V/3相11.0
200V/3相18.0
カートリッジヒータ
熱盤
0.1
0.6
7.5
18
36
90
ULVOIL B-6
ULVOIL B-6
ULVOIL B-6
ULVOIL B-6
ULVOIL B-6
ULVOIL B-6
1.5
5
8
12
18
25
4
6
10
14
20
2
3
4
8
313
495
YM-VS1215
YM-VS1224
PMB-040C + PSK-070
所要油量
L
使用油
L/min
吸気口径
B
排気口径
B
質量
2
3
/ 4 B ホース口
㎏
標準補助ポンプ ※2
1
1
2.7×10
2.7×10
2.7×10
2.7×10
11
パイプヒータ 2kW×2本 パイプヒータ 4kW×2本 パイプヒータ 5.5kW×2本 パイプヒータ 6kW×3本
/2
6
17
86
198
VD-201、VD301
PKS-016
PKS-030
PVD-360
VS1501
VS2401
PKS-070
YM-VD609
YM-VS1224
13
20
(PMB-024C + PSK-070)
※ 1:到達圧力は電離真空計により、冷却水温度20℃の場合です。
※ 2:補助ポンプの選択は、ここでは拡散エゼクタポンプの最大 Q 値に対応して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメ
カニカルブースタポンプおよび油回転真空ポンプを用いるのが普通です。
排気速度曲線
10000
22
23
30
PBL-14
31
1000
PBL-10
排気速度 (L/S)
21
24
PBLシリーズ排気速度曲線
PBL-20
32
PBL-06
40
100
PBL-04
50
PBL-02
10
52
ULVOIL B-6
水冷バッフル付
1
1.0E-02
12
1.0E-01
60
70
1.0E+00
圧力 (Pa)
80
90
99
63
真空ポンプ
所要水量
2.7×10
05
10
-2
到達圧力
ヒータの種類
2.7×10
-2
04