8340A
デジタル・ マルチメータ デジタル・エレクトロメータ 8340A 10−14A、3X1016Ωの高速／高確度測定／＋1000V電圧発生 直流電圧／ 電流発生器 ●微少電流測定：10fA〜19.999mA ●高抵抗測定：10Ω〜3×1016Ω ●高速チャージ／ディスチャージが可能 ●高速測定：100サンプリング/秒 デジタル・ エレクトロメータ 光パワー・メータ 光スペクトラム・ アナライザ スキャナ ケーブル、 アクセサリ 品質保証 価格表 122 ●印加電圧源：0〜＋1000.0V ●DC1100Vのフローティング測定可能 ●GPIBインタフェース標準装備 8340A¥500,000 GPIB 8340A デジタル超高抵抗／微少電流計 8340Aは、可変ゲインフィードバック方式のI−V変換器や高速サンプ リングA/D変換器、そして低ノイズ高レスポンス電圧発生器を採用 し、超高抵抗測定においては10Ω〜3×1016Ω、また微少電流測定 においては10fA〜19.999mAを高速で高確度測定を実現したデジタ ル超高抵抗／微少電流計です。 8340Aは、高抵抗を測定する時に必要な印加電圧源として、0.000V から1000.0Vまでの連続可変DC電源を内蔵しています。したがって、 各種の合成樹脂やゴム、およびその他の電気絶縁材料やスイッチ、 コネクタ、コンデンサなどの電子部品の試験、検査に幅広く使用で きます。しかも、アクセサリの12704A、12708を併用することによって、 表面抵抗率、体積抵抗率の測定、またその温度による影響の測定 ができます。 微少電流測定についても、イオン電流やリーク電流などを高感度、 高確度で測定できます。 さらに、本器は、オート･ハンドラやフィクスチャなど外部装置との接 続にハンドラ･インタフェースを標準装備し、またGPIBのデータ転送 効率をあげるためにパックド･フォーマット出力を採用するなど、製造 ラインや受入れ検査でのスループットを向上させることができます。 操作性については、測定条件や測定手順を記憶し、ワンタッチ操 作で再度同一条件で測定できるシーケンス･プログラム機能や接触 チェック機能などによって、初めての人でも簡単に、間違いなく高精度 の測定結果を極めて安定に測定できるような設計がなされています。 ■0 必要な測定精度に応じて測定速度を選択 08340Aでは、可変ゲインフィードバック方式による入力抵抗の選 択や積分時間の選択によって、必要な精度に応じた測定速度を 選ぶことができるため、信頼性の高い測定が行えます。 ■0 試料を高速チャージ／ディスチャージ可能 08340Aに 内 蔵 した 電 圧 発 生 器 は、 低 ノイズ（1000V発 生 で 5mVp-p）、高レスポンス（0〜1000Vを3ms）に加えて、10Wクラス のソース／シンク可能な電源を採用しているため、試料のチャージ ／ディスチャージを高速で行えます。しかも、このソース／シンク ともに電流リミット値を選択できます。 ■0 個人差のない測定にシーケンス･プログラム機能 08340Aのシーケンス･プログラム機能は、JIS規格K6911の測定手 順／条件のほか数パターンの測定シーケンスを標準で有し、しか も、設定した条件を記憶することができるため、測定者が異なっ ても同一の測定結果が得られます。 ■0 接地された試料も安定測定 08340Aは1100Vpeakのフローティング測定ができるため、同軸 ケーブルなど片方が接地された状態での試料測定も可能です。 機種名 最大発生電圧 対アース間電圧 8340A 1000V DC1100V BCD, アナログ出力 有 8340A デジタル・ マルチメータ デジタル・エレクトロメータ ■豊富で最適な機能を装備 ●ハンドラ・インタフェース 8340Aのハンドラ・インタフェースは、オート・ハンドラ、スキャナ などと接続し、これらのタイミングをコントロールする自動選別シ ステムを構成できます。タイミングは、試料の切換え、コンタクト に必要な時間、判定結果、アラーム信号などが得られます。 