東北大学西澤潤一記念研究センター 財団法人半導体研究振興会(半導体研究所)が2008年3月末に解散し、資産が東北大学に寄付。 2010.4 試作コインランドリ(半導体・MEMS開発のための装置開放)開始 (約1,000m2) 2012.5 仙台MEMSショールームオープン 2012.6 文部科学省ナノテクプラットフォーム事業開始 本館 2013.1 近代技術史博物館オープン 機械棟 本館 研究棟 試作コインランドリ 長谷記念館 仙台MEMSショールーム 2号館 本館 事務棟 延床面積:8,976m2 近代技術史博物館 試作コインランドリ:2階クリーンルームの装置レイアウト 2008年までパワートランジスタ の4インチ製造ラインとして利用 されてきたエリア 2008年に大学が引継いだ装置 新規導入した装置 企業等から寄附いただいた装置 学内から移設した装置 2Fクリーンルーム以外の装置 1F-CR 熱電子SEM X線CTスキャナ 3F-CR 断面FE-SEM EB描画装置 TOF-SIMS めっき装置 Q-mass 超臨界乾燥装置 超音波顕微鏡 KOHウェットエッチング 各種ドラフト パターンジェネレータ 20mm角用スパッタ オゾンアッシング装置 ウェハダイシング装置 2号館1F 1,800 m2 クラス1~1,000 サンドブラスト装置 洗浄、乾燥 酸ドラフト 有機ドラフト ブラシスクラバ スピン乾燥機 ~6” ~6” ~6” 4”, 6” フッ酸/硝酸/硫酸/塩酸等 有機洗浄/レジスト剥離 全協化成 研磨後のウェハ洗浄用 SEMITOOL PSC101 等3台 カセット式 スピン乾燥機 CO2超臨界乾燥機 イナートオーブン 真空オーブン ~6” ~6” ~6” ~6” ヤマト科学 DN63H ヤマト科学 DP-31 東邦化成 ZAA-4 2台 平置き式 SCFluids CPD1100 フォトリソグラフィ パターンジェネレータ レーザ描画装置 スピンコータ スピンコータ ~6” ~9” ~6” ~6” 日本精工 TZ-310 エマルジョン/Crマスク作製 ~1μm ハイデルベルグインスツルメンツ ミカサ 1H-DXII 2台 アクテス ASC-4000 2台 コータデベロッパ ホットプレート クリーンオーブン ポリイミドキュア炉 ~4” ~6” ~6” ~6” キヤノン CDS-630 ポジ用 4台 ヤマト科学 DE62 2台 ヤマト科学 DN43H DWL2000CE ~0.6 µm フォトリソグラフィ ステッパ 両面アライナ 片面アライナ EB描画装置 4”, 6” ~6” 4” ~3” キヤノン FPA1550M4W g線、~0.6µm Suss MA6/BA6 2台 キヤノン PLA-501-FA Raith 50 30nm 現像ドラフト UVキュア装置 スプレー現像装置 EB描画装置 ~6” ~4” ~6” ~6” ウシオ電機 ユニハード UMA-802 アクテス ADE-3000S 真空/メカチャック エリオニクス ELS-G125S Max130keV, ~4nm 酸化・拡散、イオン注入、熱処理 酸化・拡散炉 中電流イオン注入装置 高電流イオン注入装置 ランプアニール装置 ~6” ~4” ~6” ~6” TEL XL-7 P形用、N形用それぞれ1台 日新イオン機器 NH-20SR 200keV、0.6mA 住友イートンノバ NV-10 80keV、6mA AG Associates AG4100 1000℃ メタル拡散炉 ~4” 光洋リンドバーグ Model270 メタル等、多用途の酸化拡散 成膜(CVD、スパッタ、蒸着他) LP-CVD 熱CVD PE-CVD PE-CVD ~6” ~6” ~8” ~8” システムサービス SiN、Poly-Si、NSG 国際電気 Epi-Poly Poly-Si、1100℃ 住友精密 MPX-CVD SiN(応力制御可)、SiO2 住友精密 MPX-CVD TEOS SiO2 PE-CVD スパッタ装置 スパッタ装置 スパッタ装置 ~6” ~6” ~8” ~8” 日本生産技術 VDS-5600 SiN、SiO2 アネルバ SPF-730 8インチターゲット×3 Al、AlSi 芝浦メカトロニクス CFS-4ESII 芝浦メカトロニクス !