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Nanotech 250UPLv2
ムーアナノテクノロジー
小型超精密2軸CNC ダイヤモンド旋盤
オプションのC 軸、B 軸、Y 軸を追加することで、
3 軸または 4 軸加工機に拡張可能
New
Major Technology Advancements
● 全回転範囲で回転精度12.5nm 以下を保証する新しい多孔質グラファイトエアーベアリングスピンドルを標準搭載
● 業界をリードする 8.4pm（0.0084nm）の分解能を持つリニアスケールフィードバックシステム
● C 軸分解能は0.01 秒
● 最高速10,000 回転までのヘビーデューティーワークスピンドル（最大ワーク荷重：85kg@spindle nose）を採用。
ダイヤモンド切削に加えオプションで研削も可能（冷却装置はオプション )
● 250UPLv2 はオプションの Y 軸、回転軸 B 軸とスピンドルに位置決め機能を持たせた C 軸を加えた最大 4 軸構成に
拡張可能。他のオプションとしてファストツールサーボなど
● プログラムソフト「NanoCAM 3D」をインストールすることで、X、Z、C の同期制御を使ったスロースライドサーボ
加工による様々な光学自由曲面の加工も可能
● CNC システムは Delta Tau Data Systems社製 Power PMAC 64bitモーションコントローラーを搭載
● CNC システムは1分間あたり最大 40,000 行のプログラム先読みが可能
● 22 インチ ワイドスクリーンと業界初のタッチ/ スワイプスクリーンでの操作が可能な Power NC
TM
トローラー（Nano SMART ）
● 油圧系統と空気圧系統をまとめたコンパクトなユーテリティーキャビネット
● 最大加工径 300mm（標準）
Air Bearing Rotary B-axis
Removable Liner Y-axis
Fast Tool Servo System
TM
HMI コン
Nanotech
Specif ication
2014 年 12 月現在
機械全般
詳 細
システム構成
Ｔ字スライド構成の 2軸、3軸、4 軸超精密 CNC 旋盤
最大加工径
直径 300 mm × 長さ 200 mm（オプション B 軸使用時は最大加工径 150 mm）
ベース構造
天然黒グラナイト
防振装置
最適位置に配置されたパッシブエアー式防振装置
コントロールシステム
Delta Tau 1GHz Power PMAC 64bit CPU CNC モーションコントロ−ラー（Nano SMART ）
Intel i5 2.4GHz Windows 7 Professional 64-bit 16GB DDR3、1.6GHz メモリー、DVD-RW
22 インチカラーマルチタッチディスプレイ
プログラム分解能
0.01 nm リニア / 0.0000001°回転
加工性能
材料 • 高純度アルミ材を使用（形状精度および表面粗さは同一テストサンプルを使用）
形状精度（P • V）: ≦ 0.1μm/ 直径 75 mm、250 mmR 凸球面、表面粗さ（Ra）: ≦ 2.0 nm
TM
（レーザー干渉計および白色干渉計で測定）
主軸ワークスピンドル
ヘビーデューティー（標準）
タイプ
米国 PI 社製 多孔質グラファイトジャーナル製エアーベアリング
液冷装置（オプション）
温度安定性とツール中心繰り返し精度維持のために、クローズドループチラーはエアースピンドルのジャーナルおよびモーター部分を
温度制御した液体で冷却 / チラーは液温を PID 制御で±0.5°F（±0.28℃）に制御。流量は CNC コントローラーからソレノイドを制御
回転速度範囲
50 ∼ 10,000 rpm
最大加工径
300 mm（標準）
最大負荷（半径方向）
85 kg ＠0.7 MPa
最大負荷（軸方向）
180 kg ＠0.7 MPa
軸方向剛性
438 N/μm @0.7 MPa
半径方向剛性 (＠spindle nose)
130 N/μm @0.7 MPa
駆動システム
フレームレス、ブラシレス DC モーター
回転精度
軸方向≦ 12.5 nm、半径方向≦ 12.5 nm
/ 102 kg ＠1.0 MPa
@spindle nose
Z 軸
X 軸
直線軸
タイプ
ストローク
@spindle nose
Y 軸（垂直軸） - オプション -
箱型油静圧軸受
油静圧軸受（エアーベアリング式カウンターバランス付）
200 mm
100 mm
ブラシレス DC リニアモーター
駆動システム
レーザーホログラフィックリニアスケール
フィードバックタイプ
0.0084 nm（8.4 pm）
フィードバック分解能
1,500 mm/min
4,500 mm/min
フィードレート
全域で 0.2μm
真直度精度
小型、低流量、低圧力のクローズドループサーボ制御式油供給装置
静圧油供給装置
オプション回転軸
B 軸
タイプ
C 軸
溝補正型エアーベアリング
多孔質グラファイト エアーベアリング（液冷）
360 °（両方向）
回転駆動範囲
ブラシレス DC モーター
駆動システム
軸方向剛性
280 N/μm
半径方向剛性
100 N/μm
ワークスピンドルに同じ
ワークスピンドルに同じ
≦±1.0 arc second（補正後）
位置決め精度
0.005 arc second
フィードバック分解能
最大速度（位置決めモード）
回転精度
0.01 arc second
50 rpm
3,000 rpm
軸方向≦ 0.05μm、半径方向≦ 0.05μm
軸方向≦ 12.5nm、半径方向≦ 12.5nm
ユーティリティー
●温
度：最適加工結果のために温度安定性は ±0.5 °C 以内 ● 本体サイズ：約 1.5 m（W）×1.3 m（D）×1.6 m（H）
● エ ア ー：圧力 0.7 - 1.0 MPa
流量 280 L/min ● 電
● 装置重量： 約 1,500 kg 力：230 VAC 50/60 Hz 単相（ 35 A）
※本体サイズは機械本体のみのサイズです。 ※装置重量は本体のみ（オプション等含ず）の重量です。
オプション
（※オプションは機種により異なります。お問い合わせください）
Factory Options
Additional Accessories
● C 軸（ワークスピンドル ポジション コントロール）
● 光学式ツールセッティングシステム
● 光学式観察パッケージ
● エアーベアリング回転 B軸
● 3D タッチプローブ
● 自動レべリングシステム
● Nanotech ファストツールサーボ（NFTS-6000）
● クーラントシュラウド
● NanoMETER - ナノメーター
● シアーダンプド防振装置
● 電気マイクロおよびマグネットスタンド
● 機上測定装置および形状エラー補正システム（WECS）
● エアーシャワー温度制御装置
● ハンドヘルド操作ペンダント
● NanoBalance - ナノバランススピンドルバランスソフト
● 60K rpm PI ISO2.25 研削ミリングスピンドル
● 微小高さ調整付工具台（ツールホルダー）
● NanoCAM 2D Basic/Full
● デュアルノーズツールホルダー
● NanoCAM 3D プログラミングソフトウェア
〒332-0012 埼玉県川口市本町 4 -1- 8 川口センタービル 5階
Tel : 048-227-4688 Fax : 048-227-4622
URL : http://www.enablekk.com E-mail : [email protected]
製品の仕様は予告なく変更される場合があります。予めご了承ください。
2014-01-NA(25UV2)-000