トリガ入口 INDEX 信号 EOM 信号 コンプリート信号 内部動作 コンパレータ出力 判定結果 HI/GO/LO 演算 判定 測定 判定結果 HI/GO/LO コンタクト時間 切換可能 コンタクト時間 切換 誘導ノイズ C IN A Rs Vs Vs 電圧源のノイズ Ｈi ×1 ×10 ×100 ×10000 A ×1 ×10 ×100 ×10000 以上 Rs 1 1/10 1/100 1/10000 以下 レスポンス 良 精度 良 SN 比 良 接触チェック NG 再測定 （断線） 不良 （容量抜けなど） 測定 Go コンパレータ測定 Lo スキャナ 入力アンプ・ゲイン 光スペクトラム・ アナライザ ● 接触チェック機能 8340Aの接触チェック機能は指定された時のみ動作し、試料が 確実にコンタクトしているかを確認した後に測定を開始します。こ の接触チェック機能は、イニシャル測定によりケーブル容量のキャ ンセルができ、標準サンプル （約1pF〜約10nF） 値を測定しておく ことにより、容量抜けなど、サンプル容量値に対して異常な値が でたものを不良品として検出することもできます 光パワー・メータ ハンドリング 演算 判定 測定 デジタル・ エレクトロメータ 直流電圧／ 電流発生器 ● コンデンサの種類、システムの環境に応じた測定条件の設定 が可能 コンデンサのリーク電流測定のレスポンスはコンデンサの容量と 測定器の入力抵抗で決まります。測定器の入力抵抗が小さいほ ど測定速度は早くなる一方、入力抵抗を小さくすればするほど測 定器のゲインが高くなりノイズの影響が大きくなってしまいます。 一般に、コンデンサの容量が大きくなるほどリーク電流は大きく なるため、測定するコンデンサに応じて入力抵抗を選択できれ ば、より効率のよい測定が可能となります。 8340Aは入力アンプ・ゲイン切換によって、測定器のゲインと入力 抵抗を選択し、コンデンサに応じた、またはシステムのノイズ環 境に応じた測定条件を設定できます。また、測定桁数を多く必 要としない場合は、オート・レンジ・レベルの選択により入力抵抗 を小さくして測定できます。 良品 絶縁不良 ケーブル、 アクセサリ 品質保証 価格表 123 デジタル・ マルチメータ デジタル・エレクトロメータ 8340A ■研究・開発から評価まで豊富なアプリケーション 直流電圧／ 電流発生器 ● プリント基板の絶縁抵抗測定に アクセサリの12603テスト・リードを使用して、プリント基板の絶 縁抵抗測定ができます。 デジタル・ エレクトロメータ Vs 光パワー・メータ ● ケーブルの絶縁抵抗測定に 8340AはDC1100Vまでフローティングが可能ですから、被測定 物が接地されているケーブルの絶縁抵抗やトランスなどの絶縁抵 抗の測定に適しています。 光スペクトラム・ アナライザ 8340A INPUT A Lo GUARD Vs （ショート・バー） GND スキャナ ケーブル、 アクセサリ 品質保証 価格表 124 12603 8340A ケーブルの絶縁抵抗測定例 水そう ●新素材、高分子材料の研究・開発に アクセサリのレジスティビティ・チェンバ12702A/Bまたはレジス ティビティ・チェンバ12704Aを使用して、材料の体積抵抗率、表 面抵抗率の測定が簡単にできます。8340Aのシーケンシャル・プ ログラム機能と、LID SIGNAL信号を使用して、フタの開閉信号 で、設定されたタイマにしたがったディスチャージ→チャージ→メ ジャーを自動的に行います。したがって、測定条件を一度設定し ておけば、常に、一定の条件で測定ができますので、測定者の 操作ミスによる測定不良を防げます。 表面抵抗率、体積抵抗率は内部で演算され、その電極係数は 12702A/B、12704A、42、12708のほかに、任意の電極係数も 入力可能です。 8340A 性 直流電圧発生 199.99pA 1999.9pA 19.999nA 199.99nA 1999.9nA 19.999μA 199.99μA 1999.9μA 19.999mA 10fA 100fA 1pA 10pA 100pA 1nA 10nA 100nA 1μA 測定確度はオート・キャリブレーションをONに設定した状態で、温度+23 ℃±5 ℃、相対湿度 （% of reading+digit）で示す。 