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半導体石英ガラス製品
高純度・高精度 石英製品シリーズ（4-12 Inch 用）
GE 社、コーニン社の輸入材から、中国製高純度溶融石英材まで、お客様の要望に対応いたします。
中国上海にある弊社の提携先は精密石英ガ
ラス製品のメーカーで、各種半導体、ソーラー、
真空、光ファイバー、電子工業用大型、高精密
石英製品の製造実績経験は 11 年もあり、日本と
海外に輸出実績があります。
従業員 140 人、ISO9001:2008 認定が取得済み。
４－１２Inch の半導体、ソーラー用石英カセット、
石英炉心管、洗浄槽、石英リング、石英フラン
ジ、石英ウエハが主力製品です
製品案内
 石英カセット、石英炉心管、洗浄槽
炉心管：MaxΦ450*3500mm
石英カセット：４－８インチ用
ルータ株式会社 精 密機器事 業部
www.ro uterway.jp
〒2 2 2-0033 横浜市港北区新横浜 2 - 5 -4 京浜建物第二ビル 5F
E- mail: i nfo@ro ute rway.jp
T EL： 045 - 548 -8980 / FAX： 045 - 548 -8981
半導体石英ガラス製品
 高純度溶融石英リング、大きい石英板は半導体事業、光通信業によく応用されています。
石英リング：MaxΦ580mm 厚さ：2-20mm
石英板：Max2000*1000mm 厚さ：4-30mm
ルータ株式会社 精 密機器事 業部
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半導体石英ガラス製品
 高精度平面石英基板、覗き窓
平面度：0.001mm まで、薄さ 1mm～
加工環境と保有設備
100 クラスクリーンルーム
バーナー工作現場
バーナーポリシュ
熱処理炉 全長５M
CNC 加工機
高精度光学ポリシュ機
拡管加工
純水装置
3D 測定機
ルータ株式会社 精 密機器事 業部
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