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光学システム
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24
顕微鏡
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用
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リ
干
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計
用
ア
ク
セ
サ
リ
顕微鏡について
24.2
有限補正系フォーカシング顕微鏡ボディ
24.4
顕微鏡ボディ用アクセサリ
24.5
レチクル
24.7
対物レンズ
24.8
無限補正UV対物レンズ
24.9
M Plan Apo シリーズ
24.11
対物レンズ
M Plan Apo 対物レンズ用
顕
微
鏡
スア
ペパ
イー
シチ
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ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
24.17
顕微鏡鏡筒ユニット
対物レンズホルダ
24.19
分解能テストターゲット
24.20
W24.1
www.cvimgkk.com
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C
2009 CVI Melles Griot. All rights reserved.
電
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光学システム
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OEM
顕微鏡について
Microscope Components
レ
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ザ
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用
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リ
干
渉
計
用
ア
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セ
サ
リ
顕微鏡の概念はシンプルです。2 組のレンズを用いて物体の
拡大像を観察します。対物レンズで拡大された像をさらに接眼
レンズで拡大します。全体の倍率は、対物レンズと接眼レンズ
の倍率の積になります。
せん。同一の結像面（対物レンズの取付け位置から150 mm ）
と良好な像の質を得るには長焦点距離が必要となるため、CVI
メレスグリオの対物レンズの物像距離は
（1×と2.5×を除いて）
195mm となっています。
フォーカシング機構
対物レンズは全てアクロマチック（色消し）で、国際規格に基
づくネジ切りが施され、互換性が保たれています。
CVIメレスグリオの顕微鏡ボディは、全ての標準対物レンズ、
接眼レンズ、およびアクセサリを取り付けることができます。
顕微鏡ボディには、ピントの粗調のみができるタイプと、粗調
と微調ができるタイプがあります。寸法は、メインボディの長
さが142.5 mm 、エクステンションリングが 17.5 mm 、全長
160 mmです。顕微鏡ボディは「モジュール構造」で、ノーズピ
ースを付けてご使用になれます。
接眼レンズ
顕
微
鏡
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
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ルび
タ
ー
接眼レンズは対物レンズによる像を拡大して、観測者がその
拡大像を見られるようにします。接眼レンズとしてホイヘンス
タイプ（ネガティブ）と、ラムスデンタイプ（ポジティブ）の 2
種類があります。
ホイヘンスタイプの接眼レンズは、2 枚の平凸レンズをそれ
らの焦点距離の和だけ離して設置したものです。このタイプの
接眼レンズには、横の色収差がありません。通常のホイヘンス
接眼レンズは、像が二つのレンズの間に来るために、レチクル
が使えませんが、CVIメレスグリオのホイヘンス接眼レンズは、
後ろ側のレンズの近くに位置する焦点面にレチクルを入れられ
る構造で、しかも倍率誤差は小さくなっています。
ラムスデン接眼レンズは、同一焦点距離の 2 枚の平凸レンズ
の凸面側を向かい合わせに置いたものです。ラムスデン接眼レ
ンズの焦点面は、レンズの外側（対物レンズ側）に位置します。
ラ
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イ
ド
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ァ
イ
バ
ー
像の明るさは開口数（NA）の2乗に比例します。対物レンズの
開口数で顕微鏡の分解能と焦点深度が決まります。分解能は、
幾何光学的には3600×NA（ラインペア/ mm ）で与えられま
すが、回折限界値λ/ NA を越えることはできません。可視光
に対する焦点深度は、約λ/（4 NA2）となります。
顕微鏡用対物レンズは、微小な物体の観察に使用します。対
物レンズには、様々な価格と性能を持つ製品が揃っています。
鏡筒の先端から物体までの距離であるワーキングディスタ
ンス（WD）は、顕微鏡用対物レンズの場合非常に小さくなって
います。そのため対物レンズと物体を接近させて配置しなければ
ならず、マシンビジョンでは問題となります。このような場合の
ためにLWDまたはELWDと呼ばれる、よりワーキングディス
タンスの長い対物レンズもありますが、標準のレンズに比べサ
イズが大きくなります。
レチクルは、接眼レンズ焦点面に置き、像の長さ測定と位置
確認に用います。CVIメレスグリオのレチクルは、BK7 研磨プ
レート上に精密フォトクロームパターン転写されたものです。
顕微鏡へのマウント用ネジには、いくつかの異なる、互換性
の無い規格（たとえばDIN、JIS、RMSのような）が存在します。
ある規格のものを他の規格のネジに取り付けることは、通常は
出来ません（無限補正対物レンズを除き）
。同一シリーズの対物
レンズは通常同焦点となっており、レンズをマウントするフラ
ンジと物体までの距離は同一となっています。これは、顕微鏡
において対物レンズ（倍率）を変更する場合に、大きなフォーカ
ス調整を必要としないことを意味しています。
対物レンズ
対物レンズのタイプ
たいていの対物レンズは、共通の物像距離で最適化されてい
ますので、対物レンズの交換時にピント再調整の必要がありま
対物レンズは、色収差、球面収差、像面湾曲がどの程度補正
されているかにより、あるグループに分類されます。もっとも
この焦点面にレチクルを置くと、接眼レンズで拡大されます。
電
子
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タ
ー
標準の対物レンズは、人間の眼の色感度に合わせて色補正さ
れています。単色での顕微鏡撮影用途には、03 FCG 039 のよ
うなグリーンフィルターをお勧めします。フラットフィールド
対物レンズは、像面湾曲補正がなされ、カラーの顕微鏡写真撮
影に向いています。
レチクル
W24.2
顕微鏡
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用
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シンプルな対物レンズ（アクロマート）は、赤と青における色収
差、そして緑における球面収差が補正されています。より高度
