1. No category

2014年10月1日改定
装置
番号
備考
施設等名称
FEP：Front End Process
BEP：Back End Process
標準レシピを使用する場合
(Simple Case)
共用施設
等使用料
役務
チューニングが必要な場合
技術 共用施設 技術
指導費 等使用料 代行費
技術
指導費
（円/枚回） （円/枚回） （円/時間） （円/時間） （円/時間） （円/時間）
AB08-01
AB08-04
AF01-02
AF01-03
AF01-04
AF01-05
AF02-02
AF02-03
AF02-06
AF03-01
AF03-02
AF03-03
AF03-06
AF03-08
AF03-09
AF03-10
AF03-11
AF03-12
AF03-14
AF03-16
AF03-17
AF04-01
AF04-02
AF04-03
AF04-04
AF04-05
AF04-06
AF04-07
AF07-01
AF07-02
AF07-03
AF07-04
AF07-05
AF07-06
AF07-07
AF07-08
AF07-09
AF07-10
AF07-11
AF08-01
AF08-02
AF08-03
AF08-11
AF08-12
AF08-14
AF08-16
AF08-18
AF08-19
AF08-402
AP01-101
AP03-101
AP03-105
AP04-101
AP06-101
AT02-01
AT03-01
AT06-01
AT07-01
AT07-02
B02-01
B02-03
B02-101
B03-02
B03-06
B03-07
B04-01
B06-101
B06-102
B07-101
B08-02-01
B08-02
B08-04
B08-06
B08-08
B08-12
B08-21
B10-01
B10-03
B10-06
B12-101
分光エリプソ GES5-IR
抵抗率測定器 VR120S
レジストコータ ASC-400DH
縮小投影型露光装置 NSR-2205i11D
塗布・現像処理装置 SK80BW-AVP
電子ビーム露光装置 F511MR01
アッシャー RAM-6500R
エッチング装置 E642
高密度プラズマエッチング装置 NE550C
ポリシリコン成膜装置 DJ-833V-4B
絶縁膜成膜装置 DJ-833V-4B
層間膜成膜装置 DJ-833V-4B
多元系複合酸化物成膜装置
原子制御金属電極成膜装置 （VCE-AM3308P)
ｽﾊﾟｯﾀ装置（ISP-2000-LC3）
極微細ゲートスタック形成前後処理装置 DJ-1207S
縦型減圧ＣＶＤ装置 GENESYS-21
縦型ＬＰ－ＣＶＤ装置 DJ-853-4B
ヘリコンスパッタ装置 MB04-1019
真空蒸着装置
極薄膜ゲートスタック形成装置 SERAPHIC-21
横型拡散装置 DD-9300V
高誘電率膜欠陥低減処理装置 RLA-1208-V
ランプアニール装置 RLA-1208-V
ＲＴＰ装置
UHV-RTP
８インチ枚葉ＲＴＰ装置 SERAPHIC-21
急速熱処理装置 Aｓ－One１００
前処理洗浄ドラフト装置 DC1
フッ酸洗浄ドラフト装置 DC３
酸アルカリ洗浄ドラフト装置 DC４
硫酸洗浄ドラフト装置
酸ドラフト装置 DC５
写真用ドラフト装置 DC6
汎用有機ドラフト装置 DC7
前洗浄用スピンドライヤ装置 ＡＴＹ-2Ａ08
写真用スピンドライヤ装置 SPD-402
後処理用スピンドライヤ装置 ＡＴＹ-2Ａ08
４インチ対応洗浄装置 GrandSlam
ウエハ表面検査装置 LS6600
日立高分解能ＦＥＢ測長装置 S-9260A
干渉式膜厚計 NANO6100A
Dektak8
エリプソメータ MARY-102
高誘電率薄膜化学結合状態観測装置 (XPS)
重ね合わせ誤差測定装置
全反射蛍光Ｘ線分析装置
ゲートスタック分析・計測膜構造解析装置
収差補正機能付き高分解能走査透過電子顕微鏡
精密枚葉貼合機
Ge/Si成膜装置 Epsilon2000
プラズマCVD装置(PD-220LCS)
磁場中アニール装置
磁性膜成膜用スパッタ装置
微細加工ＲＩＥ装置
縦型ＣＶＤ装置
高真空対応枚葉式スパッタＲＴＡ装置
汎用酸・アルカリ処理ドラフト
バランサー機能搭載スピンドライヤー
Low-kｴｯﾁｬｰ (TeliusSCCM)
アッシング装置 ICE300型
マルチチャンバー方式エッチング装置 (Centura)
SOD塗布装置 ACT12
PECVD装置 VECTOR
枚葉式プラズマＣＶＤ装置 Eagle-12
縦型アニ－ル炉 VF-5700B
スパッタリング装置 ENDURA2
Cuめっき装置 SABRE　NExT300
Cu_CMP装置 ChaMP-332M
FIB装置 FIB2100
透過電子顕微鏡装置 HD2000
全自動蛍光X線分析装置 PW2820
CVmap測定ｼｽﾃﾑ 3092A
パーティクル検査装置 ＷＭ3000FOUP
走査型電子顕微鏡装置 S-5200形
XRD（X線回折装置）
半導体パラメトリックテスター 4073A
ﾌﾙｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞ P-12XL
ＩＲ－ＯＢＩＲＣＨ解析装置
応力測定装置 (FSM128LC2C)
分析装置
分析装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
100mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