-Miller 3インチターゲット×4、基板加熱形 ロードロック、自動搬送付(10枚まで) 3インチターゲット×3 基板加熱形1台、基板冷却形1台 成膜(CVD、スパッタ、蒸着他) ~6” ゾルゲル自動成膜装置 ~4” MOCVD ~8” アネルバ EVC-1501 テクノファイン PZ-604 ワコム研究所 PZT W-CVD 電子ビーム蒸着装置 4” アプライドマテリアルズ Precision 5000 エッチング Si Deep-RIE 4台 ドライエッチング装置 ドライエッチング装置 Al RIE ~8” ~6” 4” 4” 住友精密 MUC-21 SF6、C4F8 アネルバ DEA-506 CF4、CHF3 (SiN、SiO2用) アネルバ L-507DL SF6 (Si用) 芝浦エレテック HIRRIE-100 Cl2、BCl3 多用途RIE ECRエッチング装置 アッシング装置 イオンミリング装置 ~6” 3” ~6” 6” x 3枚、4” x 6枚 アルバック RIH-1515Z アネルバ ECR6001 Cl2 ブランソン IPC4000 13.56MHz、600W エヌ・エス/伯東 20IBE-C Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、O2、N2 研磨、接合、パッケージング、インプリント、その他 ウェハ研磨装置 ウェハ研磨装置 ウェハ接合装置 ダイサ ~6” ~4” ~6” ~6” BNテクノロジー Bni62 BNテクノロジー Bni52 Suss SB6e ディスコDAD522、DAD2H/6T 東京精密 ワイヤボンダ コンベア炉 レーザマーカ サンドブラスト 小片 ~4” ~4” ~6” West Bond ほか 神港精機 FB-260H/TE GSIルモニクス WM-II 新東工業 Al/Au超音波、Al/Au熱圧着 研磨、接合、パッケージング、インプリント、その他 ウェハアライナ ウェハ接合装置 ウェハ間樹脂封入装置 UVインプリント 8” 8” 8” ~4” EVG Smart View EVG 520 EVG 520 東芝機械 ST50 熱インプリント ~50mm角 エキシマ有機物洗浄装置 めっき装置 ~4” ~6” オリジン電気 Reprina-T50A MAX 650℃、30kN デアネヒステ EXC-1201-DN 山本鍍金試験器 Au、Ni、Cu、Sn 測定 ウェハゴミ検査装置 膜厚測定装置 段差測定装置 段差測定装置 ~6” ~6” ~6” ~6” トプコン WM-3 Nanometric NanoSpec 3000 Dektak8 Tenchor AlphaStep 500 深さ測定装置 4探針測定装置 拡がり抵抗測定装置 ウェハプローバ ~6” ~6” 小片 4” Solid State Measurements SSM150 東京精密 EM-20A ユニオン光学 Hisomet 測定 レーザ/白色光 共焦点 顕微鏡(表面形状測定) ~6” デジタル顕微鏡 電子顕微鏡 電子顕微鏡 ~8” ~12” 小片 レーザーテック OPTELICS HYBRID L3-SD キーエンス、 クノーテクノクラフト 日立 S3700N 熱電子SEM、EDX付属 日立 S5000 インレンズ式FE-SEM マイクロX線CT 超音波顕微鏡 TOF-SIMS ~6” ~12” 赤外線顕微鏡 ~6” コムスキャンテクノ インサイト IS350 オリンパス、浜松ホトニクス CAMECA TOF-SIMS IV ScanXmate D160TS110 小片 測定 エリプソ エリプソ AFM ~6” ~6” ~8” フォトニックラティス SE-101 ULVAC Digital Instruments Dimension3100
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