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X線用高感度ＣＣＤ検出器
X線用高感度CCD検出器
DOタイプ (ICF152フランジ標準装備)
0.01 keV∼100 keVのエネルギー検出に最適
Andor Technology社のX線CCD検出器は、0.01 keVから100 keVまでの広い範囲をカバーします。16 bitダイナミックレンジ
と高感度CCDセンサーで微弱なＸ線も検出可能です。検出器は直接検出用DO、DX型（0.01 keV∼10 keV）
と間接検出用の
DY型（5 keV∼100 keV）
、
そしてファイバーカップリングのDHタイプがあります。
特長
■ 高感度90％以上 QE @1.8 keV（直接検出BVセンサー）
■ −100℃まで冷却可能（DOタイプ）
■ 16 bitダイナミックレンジ
■ 低ノイズ、 0.00012 e-/pixel/s (DO934P)
■ ヘッドは4種類
・オープンフロントエンドのDOタイプ（ICF152フランジ標準装備）
DXタイプ (真空チャンバー内用)
・ファイバーカップリングのDHタイプ
・真空チャンバー内使用のDXタイプ
・ベリリウム入力窓、
フォスファーコートのDYタイプ
DYタイプ (フォスファーコーティングタイプ)
［　X線用CCDの各タイプにおける検出波長領域　］
124
波長 (nm)
1.24
12.4
0.124
0.0124
Phosphor Coating
FI-DD
FI
エネルギー換算
λ = 1.24÷E
λ： 検出波長 (nm)
E ： 波長が持つエネルギー (keV)
BV
BN
0.01
VUV
0.1
XUV
13　X線用高感度ＣＣＤ検出器
1
Soft-X-ray
Energy / keV
10
Hard X-ray
100
X線用高感度ＣＣＤ検出器
波長 (nm)
100
124
12.4
1.24
0.124
0.124
BN [15 μm epitaxial]
BR-DD [40 μm epitaxial]
量子効率 (%)
FI [15 μm epitaxial]
50
0
10
100
1000
フォトンエネルギー / eV
10000
100000
量子効率曲線
10000
100
1000
量子効率 (%)
生成電子数
BV
FI
100
10
0.1
1
フォトンエネルギー (keV)
10
50
0
200
300
フォトンエネルギーに対する生成電子数
400
500
600
700
波長 (nm)
800
900
1000
1100
FOタイプ量子効率曲線図
透過率 (%)
100
50
0
1
10
フォトンエネルギー (keV)
100
ベリリウム入力窓透過率
X線用高感度ＣＣＤ検出器　14
X線用高感度CCD検出器
■ DX型 (真空チャンバー内用)仕様
型名
DX420
DX440
DX434
DX436
素子数
1024×255
2048×512
1024×1024
2048×2048
素子サイズ (μm)
26×26
13.5×13.5
13×13
13.5×13.5
検出面積 (mm)
26.6×6.7
27.6×6.9
13.3×13.3
27.6×27.6
読出しノイズ
(rms,e- 代表値)
4 (@31 kHz)
2.5 (@31 kHz)
7.5 (@1 MHz)
7.5 (@1 MHz)
最低冷却温度 (空冷)
(℃, 代表値)
(水冷)
ー80
ー100
0.0005
(FI、＠－100℃)
暗電流
(e-/pixel/sec, 代表値)
ー60
ー75
0.00014
(＠－100℃)
0.00023
(－100℃)
16
ダイナミックレンジ(bit)
フィードスルー
有り (ICF152 フランジ)
PCI
インターフェイス
センサータイプ
0.002
(＠－75℃)
FI,BN,FI-DD,BR-DD
BN
FI,BN
BN
＊暗電流はセンサータイプによって異なります。詳細は弊社へお問い合わせください。
■ DO型 (ICF152フランジタイプ)、DY型 (ベリリウム窓タイプ)仕様
型名
DO920P
DO940P
1024×255
2048×512
素子サイズ (μm)
26×26
検出面積 (mm)
26.6×6.7
読出しノイズ
(rms,e- 代表値)
DO936N
DY920P
DY940P
1024×1024
2048×2048
1024×255
2048×512
13.5×13.5
13×13
13.5×13.5
26×26
13.5×13.5
13×13
13.5×13.5
27.6×6.9
13.3×13.3
27.6×27.6
26.7×6.7
27.6×6.9
13.3×13.3
27.6×27.6
窓無し(ICF152 フランジ)
窓タイプ
素子数
DO934P
DY936N
ベリリウム窓
1024×1024 2048×2048
4 (@50 kHz) 3.5 (@50 kHz) 18 (@5 MHz) 31.5 (@5 MHz) 4 (@50 kHz) 2.5 (@50 kHz) 18 (@5 MHz) 31.5 (@5 MHz)