な対物レンズ（アポクロマート）では、赤、黄、青における色補
正と、2ないし3波長における球面収差が補正されています。
視野全体にわたって質の高い像を必要とする用途向けのPlan
対物レンズ（ Plan アクロマートおよび Plan アポクロマート）
は、像面湾曲も補正されています。また、一般的にPlan対物レ
ンズは、シンプルなタイプに比べ長いワーキングディスタンス
を持っています。
いくつかの対物レンズは、特定の用途に使用するためにデザ
インされています。例えば生物顕微鏡用対物レンズは、カバー
スリップを通して物体を観察するように補正されています。も
し、特にNAの大きいこの対物レンズをカバースリップ無しで
使用した場合には、像はシャープに結びません。同様に、生物
用ではない対物レンズにおいて、レンズと物体の間にガラスを
置いた場合には、適切な機能は得られません。
1980 年以前の顕微鏡用対物レンズは、レンズをマウントす
るフランジ部分後段の距離（チューブの長さ）で像を形成する
よう設計されていました。この長さは、メーカーや用途により
160 mmから210 mmの間の様々なものがありました。対物レ
ンズは、適切な長さのチューブにおいて仕様に掲げる倍率の像
を形成します。現代の顕微鏡用対物レンズは、無限遠補正され
ています。これは像側の光線が平行となるよう最適化されてお
り、別途デコリメートするかチューブレンズを使用することに
より結像します。このデザインにより、対物レンズ後段のコリ
メート領域に照明やビームスプリッターを配置する事が出来る
柔軟性が生まれました。仕様通りの対物レンズの倍率の像を形成
するには、適切な焦点距離を持つチューブレンズが必要です。
もしくは適切なデコリメートレンズと共に使用した場合に、仕
様に掲げる倍率が得られます。また、対物レンズは異なる倍率
でも使用することができます。NAと倍率は、通常対物レンズの
鏡筒に記されています。NAの大きな対物レンズは多くの光を
集める事が出来ますが、被写界深度（DOF）とワーキングディ
スタンスは小さくなり、価格も割高となります。これらの兼ね
合いはアプリケーションにとって重要であり、対物レンズの
NAの選択は注意して行なう必要があります。
視野角（FOV: Field Of View）は、センサーのサイズを倍率
で割った値となります。倍率（およびFOV）は、チューブの長さ
もしくはデコリメートレンズの焦点距離を変える事により調整
が可能です。対物レンズ上に記されたものと非常に異なる倍率
での使用は、不十分に最適化されたシステムにおける結果を一
般的に生じます。
顕
微
鏡
視点
アイレンズ
接眼レンズ
フィールドレンズ
フィールドストップ、
対物レンズの第二共役面で
レチクルの設置位置
機械的
鏡筒長
= 160
粗動用ノブ
150
微調整用ノブ
対物レンズ用マウントリング
対物レンズ
ワーキングディスタンス
対物レンズの選択
対物レンズ：
物体からフランジ
までの距離 = S
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C
単位：mm
接眼レンズ、対物レンズ、およびフィーカシング機構を
取付けた顕微鏡ボディ
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物体面
顕微鏡
Copyright
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顕微鏡ボディ
特殊な用途向けの対物レンズも、多く存在します。あるレン
ズは、赤外もしくは紫外の波長領域で色補正されています。低
蛍光の対物レンズは、紫外線による蛍光分析の用途に使用しま
す。ストレスのかかっていない対物レンズは、イメージ光の偏
光が保持されなければならない用途に使用します。
顕微鏡の対物レンズを選ぶための最も重要なパラメーター
は、その開口数です。NAが大きいほど解像力は増し、これは対
物レンズが近接する物体の互いの特徴を識別できる事を意味し
ます。NAは倍率と関係しており、高い倍率の対物レンズは通常
大きなNAを有しています。対物レンズは、適切なチューブ長さ、
干
渉
計
用
ア
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サ
リ
W24.3
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光学システム
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有限補正系
フォーカシング顕微鏡ボディ
Microscope Focusing Bodies
レ
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用
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CVI メレスグリオの顕微鏡ボディは、光学実験、度量衡学、
φ50
生物学、画像の取り込み、および半導体の検査など様々な用途
にご使用いただけます。
44.6
■ 本顕微鏡ボディは、RMS 規格（ 0.8 インチ、 36 TPI ）の
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
φ37.5
04 OAS シリーズ 有限補正アクロマチック対物レンズを
取り付け可能
25
■ オプションのタレット式レンズマウントは、
73
対物レンズを 3 個まで保持可能
■ 粗動フォーカシング顕微鏡ボディは、倍率が16×までの
160
142.5
17.5
対物レンズに適し、さらに倍率の高い対物レンズには、
微動フォーカシング顕微鏡ボディが最適
φ23.2
φ50.0 φ23
■ バックラッシュ防止用ギアによるヒステリシスの除去
φ25
■ 粗動機構は分解能 100 μｍでトラベル長63 mm
顕
微
鏡
φ0.8インチ
36 TPIタップ
（RMS 規格）
■ 微動機構は分解能4 μｍでトラベル長3 mm
■ ボディと筒は黒色アルマイト処理されたアルミニウム製、
スライドガイドは真鍮、駆動機構は鋼製
59.6
79.3
単位：mm
04 TCF 002 粗動顕微鏡ボディ
スア
ペパ
イー
シチ
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ルー
フお
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ルび
タ
ー
有限補正系フォーカシング顕微鏡ボディ
φ50
69.6
φ37.5
粗動
微動
○
○
×
○
製品番号
04 TCF 002
04 TFF 002
25
73
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
160
142.5
17.5
φ50.0
φ23.2
φ23
φ0.8インチ
36 TPIタップ
（RMS 規格）
φ25
58.0
72
単位：mm
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
04 TFF 002 粗微動顕微鏡ボディ
W24.4
TCF・TFF
顕微鏡
04 TCF・04 TFF
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OEM
顕微鏡ボディ用アクセサリ
アマ
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Microscope Body Accessories
レ
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ザ
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用
ア
ク
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サ
