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対応機種
PHEMOS-1000
THEMOS-1000
iPHEMOS-MP
TriPHEMOS
EO プロービングユニット
動作波形の取得、同一周波数箇所の抽出により
機能不良箇所の特定を可能に！
EOP 機能
EOFM 機能
Electro Optical Probing Function
Electro Optical Frequency Mapping Function
動作波形を高速取得
特長
指定周波数動作箇所を可視化
パターン像
振幅像
I/Q 像
位相像
特長
様々な計測条件に対応 ( 特許申請中 )
複数画像同時取得による解析時間の大幅な短縮が可能
・ 広い計測帯域 （10 kHz ∼ 1 GHz）
・ 異なる周波数の振幅像
・ 振幅像と位相像
大量サンプリングにより長テストループに対応
・ 最大 50 万点サンプリング
EOP ターゲットの素子特定が容易
独自の処理アルゴリズムにより EOP 波形を高速取得
・ I/Q 像（背景を除去して素子を強調）
・ 位相反応箇所抽出マスク（ノイズ除去）
・ 計測時間 最短 2 秒
用途
位相像アニメーションによる素子動作
タイミングの可視化が可能
用途
動作波形計測
Scan chain の動作不良解析 ( 特許申請中 )
回路動作の追跡
EOP の計測領域判断
デジタル・アナログ回路の動作確認 / タイミング比較
・ 発振回路不良
・ IO 回路タイミング不良
Failure Analysis Systems Option
測定例
■ 目的
400 MHz 動作をしている 28 nmTEG で、遅延しているパスを確認します。
遅延箇所特定のために、EOFM 機能で対象パスの計測位置を抽出して、遅延状態を確認します。
■ 方法
デバイスをクロック 400 MHz で動作させ、EOFM 像でデータレート 50 MHz の不良信号経路中の素子
１から素子６の位置を確認し、それぞれの素子の動作波形を EOP 機能で観測します。
■ 結果
素子１
素子２
素子４
素子３
素子３
素子１
素子４
素子６
素子２
素子５
素子６
信号伝達
遅延
素子５
遅延
5 ns
EOFM 像
EOP 動作波形
素子５と素子６でデューティー比が変化していることが分かり、詳細に波形を検討すると
素子４から素子５の間で立ち上がりに遅延を確認しました。
一方、立ち下がりについては遅延は確認できませんでした。
■ 結論
素子４から素子５の間で立ち上がりのみの遅延が大きいことから、
今回の測定結果は、その間の配線またはビアに遅延を大きくする高抵抗欠陥が存在することを示唆しています。
参考文献
・久米俊浩 , 鈴木伸介 , 鈴木浩司 ,“新機能紹介 EO プロービングユニット・新 IR-OBIRCH アンプ ”, LSI テスティングシンポジウム /2013 会議録 , pp.95-98, 2013
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当社はJIS(C6802)に従い、製造業者が行うべき安全予防対策とし
て、レーザのクラス分けを行い、そのクラスに対応する安全対策および
ラベル表示を実施しています。ご使用の際には使用者としての安全予防
対策もJISに従い実施してください。
”
詳細情報は、
半導体故障解析専用サイトから”
クラス 1 レーザ製品
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ホトニクス 半導体故障解析装置
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