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Motion Control Products
ガラススケール内蔵自動ステージシステム
KST(GS)
リニアスケールはものさしとなる「目盛（スケール）」
と、
目盛から位置情報を取得する「検出器」で構成されています。
◦リニアスケールで使用する製品は、半導体、
フラットパネルディ
アプリケーション
システム
スプレイ
（FPD）、
プリント配線板などの電子デバイス製造装
置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械などが主となって
おり、多くに分野で欠かせない工程をになう装置に使用されて
います。
光学素子
ホルダー
ご案内
▶ガラススケールの理論分解能は0.05μm設定となっています。
ベース
▶カタログ掲載以外の分解能をご希望される場合は、営業までご相談くだ
さい。
手動ステージ
注意
▶KST(GS)シリーズをクローズドループ制御で駆動する際には、
カタログ掲載
仕様値内でご使用していただくために、
コントローラのモーター分割数設定
を100以上
（1パルスあたりの移動量0.05μm以下）
を推奨いたします。
アクチュエータ
自動ステージ
光源
索引
ガイダンス
コントローラ/ドライバ
仕様
KST(GS)-50X
品番
価格
〔￥〕
KST(GS)-100X
500,000
移動量
〔mm〕
KST(GS)-200X
570,000
750,000
50
100
200
165×165
165×200
165×360
ボールネジ径φ8　リード1
ボールネジ径φ8　リード1
ボールネジ径φ14　リード2
クロスローラガイド
クロスローラガイド
クロスローラガイド
ステージ材質
鉄
鉄
鉄
ケーブル
質量
〔kg〕
9.2
14.3
19.4
ピエゾ
分解能
（Full）
〔μm/パルス〕
2
2
4
（Half）
〔μm/パルス〕
1
1
2
10
10
20
ソフトウェア
ステッピングモータ
テーブル面サイズ
〔mm〕
メカ仕様
ACサーボ
送りネジ
〔mm〕
ガイド
MAXスピード
〔mm/sec〕
位置決め精度
〔μm〕
繰返し位置決め精度
〔μm〕
耐荷重
〔N〕
精度仕様
モーメント剛性
5
0.8
392
（40.0kgf）
392
（40.0kgf）
392
（40.0kgf）
0.01
0.01
0.01
ヨーイング
〔″/N・cm〕
0.01
0.01
0.01
ローリング
〔″/N・cm〕
0.005
0.005
0.005
0.5
0.5
0.5
1
1
1
50
70
100
バックラッシ
〔μm〕
回転系
4
0.5
ピッチング
〔″/N・cm〕
ロストモーション
〔μm〕
直動系
3
0.5
平行度
〔μm〕
ゴニオ
運動の平行度
〔μm〕
真空
ピッチング
〔″〕
/ヨーイング
〔″〕
10
10
20
15/15
20/20
20/20
センサ品番
オプション
センサ
□40mm
□60mm
フォトマイクロセンサ：PM-L24
（SUNX㈱）
：リミット、
原点センサ
リミットセンサ
有
（NORMAL CLOSE）
有
（NORMAL CLOSE）
有
（NORMAL CLOSE）
原点センサ
無
無
無
近接原点センサ
無
無
無
□80mm
□85mm
□100mm
□120mm
その他
モータ仕様
タイプ
モータ　モータ品番
ステップ角
5相ステッピングモータ　1.4A/相
（オリエンタルモーター㈱）
PK564-NBW
（□60mm）
PK566-NBW
（□60mm）
PK569-NBW
（□60mm）
0.72°
適応コントローラ
適応コントローラ
G064
SHOT-302GS､SHOT-304GS
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
カタログ
コード
W9040
外形図
KST(GS)-50X
KST(GS)-100X
六角穴付ボルト M6×15…4本
200
165
150
光学素子
150
110
50 50
110
50
アプリケーション
システム
六角穴付ボルト M6×15…4本
50
90
90
25-M4 深8
70
4-M6 深12
50
4-M6 深12
50
ホルダー
25-M4 深8
70
移動量25
150
165
50
110
90
50
70
65
31
7
15
下板 4-取付用キリカキ
7.5
150
自動ステージ
8
10
8
15
150
アクチュエータ
移動量50
1
65
（63）
移動量50
10
31
7
1
手動ステージ
（350.3）
（274.5）
移動量25
（63）
50
（182.7）
165
150
50
110
90
50
70
50
（174.7）
ベース
25
下板 4-取付用キリカキ
光源
（345.5）
索引
KST(GS)-200X
六角穴付ボルト M6×15…8本
ガイダンス
360
150
コントローラ/ドライバ
110
50
50
25-M4 深8
ソフトウェア
4-M6 深12
ステッピングモータ
90
70
50
ケーブル
165
150
50
110
90
50
70
50
（183）
ACサーボ
ピエゾ
（585）
31
65
移動量100
50
150
10
7
15
1
（63）
移動量100
50
55
下板 8-取付用キリカキ
直動系
■結線図
回転系
■適応コントローラ/ケーブル
コネクタ
ヒロセ電機㈱製
SDAB-15P相当品
1
1
モーターリード
2
2
モーターリード
3
3
モーターリード
4
4
モーターリード
5
5
モーターリード
6
6
GND
7
7
ORG
8
8
＋VS
9
9 N.C.
（未使用）
10
10 N.C.
（未使用）
11
11
LS
（＋）
12
12
LS
（−）
13
13
GND
14
14
NEAR
15
15 N.C.
（未使用）
Controller
5相ステッピング
モータ
E相
Stage
A相
D相
B相
注1
SUNX㈱製
マイクロフォトセンサ
PM-L24
□40mm
DHR-CA
SHOT-302GS〔2軸〕
SHOT-304GS〔4軸〕
G109
Cable
KST(GS)-50X
KST(GS)-100X
KST(GS)-200X
注1
□80mm
□85mm
□120mm
反モータ側
（−）
リミットセンサ
入光時 ON
注2
□60mm
□100mm
注1
短絡
真空
オプション
C相
原点センサ
入光時 ON
モータ側
（＋）
リミットセンサ
入光時 ON
Cable
ゴニオ
G102
GSE-CA
その他
G109
注1 モータ側リミッ
トセンサが＋方向のリミットセンサです。
KST(GS)-50/100/200は原点センサがついています。
注2 対応ケーブルのコネクタ：第一電子工業㈱製 17JE-13150
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
G065