リ
CVIメレスグリオの顕微鏡ボディ用アクセサリとして、可調
接眼レンズ用アングルホルダ
およびアングルタイプの接眼レンズホルダ、タレット式レンズ
マウント、フォーカシング機構、および顕微鏡ボディ用マウン
ティングプレートをご用意しています。
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
可調接眼レンズホルダ
可調接眼レンズホルダを用いると、顕微鏡の長さを調整する
ことにより、倍率の変更が可能となります。ただし、NAが0.50
以上の対物レンズへの使用には適しません。
■ 140 mm∼200 mmに長さの変更が可能
■ 接眼レンズ取付け部は、クロームメッキされた真鍮製。
04 AEH 004 接眼レンズ用アングルホルダ
顕微鏡ボディへのマウント部は、黒色アルマイト処理
されたアルミニウム製
接眼レンズ用アングルホルダは、光軸を45°曲げるためのプ
リズムを内蔵した接眼レンズホルダです。接眼レンズの位置を
可調接眼レンズホルダ
顕
微
鏡
観察し易い方向に変えることができます。この接眼レンズホル
ダは、顕微鏡ボディから標準の接眼レンズホルダを取り除いた
製品番号
後に、同じ場所にねじ込んで用います。
04 AEH 002
可調接眼レンズホルダ
■ オフセット角度は45°
■ 接眼レンズ取付け部は、クロームメッキされた真鍮製。
顕微鏡ボディへのマウント部は、黒色アルマイト処理
タレット式レンズマウント
されたアルミニウム製
このクロームメッキされた真鍮製のタレット式レンズマウ
ントは、対物レンズの交換を容易にするためのアクセサリです。
3 個の対物レンズの保持が可能です。顕微鏡ボディから対物レ
ンズ用マウントリングを取外すことにより、鏡筒長が160 mm
に保持されます。
接眼レンズ用アングルホルダ
製品番号
04 AEH 004
接眼レンズ用アングルホルダ
製品番号
保持可能な対物レンズの数
3
電
子
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04 NOP 003
顕微鏡ボディ用アクセサリ
顕微鏡
www.cvimgkk.com
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04 AEH・04 NOP
W24.5
AEH・NOP
ラ
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光学システム
アマ
クシ
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ザ
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用
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サ
リ
顕微鏡ボディ用マウンティングプレート
フォーカシング機構
CVIメレスグリオの顕微鏡ボディは、光学実験、度量衡学、
■ 顕微鏡ボディとフォーカシング機構用に設計された
アダプタプレート
生物学、画像の取り込み、および半導体の検査など様々な用途
にご使用いただけます。
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
■ 50.6 mm間隔のM6用通し穴によりマウントが可能
■ 顕微鏡ボディを取り付けるための、M4 スクリューが付属
■ 粗調の駆動範囲は、分解能100 μmで63 mmと125 mm
の２タイプ
■ 微調の駆動範囲は、分解能4 μmで3 mm
39
■ クロームメッキされた真鍮製（駆動機構部はスチール製）
16
φ7通し
皿ザグリ
32
7
φ8×90°
（2ヶ所、両面）
フォーカシング機構
12.5
50.6
トラベル長
顕
微
鏡
(mm)
粗動
フォーカシング
63
125
微動
フォーカシング
○
○
○
○
25
64
製品番号
04 MFF 001
04 MFF 003
5
11
M4 深さ7
58
59.6
77
皿ザグリ
φ5×90°
（4ヶ所）
単位：mm
C マウント カメラアダプタ
07 HMB 001 顕微鏡ボディ用マウンティングプレート
スア
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タ
ー
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
顕微鏡ボディ用マウンティングプレート
製品番号
07 HMB 001
顕微鏡ボディ用マウンティングプレート
1インチ×32 TPI ネジ
（C マウント）
M3 セットスクリュー
（3ヶ所、120°間隔）
07 ACM 001 C マウント カメラアダプタ
13.8
C マウント カメラアダプタ
製品番号
C マウント カメラアダプタ
6
φ2 穴
（4ヶ所、90°間隔）
φ35
07 ACM 001
21.3
34.8
13.5
M26×P0.5 ネジ
07 ACM 001 C マウント カメラアダプタ
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
W24.6
顕微鏡
ACM・HMB・MFF
04 MFF・07 ACM・07 HMB
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レチクル
アマ
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Reticles
レ
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ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
CVIメレスグリオのレチクルは、平面研磨したBK7のガラス
レチクル
板に精密フォトクローム転写して作られています。ホイヘンス
直径
タイプの接眼レンズは、焦点距離が負で焦点面が接眼レンズ内
にあるので、レチクルを装着するには接眼レンズを 2 つに分離
パターン
する必要があります。ホイヘンスタイプの接眼レンズの中には、
クロスヘアー
（mm）
製品番号
21
19
04 RET 001
04 RET 002
レチクルが装着できないタイプもあります。焦点距離が正の接
眼レンズは、アイレンズの逆側のネジリングを外してレチクル
を取り付けます。
10 本の同心円付きクロスへアー（最外円φ10 mm）
接眼レンズにレチクルを固定するための、ロッキングリング
もご用意しています。
21
19
1
2
3
4
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
04 RET 003
04 RET 004
5
6
7
8
9
10
10 mmのスケール（100 分割）
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
21
仕様：レチクル
材質
直径の公差
厚み
ライン幅
BK7、A 級ファインアニールド
＋0/−0.05 mm
1.0±0.1 mm
10 μm
5 mm のスケール（100 分割）
0 1 2 3 4 5
21
04 RET 007
21
19
04 RET 011
04 RET 012
10 mmの十字スケール（100 分割）
0 1 2 3 4
0
1
2
3
4
6 7 8 9 10
21
19
04 RET 013
04 RET 014
6
7
8
9
10
ホイヘンスタイプ（負のレンズ）
顕
微
鏡
クロスへアーと10 mmのスケール（100 分割）
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90100
ラムスデンタイプ（正のレンズ）
04 RET 005
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
