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マグネ ガラス
スケール スケール
マグネスケール付自動ステージシステム
SGSP(MS) Series
マグネスケール内蔵自動ステージSGSP（MS）シリーズはステージコントローラSHOT204MSと接続することでクローズ制御が可能となっています。
マグネスケールにより移動量を検出し補正しているので指令に対する追従性能の高い
制御が可能となっています。
マグネスケールは磁気検出方式を採用することにより、耐環境性（油､汚れ、振動､衝
撃など）に優れた信頼性の高い高精度測長を可能にしたスケールです。
自動ステージには､マグネスケール主部品の特殊磁気性合金製スケールロッドと検出
ヘッド（スライダ）が組み込まれています。
SHOT-204MSではマグネスケール分解能0.5μmより10分割したモータパルス分解
能0.05μmで、クローズドループ制御を行っています。
また､自動セットアップ機能によりステージのパラメータ（ネジリード）などを自動的に
計測し標準的なクローズドループ制御ができるように内部設定（メモリスイッチ）を簡単
に変更することが出来ます。
スケールユニット　SR118（シグマ光機仕様）
ステージ
干渉計
SGSP(MS)33-50
SGSP(MS)20-85
SGSP(MS)26-100
SGSP(MS)26-200
SGSP(MS)33-200
50
4
14±1
5〜40
−5〜45
85
4
14±1
5〜40
−5〜45
100
5
14±1
5〜40
−5〜45
200
6
14±1
5〜40
−5〜45
有効長［mm］
精度（20℃）
〔μmp-p〕
温度係数〔106 /℃〕
使用温度範囲〔℃〕
保存温度範囲〔℃〕
ホルダー
ベース
注 意
光源
手動ステージ
X軸
XY 軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
回転
ゴニオ・傾斜
多軸
M6
直動ガイド
●マグネスケールユニットをステージ本体に取り付ける場合､位置・姿勢などに起因して1〜10μmの誤差
（含バックラッシュ）が発生します。
マグネスケール内蔵自動ステージ　SGSP（MS ）シリーズ
SGSP(MS)20-85
SGSP(MS)26-100
SGSP(MS)26-200
SGSP(MS)33-50
SGSP(MS)33-100
SGSP(MS)33-200
SGSP(MS)46-300
168,000
336,000
186,000
198,000
396,000
221,000
218,000
436,000
241,000
218,000
436,000
253,000
238,000
476,000
273,000
248,000
496,000
283,000
438,000
876,000
488,000
X軸 〔￥〕
XY軸 〔￥〕
Z軸 〔￥〕
SGSP（MS）シリーズ系統図
DMINIS ケーブル
SGSP（MS）シリーズ
GP-IB ケーブル
SHOT-204MS
C448
C507
GP-IB
自動ステージ
ピエゾ
ステッピング
スケール付
ACサーボ
ソフトウェア
ケーブル
オプション
アクチュエータ
RS232C
9P
C508
USB
STAGE1
RS232C
ケーブル（STR）
SGSP（MS）シリーズ
STAGE3
STAGE4
（HP よりダウンロード）
USB ケーブル
・LabVIEW
・SGcommander
SCALE1
SCALE2
コントロールパッド
CJ-200
SCALE3
C448
SCALE4
パソコン接続用 RS232C ケーブル
DZ-252
C508
www.sigma-koki.com
*[email protected]
と
り
ケーブルユニット
C509
ブラケット・
スペーサー
C460
C508
STAGE2
C508
サンプルプログラム
マイクロメータ・
微調ネジ
アクセサリ・
メンテツール
DBCS-15 ケーブル
表示ユニット
LT20-201C
C461
（デテクタボックス）
CH-SIGMA
C507
スケールユニット SR118（シグマ光機仕様） つ
テープ電線
け
ガラス マグネ
スケール スケール
マグネスケール付自動ステージシステム
SGSP(MS) Series
表示ユニット　LT20-201C（2チャンネルユニット）
一般仕様
品番
表示
測定ユニット入力
端子台
LT20-201C