70%以下における6ヶ月間の値を± （% of reading+digit） 温度係数は0～40℃、相対湿度70%以下における値を± / ℃で示す。 セットリング・タイムは入力アンプ・ゲインを×10000に設定した状態において最終値の±1%に入 るまでの時間を示し、レンジ切換時間を除く。 抵抗測定 測定範囲〔Ω〕 200pA 2nA 20nA 200nA 2μA 20μA 200μA 2mA 20mA 1×10 9∼3×1016 1×10 8∼3×1015 1×107∼3×1014 1×10 6∼3×1013 1×10 5∼3×1012 1×104∼3×1011 1×10 3∼3×1010 1×10 2∼3×10 9 1×101∼3×10 8 測定確度（VS100V,入力アンプ・ゲイン ×10000の例） 0.8％＋14d 0.8％＋11d 0.4％＋11d 0.4％＋11d 0.25％＋11d 0.25％＋10d 0.2％＋10d 0.2％＋10d 0.2％＋10d 0.008＋0.3d（3mV） 2mVp-p 250mV 0.1＋8d（800mV） 0.008＋0.3d（30mV） 5mVp-p 1000.0V 発生確度は温度+23℃±5℃、相対湿度70%以下における6ヶ月間の値を± （% of setting+digit） （% of setting+digit） で示す。温度係数は温度0～40℃、相対湿度70%以下における値を± /℃ で示す。 300mA ±300mA ±100mA ±10mA 0.000V∼30.00V 30.03V∼100.00V 100.03V∼1000.0V 100mA 10mA ±100mA ±100mA ±10mA ±10mA ±10mA ±10mA 電流コンプライアンス確度 （ソース／シンク共） 温度＋23℃±5℃、相対湿度70％以下において 300mA ±300mA〜±500mA 100mA ±100mA〜±150mA 10mA ±10mA〜±20mA セットリング･タイム 純抵抗負荷t＝3ms （max.） CV 容量性負荷 t＝ （充電時間） ＋to（収束時間） i 除く。） C：負荷の容量、V：出力電圧 i ：充電電流（最大値は電流コンプライアンスの値となる） （下表による） to：収 束時間 容量 0.22μF 0.1 4.2 0.000V∼100.00V 100.3V∼1000.0V （msec） オーバー・シュート電圧 出力電圧 電荷 0.000V∼100.3V 100.3V∼1000.0V 純抵抗 0.05 0.05 0.22μF 0.05 36 2.2μF 3.0 24 33μF 3.0 10 （V） 測定速度、最大表示 （電流測定において） 積分時間 2ms 1PLC 5PLC 10PLC 4×10PLC 8×10PLC 16×10PLC 最大表示 3½桁 1999 表示OFF、オート・キャリブレーションOFF、メモリストアONに設定した時。 4½桁 19999 価格表 ※1 フリーラン時のサンプリング数 100回／秒※1 50Hz 30回／秒 60Hz 33回／秒 8.5回／秒 4.5回／秒 1回／秒 0.5回／秒 0.3回／秒 品質保証 入力電圧降下 ± （測定電流×入力抵抗＋500μV） 入力バイアス電流 30fA以下 （温度＋23℃±1℃、相対湿度50％以下において） 入力容量 30pF以下 （ただし、入力ケーブルは含まない） 最大許容印加電圧 1.1kVpeak 33μF 7.0 150 ケーブル、 アクセサリ ×10000 10kΩ以下 1kΩ以下 100Ω以下 11Ω以下 2Ω以下 1Ω以下 1Ω以下 1Ω以下 1Ω以下 2.2μF 3.0 15 スキャナ 入力アンプ・ゲインの切換え ×10 ×100 1GΩ 100MΩ 100MΩ 10MΩ 10MΩ 1MΩ 1MΩ 100kΩ 100kΩ 10kΩ 10kΩ 1kΩ 1kΩ 100Ω 110Ω 11Ω 18Ω 3Ω 電流コンプライアンス設定 出力電圧 出力電圧 ×1 10GΩ 1GΩ 100MΩ 10MΩ 1MΩ 100kΩ 10kΩ 1.1kΩ 180Ω 0.1＋8d（80mV） 25mV （最終値の±1％の値に達する時間。