接眼レンズにレチクルを取り付けるためのロッキング
リング
直径
（mm）
ロッキングリング
製品番号
23
04 SWR 021
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
ラムスデンタイプおよびホイヘンスタイプ接眼レンズへの
レチクル装着方法
顕微鏡
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04 RET・04 SWR
W24.7
RET・SWR
ラ
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ガ
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ド
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光学システム
アマ
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サビ
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対物レンズ
Microscope Objectives
レ
ー
ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
この顕微鏡用対物レンズはアクロマチック（ 656.3 nm 、
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
有限補正アクロマチック対物レンズ
486.1 nmの 2 色で色補正された）です。RMS標準（0.8インチ、
36 TPI）の顕微鏡ネジが切られているので、他社製品との互換
■ 目視観察用に色収差補正済み
性があります。また、対物レンズはボディにカラーコードリン
■ 白黒の顕微鏡写真撮影向き
グで倍率表示しているため、倍率表記の数字が読み取りにくい
■ スペイシャルフィルタや、ビームエクスパンダなどとの
場合でも容易に識別できます。
併用、およびレーザービームの集光用に
■ 倍率公差は±5 %
■ 黒色仕上げを施した真鍮製ボディ
■ 全ての標準タイプの対物レンズは、400 nm - 700 nm用
有限補正タイプの可視用 対物レンズ
のMgF2 単層 AR コーティング付き。標準タイプの近赤
焦点距離
ワーキング
ディスタンス （@546 nm）
外用対物レンズは、1300 nm - 1500 nm用のMgF2 単層
NA
（mm）
1.0×
2.5×
4.0×
6.3×
10.0×
16.0×
0.05
0.07
0.12
0.20
0.25
120.00
42.00
24.00
21.00
6.80
73.5
43.8
30.8
22.5
16.9
144
66
45
45
45
0.32
0.50
0.65
3.70
1.30
0.47
10.8
6.6
4.6
45
45
45
AR コーティング付き
顕
微
鏡
φ20.3
φ0.8インチ
36TPI ネジ
（RMSネジ）
4.8
S
L
カラー
（mm） （mm） （mm） リング
倍率
25.0×
40.0×
7.6
7.6
7.6
7.6
6.5
7.3
12.0
12.0
製品番号
04 OAS 002
04 OAS 004
04 OAS 006
04 OAS 008
04 OAS 010
黒
茶
赤
橙
黄
淡緑
濃緑
淡青
04 OAS 012
04 OAS 014
04 OAS 016
L
スア
ペパ
イー
シチ
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フお
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ルび
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ー
S
有限補正タイプの近赤外用 対物レンズ
ワーキング
ディスタンス
ワーキング
ディスタンス
倍率
物体面
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
10.0× 0.25
25.0× 0.50
40.0× 0.65
φ20
単位：mm
NA
（mm）
6.80
1.30
0.47
焦点
距離
S
カラー
（mm） （mm） リング
16.9
6.6
4.6
45
45
45
黄
濃緑
淡青
製品番号
04 OAS 010/IR
04 OAS 014/IR
04 OAS 016/IR
04 OAS 顕微鏡対物レンズ
W24.8
OAS
顕微鏡
04 OAS
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アマ
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サビ
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レ
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ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
顕
微
鏡
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
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電
子
シ
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ッ
タ
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ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
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イ
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光学システム
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レ
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ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
アプリケーションノート
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
倍率を決定する対物レンズと接眼レンズの間隔は、固定されて
います。光線はこのレンズの間で集光されるため、光学部品を
挿入する場合には倍率を保つために間隔を調整する必要が
あり、また収差が増加することがあります。
対物レンズとチューブレンズの間の光線はコリーメートされて
おり、倍率が変化することなくこれらレンズの間隔を変える
ことができます。ビームスプリッターやフィルターは、収差を
増加させる事無く、組み込みが可能です。コリメートされたレ
ーザービームは本質的に無限系の点光源であるため、無限共
役比対物レンズがこのビームの集光に、より適しています。
眼球
顕
微
鏡
接眼レンズ
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
対物レンズ
眼球
接眼レンズ
眼球
接眼レンズ
チューブレンズ
チューブレンズ
ビームスプリッター
ビームスプリッター1
対物レンズ
ビームスプリッター2
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
対物レンズ
有限補正対物レンズ
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
W24.10