300mmウエハ対応装置
その他
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
分析装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
BEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
BEP用装置
BEP用装置
FEP用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP用装置
Off-Line
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
Off-Line
Off-Line
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
BEP用装置
BEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
FEP/BEP 共用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
Off-Line
Off-Line
BEP用装置
BEP用装置
BEP用装置
Off-Line
BEP用装置
Off-Line
Off-Line
Off-Line
BEP用装置
3,700
2,100
5,200
5,900
4,900
24,700
3,200
4,500
10,700
11,200
11,200
11,400
18,000
18,200
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24,700
11,900
14,100
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13,700
34,200
12,300
15,000
14,800
11,600
11,600
14,900
16,200
6,200
6,200
6,200
6,200
6,200
6,200
6,200
6,200
6,200
6,200
5,200
1,700
13,200
5,200
2,600
3,500
10,700
9,200
10,400
17,700
9,100
12,800
38,000
24,700
6,200
24,700
21,300
21,200
19,900
8,700
3,200
5,200
5,600
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13,700
9,200
8,700
7,900
15,700
19,100
16,700
7,700
8,400
6,200
7,200
8,500
2,600
8,700
1,700
1,700
12,000
6,900
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
300
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
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4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
13,000
12,600
57,200
47,200
53,900
56,900
14,100
63,000
50,300
56,000
56,000
57,000
61,200
72,800
76,000
79,100
47,600
56,400
51,300
41,100
78,700
73,800
45,000
44,400
48,800
48,800
47,700
48,600
31,000
31,000
31,000
31,000
31,000
31,000
31,000
31,000
31,000
31,000
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26,400
15,600
6,800
14,000
26,800
18,400
41,600
35,400
5,100
51,200
76,000
59,300
49,600
49,400
32,000
31,800
39,800
30,500
14,800
54,600
48,200
84,300
61,700
82,800
75,700
58,500
80,100
61,200
61,800
4,700
5,100
13,700
21,600
17,000
5,200
21,800
8,500
8,500
12,000
10,400
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
3,500
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
4,400
2014年10月1日改定
装置
番号
備考
施設等名称
FEP：Front End Process
BEP：Back End Process
標準レシピを使用する場合
(Simple Case)
共用施設
等使用料
役務
チューニングが必要な場合
技術 共用施設 技術
指導費 等使用料 代行費
技術
指導費
（円/枚回） （円/枚回） （円/時間） （円/時間） （円/時間） （円/時間）
F02-101
F03-07
F05-101