最低冷却温度 (空冷)
(℃, 代表値)
(水冷)
ー80
ー100
暗電流
(e-/pixel/sec, 代表値)
0.0005
0.00007
0.00012
0.00059
(FI、＠－100℃) (FI、＠－100℃) (FI、＠－100℃) (FI、＠－100℃)
ー35
ー55
ダイナミックレンジ(bit)
0.0174
(FI、＠－55℃)
0.0024
(FI、＠－55℃)
0.0435
(FI、＠－55℃)
0.0175
(＠－55℃)
16
インターフェイス
センサータイプ
DY934P
USB2.0
FI,BN,BR-DD
FI,BN
FI,BN,BR-DD
FI,BN
FI,BN,BR-DD
＊暗電流はセンサータイプによって異なります。詳細は弊社へお問い合わせください。
■ DH型 (ファイバーカップリングタイプ)仕様
型名
DH420-FO
DH440-FO
DH434-FO
DF936N-FB
960×255
1855×512
1024×1024
2048×2048
素子サイズ (μm)
26×26
13.5×13.5
13×13
13.5×13.5
検出面積 (mm)
25×6.7
25×6.9
13.3×13.3
27.6×27.6
読出しノイズ
(rms,e- 代表値)
4 (@31 kHz)
3 (@31 kHz)
6.5 (@1 MHz)
31.5 (@5 MHz)
有効素子数
ADコンバーター速度 (Hz)
暗電流
(e-/pixel/sec, 代表値)
ー35
0.3 (＠－35℃)
0.2 (＠－35℃)
ファイバーカップリング
インターフェイス
ー30
0.8 (＠－30℃)
1:1
USB2.0
PCI
センサータイプ
＊暗電流はセンサータイプによって異なります。詳細は弊社へお問い合わせください。
15　X線用高感度CCD検出器
5 M / 3 M / 1 M / 0.05
1 M / 500 k / 62 k / 31 k
最低冷却温度
(℃, 代表値)
FI
X線用高感度CCD検出器
■ DO934P　寸法図
Rotatable flange
indexable for hole or
slot to 12 o’clock position.
2 off water connectors
to suit 6.0 mm I.D. hose
47.0 [1.85]
Light tight,
pressure balancing
hole
M8&5/16 UNC
Clearance hole
Knife Edge Φ113.9 [4.48]
Φ151.6 [5.96]
Position of pixel 1.1
CF152
Flange
Rotation index block
42.5 [1.67]
Image Plane
of Sensor
Filter Holder
with bayonet twist
fitting for ease of
insertion and removal.
Suitable filter:
Φ45.5 [1.79]
x Max.1 [0.04]thick
O-Ring sealed
Φ35 [1.38]clear aperture
Fire SMB
Note:
Filter not supplied as standard
External Trigger SMB
Shutter SMB
3.2 [0.12]
Power
197.1 [7.76]
2
IC
USB
105.0 [4.13]
Rear connector panel
Weight:4.9kg [10 lb 13 oz]
■ DY920 / 940P　寸法図
Dimensions in mm[inches]
50.0 [1.97”]
47.0 [1.85”]
Water connectors
2 off 6.0mm internal
diameter soft PVC hose
Access pockets
for faceplate mounting
holes
Detector position
45.4 [1.792”]
52.0 [2.05”]
O’ring Φ54.4 [2.14”] internal
1.8 section [0.06”]
19.4 [0.76”]
10.0+/-0.4 [0.39”]
90.0 [3.54”]
101.2 [3.99”]
200 [7.87”]
■＝ピクセル 1 location
25.4 [1.0]
3 off mounting holes
1/4-20 UNC×3/8 deep
Fire
Ext tring
Shutter
I2C
Power
USB2.0
Rear connector panel
25.4 [1.0]
118.9 [4.68”]
94.0 [3.70”]
4 off Φ4.0 [0.16”]
faceplate mounting holes
4.0 [0.16”]
22.0 [0.87]
X線用高感度CCD検出器　16