FE-AES/μ-XPS - メルコセミコンダクタエンジニアリング

表面分析サービス(FE-AES/μ-XPS)
nmオーダーの極表面における表面分析アプリケーションのご紹介
メルコセミコンダクタエンジニアリング(株) お問い合わせ先: TEL(092)805−3834 URL: http://www.msec‐melco.co.jp
AES
XPS
TOF-SIMS
絶縁物
×
○
○
定量性
○
○
×
取得情報
×
(元素情報)
△
○
(化学状態) (構造・組成)
(μ-XPS:QuanteraⅡ)
(FE-AES:JAMP7830)
例えば
こんなことが出来ます!
[AES]表面定性分析&深さ方向分析(Agメッキ表面の変色部評価)
Ag
C
変色部に100nm程度
のSの存在を確認
×分析Point
NO
S Ag
Na
C
10μm
光学観察像
Na
二次電子像
S
N
O
表面定性スペクトル
深さ方向分析
表面から数nm∼数十nm程度の元素の存在を確認する事が可能
[XPS]深さ方向分析(Cuフレーム上のSnめっき表層構造評価)
最表面
最表面
100
Sn
90
Sn単体
80
atom%
atom%
100
Sn(単体)
90
80
70
70
60
60
分析方向
Snめっき
酸化膜
Snめっき
Cuフレーム
Sn酸化物
50
50
40
40
30
30
O
20
Sn(酸化物)
O
20
Cu
Cu
10
10
C
C
0
0
0
50
100
Depth(nm:SiO2)
150
0
50
100
Depth(nm:SiO2)
化学状態をデプスプロファイルに反映することで、詳細に層構造を把握することが可能
150