UVO
無限補正対物レンズ
顕微鏡
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M Plan Apo シリーズ
対物レンズ
アマ
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ン
ズ
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び
M Plan Apo series Microscope Objectives
NUV M Plan Apo 近紫外 - 可視域用対物レンズ
■ 長作動距離の対物レンズ
■ 明視野観察用
■ 可視域 3 波長と532 nm、355 nmで色補正された
アポクロマートレンズ
■ 長い作動距離を持つ
■ 明視野観察が可能
■ 視野全体にわたって像面がフラット
■ 10∼100倍までの、4種類の倍率をご用意
■ 4∼5波長で色補正されたアポクロマートレンズ
■ 像を結ぶには、チューブ（結像）レンズが必要
■ 可視域、近紫外 - 可視域、近赤外 - 可視域用をご用意
■ 半導体回路のレーザーカッティング、レーザーによる
■ 無限補正対物レンズ
液晶カラーフィルターの補修に
CVIメレスグリオのM Plan Apo シリーズ 顕微鏡用対物レ
ンズは、視野全体にわたって像面が平坦であり、長い作動距離
を持つ高性能な対物レンズです。この無限補正系の明視野観察
用レンズは、4 つ以上の波長で色補正されたアポクロマートレ
ンズであり、後述の顕微鏡鏡筒と組み合わせることにより観察
用として、またレーザーを用いた半導体やフラットパネルの加
工および補修用レンズとして最適な製品です。用途別に、近紫
外-可視域用、可視域用、および近赤外-可視域用の3種類の製品
に、それぞれ倍率の異なるレンズをご用意しています。
無限補正対物レンズとチューブ（結像）レンズの間の光線は
コリメートされており、倍率が変化することなく注 1これらのレ
ンズの間隔を変えることができます。また、収差を増加させる
こと無く、ビームスプリッターやフィルターをシステムに組み
込むことが可能です。注 2
CVIメレスグリオのNUV M Plan Apo は、視野全体にわた
レ
ー
ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
って像面が平坦であり、長い作動距離を持つ高性能な対物レン
ズです。この対物レンズは、近紫外光（355 nm）から可視光ま
での 5 つの波長で色収差の補正がなされ、これらの波長範囲に
おいて焦点深度内に焦点を結ぶよう設計されています。製品
には、10倍∼100倍までの 4 種類の倍率をご用意しています。
Nd:YAG レーザーの第 3 高調波（355 nm）による半導体回路
のカッティングやトリミング、液晶パネル用カラーフィルター
のレーザーによる補修などのご用途にお使いいただけます。
顕
微
鏡
注 1：視野に制限の出る場合があります。
注 2：周辺画角に収差の発生する場合があります。
仕様：NUV M Plan Apo 近紫外-可視域用 対物レンズ
製品番号
04 ONU 010
04 ONU 020
04 ONU 050
04 ONU 100
倍率 *
10倍
20倍
50倍
100倍
開口数 NA
0.28
0.40
0.42
0.5
作動距離（mm）
35.0
17.6
15.3
11.0
焦点距離（mm）
20.0
10.0
4.0
2.0
分解能 **（μm、@550 nm）
1.0
0.7
0.7
0.6
焦点深度 **（μm、@550 nm）
3.5
1.7
1.6
1.1
φ2.4
φ1.2
φ0.5
φ0.24
φ8.0
φ3.4
φ2.0
φ24 接眼において）
実視野（mm、
瞳径（mm）
φ11.2
色補正波長（nm）
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）、532、355
同焦点距離（mm）
95.0
φ26 mm×36 TPI
マウント用ネジ
60 % @355 nm
透過率
80 % @436∼656 nm（平均値）
0.1 J/cm2 @532 nm（パルス幅10 nsec）
損傷しきい値 ***
0.05 J/cm2 @355 nm（パルス幅10 nsec）
215
重量（g）
260
* f：200 mmのチューブ（結像）レンズと組み合わせた場合の値
** 分解能と焦点深度の値は、回折限界での値です。
*** 参考値であり、保証値ではありません。
305
310
※ このレンズに適合し、
チューブ
（結像）
レンズを内蔵する
顕微鏡鏡筒もご用意しています。
顕微鏡
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04 ONU
W24.11
ONU
ラ
イ
ト
ガ
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イ
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光学システム
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用
ア
ク
セ
サ
リ
φ26-36 TPI ネジ
φ26-36 TPI ネジ
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
φ32.2
φ25
φ34
φ32.2
φ25
φ32
φ32
φ34
9
35
25.3
9
4.7
60
15.3
作動距離
25.3
4.7
79.7
作動距離
95
95
単位：mm
単位：mm
04 ONU 010 NUV M Plan Apo 10 倍の対物レンズ
04 ONU 050 NUV M Plan Apo 50 倍の対物レンズ
顕
微
鏡
φ26-36 TPI ネジ
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
φ26-36 TPI ネジ
φ34
φ32.2
φ25
φ32.2
φ32
9
17.6
26
φ32
φ25
φ34
4.5
9
11
77.4
25.7
4.3
84
作動距離
作動距離
95
95
単位：mm
単位：mm
04 ONU 020 NUV M Plan Apo 20 倍の対物レンズ
04 ONU 100 NUV M Plan Apo 100 倍の対物レンズ
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
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W24.12
ONU
顕微鏡
04 ONU
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ザ
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用
ア
ク
セ
サ
リ
CVIメレスグリオのM Plan Apo シリーズ顕微鏡用対物レン
M Plan Apo 可視域用対物レンズ
ズは、視野全体にわたって像面が平坦であり、長い作動距離を
■ 長作動距離の対物レンズ
持つ高性能な対物レンズです。この無限補正系の明視野観察用
■ 可視域4波長で色補正されたアポクロマートレンズ
レンズは、4 つ以上の波長で色補正されたアポクロマートレン
ズであり、後述の顕微鏡鏡筒と組み合わせることにより観察用
■ 明視野観察が可能
として最適な製品です。製品には、2 倍∼100 倍までの 7 種類の
■ 2∼100倍までの7種類の倍率をご用意
倍率をご用意しています。無限補正対物レンズとチューブ
■ 像を結ぶには、チューブ（結像）レンズが必要
（結像）レンズの間の光線はコリメートされており、倍率が変化
することなく注 1 これらのレンズの間隔を変えることができま
