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Motion Control Products
コンパクトスケール内蔵自動ステージ
アプリケーション
システム
OSMS(CS)20-(X)　ステージサイズ□85mm
専用ステージコントローラ
（SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S）
を使用する事で、高精度で信頼性の高いフル
クローズドループシステムを実現する事ができます。
◦モーメント荷重や複合荷重に強い構造は、
ピッチング、
ローリング、
ヨーイングの影響を受けにくく、高剛性、高精度での位置決め
が可能です。
◦コンパクトスケールを内蔵していますが、同移動量の場合
OSMSシリーズと設置スペースは変わりません。
光学素子
ホルダー
ご案内
ベース
▶モータ交換、落下防止機能等をご希望される場合は、営業までお問合せ
ください。　G017、G111
（お問合せシート）
▶グリース変更はオプションで対応可能です。　G110
▶XY軸又はZ軸でご使用する場合には、営業までご相談ください。
手動ステージ
アクチュエータ
仕様
OSMS(CS)20-35(X)
OSMS(CS)20-85(X)
OSMS(CS)20-35(X)-M6
OSMS(CS)20-85(X)-M6
INCH品番
OSMS(CS)20-35(X)-INCH
OSMS(CS)20-85(X)-INCH
価格
〔￥〕
168,000
178,000
品番
自動ステージ
M6品番
移動量
〔mm〕
光源
テーブル面サイズ
〔mm〕
送りネジ
〔mm〕
索引
メカ仕様
移動ガイド
ステージ上面材質
表面処理
質量
〔kg〕
ガイダンス
分解能
コントローラ/ドライバ
ACサーボ
ボールネジ径φ6　リード1
アウターレール構造
アウターレール構造
アルミ
アルミ
黒アルマイト
黒アルマイト
1.4
1.6
2
1
1
繰返し位置決め精度
〔μm〕
モーメント剛性
ケーブル
ピエゾ
ボールネジ径φ6　リード1
（Half）
〔μm/パルス〕
耐荷重
〔N〕
精度仕様
85×85
2
MAXスピード
〔mm/sec〕
ステッピングモータ
85
85×85
（Full）
〔μm/パルス〕
位置決め精度
〔μm〕
ソフトウェア
35
25
25
5
10
2
2
78.4
（8.0kgf）
78.4
（8.0kgf）
ピッチング
〔″/N･cm〕
0.4
0.4
ヨーイング
〔″/N･cm〕
0.25
0.25
ローリング
〔″/N･cm〕
0.35
0.35
ロストモーション
〔μm〕
3
3
バックラッシ
〔μm〕
3
3
平行度
〔μm〕
30
30
走り平行度
〔μm〕
10
10
ピッチング
〔″〕
/ヨーイング
〔″〕
30/20
センサ
スケールヘッド
30/20
マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ㈱）
センサ品番
リミットセンサ
有
（NORMAL CLOSE）
原点センサ
有
有
（NORMAL CLOSE）
有
近接原点センサ
無
有
分解能
〔μm〕
0.5
0.5
直動系
回転系
モータ/センサ仕様
タイプ
ゴニオ
真空
モータ　ステップ角
オプション
□40mm
電源電圧
センサ
□60mm
□85mm
□85mm
□100mm
□120mm
その他
モータ品番
スケールヘッド
5相ステッピングモータ　0.75A/相
（多摩川精機㈱）
TS3664N4E10
（□24mm）
0.72°
DC5～24V±10%
消費電流
60mA以下
（1センサ当たり20mA以下）
制御出力
NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
出力論理
遮光時：出力トランジスタOFF
（非導通）
電源電圧 / 消費電流
DC5V±5％ / 50mA
適応ケーブル
ケーブル
ドライバケーブル
D15D15A-CA
スケールケーブル
GSEF-CA-3
適応ドライバ/コントローラ
制御系
G038
適応ドライバ
適応コントローラ
−
SHOT-302GS､SHOT-304GS、
HIT-M・HIT-S
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
カタログ
コード
W9066
外形図
アプリケーション
システム
六角穴付ボルト M4×8…8本
（35）
六角穴付ボルト M4×8…10本
（85）
85
75
35 35
25 25
☆ ☆
☆
☆ ☆
ホルダー
ベース
D
H取付穴
F
E
移動量G
品番
16
35.7
移動量G
29
A
B
C
光学素子
21-M4×0.7 深6
（☆深5）
25 25
70
85
OSMS(CS)20-＊＊(X)
C
D
E
F
OSMS(CS)20-35(X)
183.5 60.8
A
B
35.8
75
（25×3）
8-φ4.5
17.5
OSMS(CS)20-85(X)
233.5 85.8
35.8
100
（25×4）
手動ステージ
10-φ4.5 42.5
アクチュエータ
六角穴付ボルト M4×8…8本
（35）
六角穴付ボルト M4×8…10本
（85）
OSMS(CS)20-＊＊(X)-M6
自動ステージ
85
75
35 35
25 25
光源
12-M4×0.7 深6
（☆深5）
25 25
70
85
A
D
C
ガイダンス
移動量F
品番
16
35.7
移動量F
29
9-M6×1 深6
（☆深5）
B
E取付穴
索引
A
B
C
D
OSMS(CS)20-35(X)-M6 183.5 60.8
35.8
75
（25×3）
OSMS(CS)20-85(X)-M6 233.5 85.8
35.8
100
（25×4）
E
F
8-φ4.5
17.5
10-φ4.5 42.5
コントローラ/ドライバ
ソフトウェア
ステッピングモータ
85
69.85
ピエゾ
6-1/4-20UNC 深6
（☆深5）
B
C
移動量F
品番
35.7
D
25.4 25.4
85
76.2
E取付穴
29
16
ケーブル
85
76.2
34.93 34.93 12-8-32UNC 深6
25.4 25.4 （☆深5）
A
移動量F
ACサーボ
六角穴付ボルト 8/32UNC×5/16…8本
（35）
六角穴付ボルト 8/32UNC×5/16…10本
（85）
OSMS(CS)20-＊＊(X)-INCH
C
D
E
F
OSMS(CS)20-35(X)-INCH 183.5 60.8
A
B
35.4
76.2
（25.4×3）
8-φ4.5
17.5
OSMS(CS)20-85(X)-INCH 233.5 85.8
35
101.6
（25.4×4） 10-φ4.5 42.5
直動系
回転系
ゴニオ
真空
■適応コントローラ/ドライバとケーブル
Controller
Cable
Stage
オプション
□40mm
□60mm
SHOT-302GS〔2軸〕
SHOT-304GS〔4軸〕
HIT-M・HIT-S 〔8軸〕
□85mm
D15D15A-CA
□85mm
G108
OSMS(CS)
Cable
□100mm
□120mm
その他
G102∼G103
GSEF-CA
G109
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
G039