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Manual Positioners
XZ軸フラットスチールステージ
XZ軸フラットスチールステージ
TSD-604　ステージサイズ□60mm
TSD-654　ステージサイズ□65mm
ボールガイドのX軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
アプリケーション
システム
ご案内
▶真空用途にお使いいただけるステンレスタイプ
（TSDS-604/654）
もご用意
しています。　光学素子
E206
注意
ホルダー
▶Z軸は構造上、
ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれが
あるため天地逆転の方向で設置し使用することができません。
▶Z軸はテコの原理を応用した構造のため、
移動量の位置により目盛に対する
ベース
送り量にズレ
（マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対して±0.02mm
程度）
が生じます。
手動ステージ
アクチュエータ
自動ステージ
光源
索引
ガイダンス
X軸
XY軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
回転
ゴニオ
傾斜
真空
仕様
TSD-604C
TSD-604S
TSD-654C-M6
INCH
−
−
TSD-654CUU
TSD-654SUU
METRIC
−
TSD-604SR
−
TSD-654SR-M6
METRIC
品番
（勝手違い）
−
−
−
TSD-654SRUU
価格
〔￥〕
69,000
69,000
73,000
73,000
テーブル面サイズ
〔mm〕
60×60
60×60
65×65
65×65
INCH
軸タイプ
XZ軸
マイクロ操作位置
移動量
〔mm〕
センター
サイド
センター
サイド
X軸±6.5 Z軸±5
X軸±6.5 Z軸±5
X軸±6.5　Z軸±5
X軸±6.5　Z軸±5
移動量/1回転
〔mm/1回転〕
0.5
0.5
0.5
0.5
マイクロメータ最小読取
〔mm〕
0.01
0.01
0.01
0.01
移動ガイド
ボールガイド
クロスローラ
アリ溝
すり合わせ
ネジ式V溝
その他
□15mm
□25mm
TSD-654S-M6
ボールガイド
主要材質
鉄
表面処理
スーパーブラッククロム＋黒つや消し
耐荷重
〔N〕
移動精度
許容モーメント荷重
モーメント剛性
147
（15.0kgf）
147
（15.0kgf）
147
（15.0kgf）
147
（15.0kgf）
真直度
〔μm〕
2.5
2.5
2.5
2.5
ピッチング
〔N・m〕
6.9
6.9
6.9
6.9
ローリング
〔N・m〕
6.9
6.9
6.9
6.9
ピッチング
〔″/N・cm〕
0.73
0.73
0.73
0.73
ローリング
〔″/N・cm〕
0.64
0.64
0.64
0.64
平行度
〔μm〕
110
110
110
110
オプション
FP
FP
FP
FP
質量
〔kg〕
1.5
1.5
1.7
1.7
□40mm
□60mm
□65mm
□80mm
□100mm
□120mm
その他
E118
オプション　注）オプション費用は、1軸分の金額となります。
オプションコード
FP
適応機種
品名
ファインピッチスクリューアジャスター
品番
FPSA-62540
移動量/1回転
〔mm/1回転〕
マイクロ最小読取
〔mm〕
オプション費用
オプション
解説ページ
0.25
−
−￥3,000
E008
※品番末尾にオプションコードを追加し、各種オプション仕様をご指示ください。
※FPタイプの耐荷重は、39.2N
（4.0kgf）
となります。
※FPタイプは、駆動操作用として六角レンチまたは別売のツマミ付六角レンチ
（KCL）
が必要となります。　F010
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
カタログ
コード
カタログ
コード
W7060
W7137
外形図
TSD-604C
MAX44
60
25 25
32
MAX66
X軸クランプ
光学素子
50
60 （11）
25 25
32
7-M4 深6
アプリケーション
システム
六角穴付ボルト M4×6…4本
ホルダー
M16 P1 深6
4-M3 深6
ベース
33
手動ステージ
18
10.5
73±5
55
Z軸クランプ
TSD-604SR
六角穴付ボルト M4×6…4本
X軸クランプ
4-M3 深6
六角穴付ボルト M4×6…4本
60
25 25
32
4-M3 深6
M16 P1 深6
MAX88
65
55
73±5
XY軸
Z軸
六角穴付ボルト M6×6…4本
（M6）
六角穴付ボルト
（黒）1/4-20UNC×1/4…4本
（UU）
MAX69
A
X軸
1.5
1.5
A
ガイダンス
18
10.5
10.5
73±5
55
18
（11）
7-C 深6
50
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
TSD-654C-M6/654CUU
索引
33
Z軸クランプ
Z軸クランプ
50
光源
MAX44
33
MAX88
X軸クランプ
32
25 25
60
M16 P1 深6
自動ステージ
7-M4 深6
50
60
25 25
32
MAX44
60 （11）
25 25
32
7-M4 深6
アクチュエータ
50
TSD-604S
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
（11）
1.5
50
XZ軸
X軸クランプ
回転
A
B
65
A
XYZ軸
MAX41
ゴニオ
Z軸クランプ
傾斜
35
20
12
1.5
B
TSD-654C-M6
TSD-654CUU
4-φ7取付穴
φDザグリ
TSD-654S-M6/654SUU
M6 P1
1/4-20UNC
X軸クランプ
クロスローラ
65
A
A
7-C 深6
（5）
アリ溝
X軸クランプ
すり合わせ
ネジ式V溝
B
65
B
65
その他
A
A
MAX41
MAX41
35
MAX91
Z軸クランプ
55
□25mm
□40mm
□60mm
□65mm
20
品番
TSD-654S-M6
TSD-654SUU
B
4-φ7取付穴
φDザグリ
4-φ7取付穴
φDザグリ
A
（mm）
25
25.4
B
（mm）
50
50.8
C
M6 P1
1/4-20UNC
D
（mm）
11
12
品番
TSD-654SR-M6
TSD-654SRUU
B
□80mm
1.5
1.5
20
12.5
55
Z軸クランプ
□15mm
35
75±5
MAX91
75±5
ボールガイド
A
A
A
（11）
D
（mm）
11
12
C
六角穴付ボルト M6×6…4本
（M6）
六角穴付ボルト
（黒）1/4-20UNC×1/4…4本
（UU）
65
A
B
（mm）
50
50.8
TSD-654SR-M6/654SRUU
六角穴付ボルト M6×6…4本
（M6）
六角穴付ボルト
（黒）1/4-20UNC×1/4…4本
（UU）
7-C 深6
A
（mm）
25
25.4
（11）
75±5
55
真空
品番
□100mm
A
（mm）
25
25.4
B
（mm）
50
50.8
C
M6 P1
1/4-20UNC
D
（mm）
11
12
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
□120mm
その他
E119