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PFS057JPo
エレクトロニクス用
エンフロン
フォトレジスト、有機溶剤およびプロセスガスのろ過
“エンフロン”は、PTFEメンブレン（0.05、0.1、0.2、0.45、1.0
μmのろ過精度）とポリプロピレン製部品で構成されています。これ
らの材質により、幅広い耐薬品性があり、フォトレジストを始めと
するリソグラフィープロセスで使用される有機溶剤、さらには洗浄
プロセスで使用されるIPAをはじめとする洗浄液の精密ろ過に適し
ています。また、流量特性が優れているために、コンパクトサイズで、
窒素ガス、乾燥エアのろ過が可能です（FRグレード）
。＊1＊2
特長
●低い圧力損失
●全品フラッシング済
●0.05μmから1.0μmまでの5種類のろ過精度
●ガスでのろ過精度は3nm（0.003μm）
（FRグレード）
利点
●コンパクトサイズで優れた除去効果
●端切り量の低減が可能
●より高純度なろ過が可能
●プレフィルターからファイナルフィルターまでのシステム設計が容易
■流体適合性
■材質
構成部品
“エンフロン”は、幅広い耐薬品性を有していますが、
90℃以上の流体のろ過や高濃度硫酸／過水のろ過に
は、オールフッ素樹脂製“エンフロンPF”をお奨めし
ます。また、流体適合性はそれぞれの使用条件により
異なるため、事前に使用条件をご確認ください。
材 質
フィルターメディア
PTFE
メディアサポート
ポリプロピレン
サポートコア
ポリプロピレン
アウターケージ
ポリプロピレン
エンドキャップ
ポリプロピレン
■仕様
カートリッジ種類＊3
ろ過表面積（m2）
最高使用温度
ろ過精度
50℃
51℃∼90℃
グレード
0.05μm
0.1μm
0.2μm
0.45μm
1.0μm
FDE
FTE
FRE
FXE
FNE
耐差圧
（MPa）
AB1
MCY1001
MCY4463
MDY2230
0.88
0.86
0.31
0.15
90℃
0.55
0.34
0.55
0.34
0.55
0.34
0.55
0.34
○
○
○
○
○
―
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
＊1 フィルター選定時に必ず流体適合をご確認ください。
＊2 長期使用により部品は劣化します。定期的な交換をおすすめします。
＊3 オールディスポーザブルタイプのDFAフィルターに関しては、カタログNo.PFLT006をご参照ください。
（注）エンフロンはポール社の登録商標です。（商標登録第2612160号）
エンフロン
Ｏ‐リングタイプ
製品型式：AB 1
1
2
3 E
4
2
3
4
コード
ろ過精度
（μm）
コード
Ｏ‐リング規格
コード
Ｏ‐リング材質
FD
0.05
7
AS568A-226
H4
シリコン
10
FT
0.1
8
AS568A-222
HF
耐酸用フッ素ゴム
20
FR
0.2
3
AS568A-222
J
EPDM
30
FX
0.45
FN
1.0
コード
カートリッジ長さ
（インチ）
1
2
3
H11
カルレッツ
＊4
＊4 デュポン社の商標
内部Ｏ‐リングタイプ
ガスケットタイプ
製品型式：MCY4463 5 E 6
製品型式：MCY1001 7 E 8
製品型式：MDY2230 5 E 6
5
6
7
8
ろ過精度
（μm）
コード
Ｏ‐リング材質
コード
ろ過精度
（μm）
コード
ガスケット材質
FD
0.05
H4
シリコン
FR
0.2
H13
NBR
FT
0.1
HF
耐酸用フッ素ゴム
FX
0.45
H
フッ素ゴム
0.2
J
EPDM
FN
1.0
J
EPDM
コード
FR
FN
H11
1.0
カルレッツ
＊4
■流量−圧力損失特性
水
（20℃）
0.02
FR
0.01
FX
FN
0
10
20
0.02
0.01
FN
0
30
FR
5
0.03
FR
0.02
0.01
0
10
FD
0.03
MC
Y4
46
3F
D
FT
FT
初期圧力損失（MPa）
0.03
MDY2230
AB
1F
D、
FT
MCY4463
初期圧力損失（MPa）
初期圧力損失（MPa）
AB1、MCY1001
FN
1
2
3
4
5
流 量（L/min）
流 量（L/min）
MCY4463
MDY2230
流 量（L/min）
6
FT（
0.005
0
0 .7 M
）
PaG）
.21M
FR（0
aG）
P
FR（0.7M
1
2
3
0.005
FR（0.7
0
3
0.5
1.0
M PaG
1.5
）
）
0.
21
M
Pa
G
）
0.01
0.01
FT
（
PaG
0.
21
M
Pa
G
FT（
）
aG
MP
0.7
G）
FT（
Pa
1M
0.2
FR（
FT
（
0.01
G）
Pa
1M
2
.
0
初期圧力損失（MPa）
初期圧力損失（MPa）
AB1、MCY1001
初期圧力損失（MPa）
乾燥エア
（21℃）
0.005
0 .7
0
FR（
MP
.2 1
aG
MP
）
aG
）
aG）
.7MP
FR（0
0
3
流 量（Nm /min）
FT（
流 量（Nm /min）
500
1000
流 量（NL/min）
〒163-1325 東京都新宿区西新宿 6-5-1
マイクロエレクトロニクス事業部
エ ナ ジ ー 事業部
TEL.03（6901）5700
TEL.03（6901）5780
大阪営業所
熊本営業所
〒532-0003 大阪市淀川区宮原3-5-36
〒862-0956 熊本市中央区水前寺公園 14-22
TEL.06 ( 6397 ) 3719
TEL.096 ( 382 ) 8420
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2015/03改訂10V