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
す。また、収差を増加させること無く、ビームスプリッターや
フィルターをシステムに組み込むことが可能です。注 2
注 1：視野に制限の出る場合があります。
注 2：周辺画角に収差の発生する場合があります。
顕
微
鏡
仕様：M Plan Apo 可視域用対物レンズ
製品番号
04 OVI 002
04 OVI 005
04 OVI 007
04 OVI 010
04 OVI 020
04 OVI 050
04 OVI 100
2倍
5倍
7倍
10倍
20倍
50倍
100倍
0.055
0.14
0.21
0.28
0.42
0.55
0.70
倍率 *
開口数 NA
作動距離（mm）
35.0
35.0
35.2
33.5
20.0
12.7
6.0
焦点距離（mm）
100
40
29
20
10
4
2
分解能 **（μm、@550 nm）
5.0
2.0
1.3
1.0
0.7
0.5
0.4
91.0
14.0
6.2
3.5
1.6
0.9
0.6
焦点深度 **（μm、@550 nm）
φ24 接眼において）
実視野（mm、
φ12.0
φ4.8
φ3.4
φ2.4
φ1.2
φ0.5
φ0.24
瞳径（mm）
φ11.0
φ11.2
φ12.0
φ11.2
φ8.4
φ4.4
φ2.8
300
310
色補正波長（nm）
435.8（g 線）、486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）
同焦点距離（mm）
95.0
φ26 mm×36 TPI
マウント用ネジ
80 % @436∼656 nm（平均値）
透過率
210
重量（g）
214
223
216
255
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
* f：200 mmのチューブ（結像）レンズと組み合わせた場合の値
** 分解能と焦点深度の値は、回折限界での値です。
※ このレンズに適合し、
チューブ
（結像）
レンズを内蔵する顕微鏡鏡筒もご用意しています。
顕微鏡
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シチ
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フお
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04 OVI
W24.13
OVI
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ガ
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φ26-36 TPI ネジ
φ32.2 φ25
φ32
9
レ
ー
ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
35
25
φ34
4.5
60
作動距離
95
単位：mm
04 OVI 002 M Plan Apo 2倍の対物レンズ
φ26-36 TPI ネジ
φ26-36 TPI ネジ
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
φ32.2
φ25
φ32.2
φ25
φ32
φ34
9
35
25.3
φ34
4.7
9
25.3
4.7
75
20
60
作動距離
作動距離
95
単位：mm
φ32
95
単位：mm
04 OVI 020 M Plan Apo 20倍の対物レンズ
04 OVI 005 M Plan Apo 5倍の対物レンズ
顕
微
鏡
φ26-36 TPI ネジ
φ26-36TPI ネジ
φ32.2
φ25.5
φ32
φ32.2
φ25
φ34
25.3
9
スア
ペパ
イー
シチ
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ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
φ32
φ34
4.5
9
35.2
59.8
作動距離
12.7
単位：mm
95
単位：mm
04 OVI 050 M Plan Apo 50倍の対物レンズ
04 OVI 007 M Plan Apo 7倍の対物レンズ
φ26-36 TPI ネジ
φ32
φ32.2
φ25
φ32.2
9
25.3
9
6
OVI
25.3
4.7
89
作動距離
95
単位：mm
04 OVI 010 M Plan Apo 10倍の対物レンズ
W24.14
φ34
4.7
61.5
作動距離
単位：mm
φ32
φ25
φ34
33.5
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
4.7
作動距離
95
φ26-36 TPI ネジ
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
25.3
82.3
95
04 OVI 100 M Plan Apo 100倍の対物レンズ
顕微鏡
04 OVI
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ザ
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用
ア
ク
セ
サ
リ
NIR M Plan Apo 近赤外 - 可視域用対物レンズ
φ26-36 TPI ネジ
■ 長作動距離の対物レンズ
■ 可視域 3 波長と532 nm、1064 nmで色補正された
φ32
φ32.2
φ25
アポクロマートレンズ
φ34
■ 明視野観察が可能
9
■ 5∼50倍までの 4 種類の倍率をご用意
34
■ 像を結ぶには、チューブ（結像）レンズが必要
61
作動距離
■ Nd:YAG レーザー（波長：532 nmまたは1064 nm）
による半導体回路のカッティングなどに
4.7
25.3
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
95
単位：mm
04 ONI 010 NIR M Plan Apo 10倍の対物レンズ
CVIメレスグリオのNIR M Plan Apo シリーズ顕微鏡
用対物レンズは、視野全体にわたって像面が平坦であり、
長い作動距離を持つ高性能な対物レンズです。この無限補
正系の明視野観察用レンズは、3 つ以上の波長で色補正さ
れたアポクロマートレンズであり、後述の顕微鏡鏡筒と組
み合わせることにより観察用として、またレーザーを用い
た半導体やフラットパネルの加工および補修用レンズと
して最適な製品です。製品には、5 倍∼ 50 倍までの 4 種類
の倍率をご用意しています。無限補正対物レンズとチュー
ブ（結像）レンズの間の光線はコリメートされており、倍率
が変化することなく注 1 これらのレンズの間隔を変えるこ
とができます。また、収差を増加させること無くビームス
プリッターやフィルターをシステムに組み込むことが可
能です。注 2
顕
微
鏡
φ26-36 TPI ネジ
φ32.2
φ32
φ25
φ34
9
20
25.7
4.3
75
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
作動距離
95
単位：mm
04 ONI 020 NIR M Plan Apo 20倍の対物レンズ
注 1：視野に制限の出る場合があります。
注 2：周辺画角に収差の発生する場合があります。
φ26-36 TPI ネジ
φ32.2
φ32
φ32.2
φ25
φ32
φ25
φ26-36 TPI ネジ
φ34
φ34
9
35
9
4.7
16
60
作動距離
単位：mm
26
95
4.3
25.7
79
作動距離
単位：mm
04 ONI 005 NIR M Plan Apo 5倍の対物レンズ
95