6桁、バックライト付LCD、モード表示
２チャンネル
入 力：リ セ ット、ピ ー ク ホ ー ルド ス タ ート、
12-24V　DC電源
出力：合否判定（オープンコレクタ）
RS232C
RS232C（8pin　ミニDINコネクタ）
リセット、プリセット値設定、現在値・リコール、
ピークホールドスタート、
コンパレート値設定、現在値・最大・最小・p-p
の選定と出力
EXT、IN
EXT、IN端子（ミニジャック）
データ出力スタート
リセット機能
リセットキーおよび外部入力（端子台）
プリセット機能
プリセットキーでプリセット値設定、リセットキー
でリコール、RS232Cコマンドで設定・リコール
電気仕様
3段コンパレータ
キースイッチによりコンパレータ値設定
合否判定：LED表示および端子台出力（オープン
コレクタ）RS232Cは設定、スタートとも対応
ピークホールド機能
最大値、最小値、p-p値
端子台のスタート入力により測定開始
RS232Cは設定、スタートとも対応
①コネクタ仕様
ホシデン㈱製　TCP8938プラグ
ピン№
１
2
3
4
5
6
7
8
9
10
0.0005mm、0.001mm、0.005mm、0.01mm
選択
表示分解能
0.0005mm、0.001mm、0.005mm、0.01mm
選択
ディレクション
最大応答周波数
切り替え可能
2.5MHz（A 相とB相の位相差において）
和差機能
A＋B、A-B、B-A の選択はティレクションの設
定で対応
使用温度範囲
保存温度範囲
消費電力・電源
質量
付属品
0〜40度
−10〜50℃
6W（DC10.8〜26.4V）
300g
カウンタストッパ
コントローラ側、表示ユニット側 10ピン←→ステージ側　9ピン
4
6
2
1
7
1
2
3
4
5
DC 電源（＋5V）
DC 電源（ー 5V）
赤
GND
白
A 相出力
B 相出力
6
7
8
9
10
アラーム出力
橙
黄
青
灰
GND
GND
ケーブルユニット（デテクタボックス）
CH-SIGMA
光源
ピン配列
手動ステージ
X軸
XY 軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
回転
ゴニオ・傾斜
多軸
M6
直動ガイド
750Ω
750Ω
＋5V
A
B
アラーム
74HC14
1
1
2
2
3
3
4
4
5
5
6
6
7
7
8
8 NC
9
9 NC
赤
白
青
黄
橙
灰
1
2
3
7
6
5
エキサイト
信号
チャンネル 1
信号
チャンネル 2
信号
4 NC
マグネスケール内蔵ステージ
SGSP（MS）シリーズ
注1）デテクタボックスではマグネスケールからの出力信号を計測、制御に適した電気信
号に変換しています。
CH-SIGMA
注 意
●デテクタボックス—10ピンコネクタ間0.3mです。
●デテクタボックス—D-sub9ピンコネクタ間1m又は3mです。
ベース
3
D-sub 9 ピン
ヒロセ電機（株）製相当品
TCP8938
ホシデン（株）製
Stage
SGSP（MS)
5
10
③出力信号仕様
TTL 信号
デテクタボックス
CH-SIGMA
9
②電源仕様
電源電圧：+5V±5％、-5±5％
消費電流：+5V：120mA 以下､-5V：75mA 以下
表示ユニット
SHOT-204MS
表示ユニット
LT20-201C
8
④推奨接続回路
74HC14などのシュミット回路で
受けてください。
ケーブルユニット（デテクタボックス）
Cable
ホルダー
適用ソケット：ホシデン㈱製 TCS7705-502010
⑤アラーム出力
ハイアクティブです。
最 短9msHigh状 態 になり、ア
ラーム状態が解除されていれば
Low 状態に戻ります。
Controller
干渉計
内容
線材色
DC電源（＋5V）
赤
DC電源（-5V）
白
GND
黒
A 相出力
黄
B相出力
青
接続禁止
緑
接続禁止
茶
アラーム出力
灰
GND
紫
GND
橙
4.7kΩ
コンパレータ機能
入力分解能
DINサイズに機能を凝縮し､ワンタッチでパネルマウントが可能な､小型、
軽量表示ユニットです。
自動ステージ
ピエゾ
ステッピング
スケール付
ACサーボ
ソフトウェア
ケーブル
オプション
アクチュエータ
マイクロメータ・
微調ネジ
ブラケット・
スペーサー
アクセサリ・
メンテツール
注2）マグネスケールとデテクタは電気調整が必要ですので必ず一体でご使用ください。
ご案内
●価格、納期につきましては別途お問合せ下さい。
, 付属ビス
C461