F08-04
F10-01
F10-02
H06-03
J4-106
L01-103
L01-104
L08-07
L08-17
M01-02
M01-08
M01-10
M02-01
M02-04
M02-05
M02-06
M02-07
M02-10
M03-01
M03-03
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M03-09
M03-101
M03-14
M04-02
M04-08
M04-101
M05-03
M06-03
M06-04
M07-02
M07-05
M07-07
M07-08
M07-09
M07-101
M07-102
M07-12
M07-13
M07-15
M08-04
M08-05
M08-06
M08-07
M08-10
M08-101
M08-12
M08-17
M08-23
M08-25
M08-27
M08-32
M08-40
M08-41
M08-42
M08-47
M08-50
M08-52
M08-55
M10-01
M10-04
M10-05
M12-06
M12-08
M12-101
M12-102
N03-101
N07-101
P03-103
P08-102
J03-117
J03-114
J03-115
J03-116
プラズマエッチング装置 U-8150
HCD-SIN成膜装置 TELFORMULA-1-HVGN
低エネルギー高精度イオン注入装置 SHX
強力X線薄膜構造評価装置　（ＴＴＲ－Ｉｎ－ｐｌａｎｅ）
セミオ－ト・プロ－バ S300-861
フルオ－トプロ－バ （ＡＭＭ－1000Ｗ+ＵＦ300Ａ）
メタル配線層形成装置　（ＥＮＴＲＯＮ　Ｗ200Ｓ－2Ｔ）
ヘリウムイオン顕微鏡
ＡｒＦ液浸露光装置
ArF液浸レジスト塗布現像装置
高精度測長ＳＥＭ Ｓ９３００
原子間力顕微鏡 SPA400500
塗布・現像装置 SK-3000
塗布・現像装置 ACT-12
ＫｒＦステッパ－ FPA-5000ES3
酸化膜ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 (Telius　T-3055SD)
酸化膜ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 Centura eMax
メタルエッチング装置 Centura DPS
ﾌﾟﾗｽﾞﾏｱｯｼﾝｸﾞ装置 SURPASS320
アッシング装置 μASH300
酸化膜エッチャー (Telius-304DS)
ＨＤＰ－ＣＶＤ成膜装置 SPEED
LP-CVD装置 TELFORMULA-TEOS
PE-CVD装置 EAGLE-12 Rapidfire
LP-CVD装置 TELFORMULA-Poly
枚葉式マルチチャンバＲＴＰ装置 (AMAT)/Radiance
多目的成膜装置（TEL　TRIAS）
枚葉式成膜装置 Trias-SPA
赤外線ランプ加熱装置（VHC-P616CP-S)
縦型酸化拡散炉 ALPHA-303i-K
中電流イオン注入装置 EXCEED2300V
スパッタ装置 (COSMOSI-1201)
枚葉式成膜装置 Trias-W
枚葉式ウェハ洗浄装置 MP3000
スプレー式ウェハ洗浄装置 ZETA300
ダミ－洗浄装置(VENUS)
窒化膜エッチング装置(VENUS)
枚葉式ウェハ洗浄装置 SS3000
枚葉式ウェハ洗浄装置 SU3000
枚葉式ウェハ洗浄装置 SU3000
枚葉式ウェハ洗浄装置 SS3000
枚葉式スピンエッチャ－ SEZ323
バッチ式ウェハ洗浄装置 UW300Z
日立走査電子顕微鏡 S-5000
全反射蛍光Ｘ線分析装置 TREX612
エリプソメ－タ CALIBER300
分光エリプソ薄膜解析装置 ASET-F5
シート抵抗測定装置 オムニマップRS100
分光エリプソ薄膜解析装置 ASET-F5X
薄膜応力測定装置 FML128L
パ－ティクル検査装置 SP1-TBI
段差測定装置　(DekTakV300SL)
抵抗率測定器 VR-120/05
サーマウェーブ測定装置（TP-630)
抵抗率測定器 VR-120/08S
光学顕微鏡 AL3110F
レビューSEM SEMVisionG2
ﾌﾙｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞ P-12XL
半導体パラメトリックテスター 4156＆4284
ウェハ自動搬送外観検査顕微鏡 AL3100
自動濃縮装置 TVD-900
重ね合わせ精度測定装置 Arｃｈer10-AIM
半導体パラメトリックテスター 4073
ｾﾐｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞ S300-561
半導体パラメトリックテスター 4073B
フーリエ変換赤外分光光度測定装置（FTIR　QS-312J)
蛍光Ｘ線分析装置 System3272
ﾐｸﾛ外観検査ｼｽﾃﾑ AL110-12
ﾐｸﾛ外観検査ｼｽﾃﾑ AL120-12
枚葉METAL-CVD装置(DJ-1207S-DB)
STI用CMP装置 (A-FP-3000M)
ドープトシリコン膜用縦型低圧CVD装置（DJ1226V-DF）
シート抵抗測定器　VR300DSE
SEM (日立S-4700)
FTIR
水銀プローバ
TDS
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その他
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