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真空加圧リフロー炉 VSU-2823p
真空から加圧まで幅広い圧力範囲でプロセス構築が可能
ギ酸対応真空加圧リフロー炉
特長
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10Pa程度の真空から4.0barまでの加圧に対応
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最大650℃までの加熱に対応
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窒素ガスとギ酸を混合するバブラー内蔵
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測定データ解析用PCソフトウェア標準装備
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3つのガスラインを標準装備
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最大4つまでの熱伝対が取り付け可能
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タッチパネルによる簡単操作およびレシピ作成
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時間、温度、圧力ベースで柔軟なプロセス構築が可能
基本仕様
写真はチラー付スタンド他オプション付属仕様
加熱エリア
260mm x 210mm、H45mm
加圧設定範囲
大気圧～4bar
真空（減圧）設定範囲
10Pa～大気圧
設定温度
最大650℃（観察窓付き仕様は最大450℃）
ヒーター温度昇降速度
Max.250℃/分、昇温速度設定可
真空系
KF16 真空ポート、制御用真空ゲージ内蔵
寸法
550mm(W) x 650mm(D) x 500mm(H)
重量
約 50 kg
電源
3相200V、16A
その他オプション
真空ポンプ、本体冷却用チラー
株式会社 シンアペックス 電子機器部門
〒394-0004 長野県 岡谷市 神明町3丁目21-2
TEL: 0266-22-9192 FAX: 0266-22-7053
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