表面分析サービス(FE-AES/μ-XPS) nmオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介 メルコセミコンダクタエンジニアリング(株) お問い合わせ先: TEL(092)805−3834 URL: http://www.msec‐melco.co.jp AES XPS TOF-SIMS 絶縁物 × ○ ○ 定量性 ○ ○ × 取得情報 × (元素情報) △ ○ (化学状態) (構造・組成) (μ-XPS:QuanteraⅡ) (FE-AES:JAMP7830) 例えば こんなことが出来ます! [AES]表面定性分析&深さ方向分析(Agメッキ表面の変色部評価) Ag C 変色部に100nm程度 のSの存在を確認 ×分析Point NO S Ag Na C 10μm 光学観察像 Na 二次電子像 S N O 表面定性スペクトル 深さ方向分析 表面から数nm∼数十nm程度の元素の存在を確認する事が可能 [XPS]深さ方向分析(Cuフレーム上のSnめっき表層構造評価) 最表面 最表面 100 Sn 90 Sn単体 80 atom% atom% 100 Sn(単体) 90 80 70 70 60 60 分析方向 Snめっき 酸化膜 Snめっき Cuフレーム Sn酸化物 50 50 40 40 30 30 O 20 Sn(酸化物) O 20 Cu Cu 10 10 C C 0 0 0 50 100 Depth(nm:SiO2) 150 0 50 100 Depth(nm:SiO2) 化学状態をデプスプロファイルに反映することで、詳細に層構造を把握することが可能 150
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