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大気非暴露ＸＰＳを用いた負極解析
大気非暴露雰囲気下で定性分析・半定量，元素の状態解析
および深さ方向分析が可能。
メルコセミコンダクタエンジニアリング(株) お問い合わせ先： ＴＥＬ（０９２）８０５−３８３４ ＵＲＬ： ｈｔｔｐ：//ｗｗｗ．ｍｓｅｃ-ｍｅｌｃｏ．ｃｏ．ｊｐ
■負極の表面定性結果
（表面
分析）
大気非
暴露
XPS
■ワイドスキャン結果
■状態解析結果
Ｌｉ
Ｃ
■未試験
■高温保存試験後
Ｆ
Ｌｉ-Ｆ
Ｌｉ２ＣＯ３
Ｃｏ３ｄ
Ｏ
Ｃｏ
Ｃ
Ｌｉ
Ｏ1ｓ
Ｆ1ｓ
Ｃ=Ｏ
Ｆ
Ｐ-Ｏ
Ｌｉ
Ｌｉ-Ｃ
Ｃ
Ｐ
Ｃｏ
ＰＯｘ
Ｌｉ-Ｆ
Ｎａ1ｓ
Ｐ２Ｐ
Ｃｏ２Ｐ３
未試験
１６．０ ４３．２
１７．８ ２０．６
０．７
１．６
Ｎ.Ｄ.
高温保存
試験後
１３．９ ３５．６
２３．５ ２２．２
０．２
４．３
０．３
Ｏ
Ｃ-Ｏ
ＣＯｘ
■半定量結果
Ｃ1ｓ
Ｃ-Ｃ
Ｃ-Ｏ
Ｐ
Ｌｉ1ｓ
■未試験 ■高温保存試験後
Ｐ-Ｆ
（Ｌｉ）ＰＦ６
■負極の深さ方向分析結果（状態解析）
未試験
Ｃ
80
Ａｔｏｍｉｃ Ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ（％）
Ａｔｏｍｉｃ Ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ（％）
90
70
60
50
Ｌｉ Ｏ
30
Ｆ
100
100
90
90
80
80
70
Ｃ
60
50
Ｌｉ
40
30
20
20
10
10
0
Ａｔｏｍｉｃ Ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ（％）
100
40
Ｆ
Ｃｏ
Ｏ
100
200
300
Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ Ｄｅｐｔｈ（ｎｍ：ＳｉＯ２換算）
400
Ｃ
70
60
Ｌｉ-Ｆ
50
Ｐ
Ｌｉ-Ｏ
Ｌｉ-Ｃ
40
30
Ｆ
20
Ｏ
Ｃｏ
10
Ｐ
0
0
0
高温保存試験後
（Ｌｉ状態解析）
高温保存試験後
0
100
200
300
Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ Ｄｅｐｔｈ（ｎｍ：ＳｉＯ２換算）
400
0
100
200
300
400
Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ Ｄｅｐｔｈ（ｎｍ：ＳｉＯ２換算）
・未試験ではＬｉ，Ｃ，Ｏ，Ｆ，Ｎａ，Ｐが検出され，高温保存試験後では，更に正極由来のＣｏが検出された。
また状態解析の結果，高温保存試験に伴うＰ-Ｏ成分の増加を確認した。
・深さ方向分析の結果，高温保存試験に伴い，表面にＬｉＦ/ＬｉＯ富裕層が形成される事を確認した。
ＸＰＳはＬｉの状態解析や半定量，深さ方向への濃度分布を確認出来ます。
特にＳＥＩ層の構造解析に有効です。