レンジ切換時間を t ：セットリング･タイム 入力抵抗 200pA 2nA 20nA 200nA 2μA 20μA 200μA 2mA 20mA 100.00V 100.03V 1mVp-p 光スペクトラム・ アナライザ 入力電圧降下 測定確度 ± ｛ （電流レンジのrdg項＋0.1%＋ ） 発生電圧 ＋ （電流レンジのdigit項＋電圧発生のdigit項） ｝ 温度係数 ± ｛ （電流レンジのrdg項+0.008%）/℃ ＋ （電流レンジのdigit項+電圧発生のdigit項） /℃｝ 最大表示 1桁〜4桁 （1〜9.999） セットリング･タイム 電流測定レンジによる 2.5mV 0.1＋10d（10mV） 0.008＋0.5d（500μV） 10.000V 10.003V 光パワー・メータ 電流レンジ 0.000V デジタル・ エレクトロメータ 200pA 2nA 20nA 200nA 2μA 20μA 200μA 2mA 20mA 設定 発生確度 出力ノイズ 温度係数 分解能 ±（% of setting＋digit） ±（% of setting＋digit）/ ℃ （10∼500Hz） 出力電圧 ∼ 分解能 ∼ 最大表示 温度係数 測定確度 セットリング ±（% of rdg＋digit） ±（% of rdg＋digit）/℃ タイム 0.02＋0.5 0.7＋6 250ms 0.02＋0.2 0.7＋3 25ms 0.01＋0.2 0.3＋3 5ms 0.01＋0.2 0.3＋3 0.005＋0.2 0.15＋3 0.005＋0.1 0.15＋2 0.005＋0.1 0.1＋2 2ms 0.005＋0.1 0.1＋2 0.005＋0.1 0.1＋2 ∼ 測定 レンジ 電流レンジ 能 直流電圧／ 電流発生器 直流電流測定 デジタル・ マルチメータ デジタル・エレクトロメータ 125 デジタル・ マルチメータ 直流電圧／ 電流発生器 デジタル・ エレクトロメータ 光パワー・メータ 光スペクトラム・ アナライザ スキャナ ケーブル、 アクセサリ 品質保証 価格表 126 デジタル・エレクトロメータ 8340A その他の機能 NULL機能： R＝X−XNULL 測定データから、NULLを設定した時の測定データを引く X 測定値 XNULL NULLを設定した時の測定データ COMPARE機能： R（Hi）X＞Y、R（Go）Y≧X≧Z R （Lo）X＜Z、測定データを設定されたデータと比較する。 X 測定値、Y 高レベル設定値、Z 低レベル設定値 PRGM （シーケンス･プログラム）機能 コンデンサ･リーク測定、JIS規格C5102など代表的なシー ケンスを内蔵。 CONTACT （接触チェック）機能 試料の接続状態をC測定により、接触チェックする。標 準サンプルを初期設定することにより、コンデンサの容 量抜けなどもチェック可能。 設定項目 CONTACT LEVEL：標準サンプルのn倍で 判定。 オート･レンジ･レベル機能 電 流測定のオート･レンジをUPの場合20000/2000/200、 DOWNの場合1799/179/17の3通りに選べる。これによ り、必要な桁数に応じた高速レスポンス測定が可能。 DATA MEMORY 1000データのデータ･メモリが可能。 BUZZER COMPARE演算結果のHi/Lo、プログラム終了、異常検出な どの時、2色音のブザーで知らせる。 入出力機能 GPIBインタフェース： IEEE std 488-1978に準拠 測定データの出力／発生電圧の出力／ステータス状態の出力／ エラー･メッセージなどの出力が可能。 BINARYパックド･フォーマット （IEEE 754浮動小数点）可能 ハンドラ･インタフェース： オート･ハンドラ、フィクスチャなどの外部 装置とタイミングを取る入出力信号 （24ピン･アン フェノール･コネクタ） 入力 ＊TRIGGER、LID SIGNAL、＊CONTACT START 出力 ＊COMPLETE、＊EOM、＊INDEX、＊ALARM、 ＊LO、＊GO、＊HI、＊NO CONTACT 単線信号 （BNCコネクタ） ： ＊TRIGGER （入力） LID SIGNAL （入力） ＊COMPLETE （出力） BCD OUTPUT：OFF/BCD/BINARYの出力フォーマットを選択可能。 （50ピン･アンフェノール･コネクタ）、TTL正論理 D/A OUTPUT：表示データの任意の2桁または3桁をDA変換して出力 出力電圧 ±1V 変換出力 3桁表示000〜±999→0V〜±0.999V ＋50％オフセット設定可能 オフセット時出力 （−500→0V、000→0.5V、＋499 →0.999V） 桁選択 19999、19999、19999、19999 変換確度 ±0.2％±2d （温度23℃±5℃、相対湿度70％において6ヶ月間保証） 出力抵抗 1Ω以下 最大負荷電流 ±0.5mA 出力コネクタ バインディング･ポスト 一般仕様 使用環境範囲：周囲温度 0℃〜+40℃ 相対湿度 85％RH以下、結露のないこと 保存環境範囲：周囲温度 −25℃〜+70℃ 相対湿度 85％RH以下、結露のないこと ウォームアップ時間：30分以上 ノーマルモード･ノイズ除去比： （50/60Hz±0.09％において） 積分時間 NMRR 0dB 60dB以上 2ms 1PLC∼16×10PLC ECMRR 60dB以上 120dB以上 実効コモンモード･ノイズ除去比： 上記ECMRR （LO−GND端子問1kΩ不平衡 インピーダンスにおいて、DC及び50/60Hz ±0.09％にて） 測定方式：積分方式 入力方式：フローティング方式 表示：7セグメント緑色 LED 単位／指数表示：5×7ドットマトリクス緑色 LED 入力端子：TRIAXIALコネクタ （INPUT） 黒色バインディングポスト （LO、GND） 青色バインディングポスト （GUARD） 電圧出力端子：赤色バインディングポスト （VSOURCE） 入力保護用ヒューズ：1Aヒューズ 端子間最大印加電圧：INPUT−その他の端子間 1100Vピーク （1分間） LO−GUARD間 1100Vピーク LO−GND間 1100Vピーク GUARD−GND間 1100Vピーク V SOURCE−その他の端子間 ＋100V （設定0V〜100.00V） ＋1000V （設定100.03V〜1000.0V） 電源：AC電源100V オプションNo. 電源電圧 標準 100V OPT.32 120V OPT.42 220V OPT.44 240V 注文時指定 電源電圧を変更する場合は、工場引上げとなります。 電源周波数：50Hz/60Hz 消費電力：90VA以下 外形寸法：約424（幅） ×88（高） ×350（奥行）mm 質量：8kg以下 付属品 A01402 A01018-100 電源ケーブル （JIS 2m） 入力ケーブル （TRIAX-みの虫 高電圧用） アクセサリ （別売）エレクトロメータ用アクセサリ参照 入力ケーブル （TRIAX-TRIAX） 入力ケーブル （TRIAX-みの虫 1m） 入力ケーブル （TRIAX-BNC） 入力ケーブル （TRIAX-みの虫高電圧用） 入力ケーブル （TRIAX-みの虫） 入力ケーブル （高耐圧TRIAX-TRIAX） 接続コネクタ （TRIAXJ−TRIAXJ） 接続コネクタ （TRIAXJ−BNCP） 接続コネクタ （TRIAXJ−BNCP） 接続コネクタ （BNCJ−MP） 接続コネクタ （TRIAXJレセプタクル） テスト･リード テスト･フィクスチャ エレクトロメータ用アクセサリ フロントハンドル・セット2U ラックマウント･セット2U EIA ラックマウント･セット2U JIS A01009 A01010 A01011 A01018-100 A01019 A01239 A04201 A04202 A04203 A04207 A04208 126XXシリーズ 127XXシリーズ 4Xシリーズ CC028002 CC024002 CC022002 （フロントハンドルとラックマウントは組み合わせ可能） ¥15,000〜 ¥22,000 ¥15,000〜 ¥62,300 ¥30,300〜 ¥90,000〜 ¥8,000 ¥10,000 ¥11,000 ¥5,000 ¥3,500 ¥70,000〜 ¥90,000〜 ¥60,000〜 ¥16,000 ¥12,000 ¥12,000
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