04 ONI 050 NIR M Plan Apo 50倍の対物レンズ
顕微鏡
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電
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OEM
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用
ア
ク
セ
サ
リ
仕様：NIR M Plan Apo 近赤外‐可視域用対物レンズ
製品番号
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
04 ONI 005
04 ONI 010
04 ONI 020
04 ONI 050
倍率 *
5倍
10倍
20倍
50倍
開口数 NA
0.14
0.28
0.40
0.42
作動距離（mm）
35.0
34.0
20.0
16.0
焦点距離（mm）
40
20
10
4
分解能 **（μm、@550 nm）
2.0
1.0
0.7
0.7
焦点深度 **（μm、@550 nm）
14.0
3.5
1.7
1.6
φ24 接眼において）
実視野（mm、
φ4.8
φ2.4
φ1.2
φ0.5
φ11.2
φ8.0
φ3.4
瞳径（mm）
φ11.2
486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）、532、1064
色補正波長（nm）
同焦点距離（mm）
95.0
φ26 mm×36 TPI
マウント用ネジ
70 % @1064 nm
透過率
顕
微
鏡
70 % @436∼656 nm（平均値）
0.1 J/cm2 @532 nm（パルス幅10 nsec）
損傷しきい値 ***
0.2 J/cm2 @1064 nm（パルス幅10 nsec）
225
重量（g）
210
270
290
* f：200 mmのチューブ（結像）レンズと組み合わせた場合の値
** 分解能と焦点深度の値は、回折限界での値です。
*** 参考値であり、保証値ではありません。
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
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※ このレンズに適合し、
チューブ
（結像）
レンズを内蔵する顕微鏡鏡筒もご用意しています。
電
子
シ
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ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
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W24.16
ONI
顕微鏡
04 ONI
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M Plan Apo 対物レンズ用
顕微鏡鏡筒ユニット
アマ
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Microscope Body Units for M Plan Apo Objectives
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用
ア
ク
セ
サ
リ
観察用の顕微鏡鏡筒には、CVIメレスグリオの04 OVI シリ
■ 軽量、コンパクト
ーズ M Plan Apo可視域用対物レンズを取り付けることにより、
■ 観察用鏡筒は、可視域用対物レンズ（2∼100倍）に対応
2 倍 ∼ 100 倍の顕微鏡システムが構成されます。この鏡筒には、
C マウントを有する2/3インチCCDカメラ用のポートと、反射
■ レーザー加工用鏡筒は、近紫外 - 可視用（10∼100倍）
、
および近赤外 - 可視用（5∼50倍）の対物レンズに対応
照明のための虹彩絞り付きファイバー照明用ポートが備わって
■ f：200 mmのチューブ（結像）レンズを内蔵
います。
■ CマウントCCDカメラ、ファイバー照明、および
レーザー用のポートが備わる
レーザー加工用の顕微鏡鏡筒には、CVI メレスグリオの04
ONU シリーズ NUV M Plan Apo近紫外 - 可視域用対物レン
ズ、および 04 ONI シリーズ 近赤外 - 可視域用対物レンズに対
応します。観察用と同じC マウントを有する 2/3 インチCCD
■ オプションにてTVアダプタ（0.5倍、2.0倍）をご用意
■ 通常の観察用、半導体やフラットパネルディスプレイの
加工や補修用に
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
カメラ用のポート、反射照明のための虹彩絞り付きファイバー
照明用ポートの他に、Nd : YAG レーザーを接続するためのポ
■ OEM供給にも対応可能
ートが備わっており、内蔵するチューブ（結像）レンズは可視光
3 波長の他に1064 nm、532 nm、および355 nmで色補正さ
CVIメレスグリオの顕微鏡鏡筒ユニットは、長い作動距離を
有し、多波長で色補正されたアポクロマートレンズであるM
Plan Apo シリーズ 対物レンズに合わせて新たに設計された軽
量、コンパクトな製品です。可視光 3 波長とNd : YAGレーザー
の基本波、第 2 高調波、および第 3 高調波で色補正された焦点
距離 200 mmのチューブ（結像）レンズを内蔵するこの鏡筒に
は、観察用と加工用の 2 種類の製品をご用意しています。
れています。
顕
微
鏡
オプションにて、0.5 倍および 2.0倍のTVアダプタをご用意
すると共に、お客様の仕様に合わせてOEM供給をすることも可
能です。
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
仕様：M Plan Apo 対物レンズ用 顕微鏡鏡筒ユニット
観察用鏡筒
レーザー加工用鏡筒
04#AA009_SA
04#AA010_SA
カメラ取付け方向
垂直方向
観察像
明視野/正立正像
C マウント（調芯機構付き）
CCDの取付け方法
200
結像レンズの焦点距離（mm）
結像レンズの色補正波長（nm）
対応するレーザー
対応する対物レンズ（観察用）
対応する対物レンズ（レーザー加工用）
486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）
486.1（F）、587.6（d）、656.3（C）、355、532、1064
―
YAGレーザーの基本波、第2、第3高調波
可視用 04 OVI シリーズ
可視用 04 OVI シリーズ
―
近紫外-可視用 04 ONU シリーズ、
近赤外-可視用 04 ONI シリーズ
2/3インチ以下のCCDカメラ（C マウント付き）
対応するCCDカメラ
TVアダプタ
0.5倍、および2.0倍が取り付け可能
反射照明用の光学系
開口絞り付きテレセントリック照明
顕微鏡
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電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
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C
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W24.17
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
光学システム
アマ
クシ
セン
サビ
リジ
ョ
ン
レ
ン
ズ
お
よ
び
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OEM
レ
ー
ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
53.2
中間像位置
カメラ用
ポート
（Cマウント）
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
ファイバー
照明用ポート
中間像位置
φ43
17.5
中間像位置
M4 タップ
（6ヶ所、27間隔）
53.1
92
156.5
152.5
カメラ用
ポート
（Cマウント）
レーザー用
ポート
17.5
ファイバー
照明用ポート
224.4
M4 タップ
（6ヶ所、27間隔）
76
47
虹彩絞り
調整レバー
虹彩絞り
調整レバー
50
単位：mm
φ56
213.4
49
顕
微
鏡
79.6
単位：mm
観察用 顕微鏡鏡筒ユニット
47
50
レーザー加工用 顕微鏡鏡筒ユニット
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
W24.18
顕微鏡
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光学システム
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OEM
対物レンズホルダ
アマ
クシ
セン
サビ
リジ
ョ
ン
レ
ン
ズ
お
よ
び
Microscope Objectives Holders
レ
ー
ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
顕微鏡対物レンズは、レーザービームの集光レンズとして簡
便によく使われています。この顕微鏡対物レンズホルダは、
RMS 規格ネジ
RMS規格（0.8インチ、36 TPI）のタップが切られており、顕
φ15.5
23
微鏡対物レンズその他の光学部品をミラーマウントや位置決め
装置に取り付けるのに便利です。
7
16
単位：mm
すべてのホルダは黒色アルマイト処理されたアルミニウム
φ16
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
07 HMO 505 16 mmセルホルダ用 対物レンズホルダ
製です。これらのホルダはミラーマウント、マウンティングポ
スト、16 mmのセルホルダにそれぞれ互換性があります。
RMS 規格ネジ
M2用穴
4ヶ所）
（ピッチ20 mm、
25
M6タップ 深さ5.5
φ36
M6
8-32タップ
深さ5.5
2.5
RMS 規格ネジ
25
5
顕
微
鏡
単位：mm
1/4
8-32
34
17
07 MEA 518 マイクロラボ ミラーマウント用
対物レンズホルダ
M4
9
M4タップ 深さ5.5
M2タップ
4ヶ所）
（ピッチ20 mm、
M2用穴
4ヶ所）
（ピッチ20 mm、
1/4-20タップ 深さ5.5
単位：mm
07 HMO 001 ポストマウントタイプの対物レンズホルダ
RMS 規格
25
ネジ
2.5
5
50
RMS 規格ネジ
5
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
単位：mm
07 MEA 519 マイクロラボ ミラーマウント用
ロングタイプ対物レンズホルダ
27.5
2.5
15
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
対物レンズ用ホルダ
2.5
2.5（2ヶ所）
製品番号
M2タップ（1ヶ所）
15
5.0
単位：mm
5
20
25
07 HMO 001
07 HMO 503
07 HMO 505
07 MEA 518
07 MEA 519
ポストマウントタイプ
ベース付きマウント
16 mm セルホルダ用マウント
2.5
ミラーマウントアダプタ
07 HMO 503 ベース付き対物レンズホルダ
ミラーマウントアダプタ（ロングタイプ）
顕微鏡
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07 HMO・07 MEA
W24.19
HMO・MEA
ラ
イ
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ド
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ァ
イ
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光学システム
アマ
クシ
セン
サビ
リジ
ョ
ン
レ
ン
ズ
お
よ
び
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OEM
分解能テストターゲット
Resolution Test Targets
レ
ー
ザ
ー
用
ア
ク
セ
サ
リ
光学システムの性能や写真技術における数値的公差を定め
仕様：分解能テストターゲット
る必要がある場合、分解能テストターゲットが一般的に使用さ
基板サイズ
れています。このテストターゲットにおいては、1 mmあたりの
干
渉
計
用
ア
ク
セ
サ
リ
ラインペアの数が、7 段毎に倍になっています。
（ラインペアは
タイプ
隣接する明るい棒線と暗い棒線のペアのことです。
）1 つのグル
パターン
ープは互いに直行する二方向の（3ラインペア）パターンで構成
レンジ
されています。
50×50×1.5 mm（USAFパターン）
63.5×63.5×1.5 mm（NBSパターン）
真空蒸着
USAF 1951およびNBS 1963 A
228ラインペア/ mm（USAFパターン）
18ラインペア/ mm（NBSパターン）
■ NBS 1963 A のパターン上の数値は、1 mmあたりの
ラインペアの数を示す
■ USAF テストターゲットは、1 mmあたりのラインペア
1.0
の数を割出すために下記の表が必要
4.5
5.6
6.3
顕
微
鏡
2.5
3.2
2.2
3.6
7.1
8.0
0
1
2
3
4
5
6
3
2
3
2
3
2
2
3
4
5
6
4
5
6
4
5
6
3
1
2
3
4
5
6
2
1
1
2
3
4
5
6
2
1
1
2
3
4
5
6
2
3
2
3
2
3
2
2
3
0
1
4
5
6
4
5
6
4
5
6
1.1
1
0
1
2
スア
ペパ
イー
シチ
ャャ
ルー
フお
ィよ
ルび
タ
ー
2.8
5.0
3
1
2
3
4
5
6
2
1
1
2
3
4
5
6
2
1
9.0
4.0
2.0
10
1.8
1.25
0
1
1.4
1.6
NBS テストターゲット
USAF テストターゲット
1 mmあたりのラインペアの数（ lp / mm ）
電
子
シ
ャ
ッ
タ
ー
ラ
イ
ト
ガ
イ
ド
フ
ァ
イ
バ
ー
グループ番号
要素
番号
0
1
2
3
4
5
6
7
1
2
3
4
5
6
1.00
1.12
1.26
1.41
1.59
1.78
2.00
2.24
2.52
2.83
3.17
3.56
4.00
4.49
5.04
5.66
6.35
7.13
8.00
8.98
10.10
11.30
12.70
14.30
16.0
17.95
20.16
22.62
25.39
28.51
32.0
36.0
40.3
45.3
50.8
57.0
64.0
71.8
80.6
90.5
102.0
114.0
128
144
161
181
203
W24.20
TRN・TRP
228
分解能テストターゲット
製品番号
USAF 1951 クローム、ポジティブ
USAF 1951 クローム、ネガティブ
NBS 1963A クローム、ポジティブ
04 TRP 003
04 TRN 003
04 TRP 005
顕微鏡
04 TRN・04 TRP
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C
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