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Manual Positioners
Z軸スチールステージ（垂直面取付）
アプリケーション
システム
TSD-SZ　ステージサイズ□25/□40/□60/□65mm
マイクロメータヘッドを移動するステージ側に、
マイクロ当てをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化した
Z軸ステージです。
◦焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工し、
非常に耐久性に優れたステージです。
光学素子
ご案内
▶テーブル面がロングタイプの製品もご用意しています。　E096
ホルダー
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
自動ステージ
光源
索引
ガイダンス
X軸
XY軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
仕様
TSD-251SZ
TSD-401SZ
TSD-601SZ
TSD-651SZ25-M6
−
TSD-401SZUU
−
TSD-651SZ25UU
TSD-251SRZ
TSD-401SRZ
TSD-601SRZ
−
−
TSD-401SRZUU
−
−
価格
〔￥〕
22,000
25,000
28,000
32,000
テーブル面サイズ
〔mm〕
25×25
40×40
60×60
65×65
±12.5
METRIC
品番
INCH
回転
ゴニオ
傾斜
真空
ボールガイド
クロスローラ
アリ溝
すり合わせ
ネジ式V溝
その他
□15mm
□25mm
□40mm
METRIC
（勝手違い）
INCH
軸タイプ
Ｚ軸
移動量
〔mm〕
±3
±6.5
±6.5
移動量/1回転
〔mm/1回転〕
0.5
0.5
0.5
0.5
マイクロメータ最小読取
〔mm〕
0.01
0.01
0.01
0.01
49
（5.0kgf）
移動ガイド
ボールガイド
主要材質
鉄
表面処理
スーパーブラッククロム
耐荷重
〔N〕
移動精度
14.7
（1.5kgf）
49
（5.0kgf）
49
（5.0kgf）
1
1
1
1
2.2
5.0
8.0
8.0
真直度
〔μm〕
許容モーメント荷重
ピッチング
〔N・m〕
2.1
5.0
8.0
8.0
1.63
0.31
0.2
0.2
10
10
10
10
オプション
FP※1
FP※2
FP※2
FP※3
質量
〔kg〕
0.07
0.2
0.5
0.6
モーメント剛性
ローリング
〔N・m〕
ピッチング
〔″/N・cm〕
移動平行度
〔μm〕
□60mm
□65mm
□80mm
□100mm
□120mm
その他
オプション　注）オプション費用は、1軸分の金額となります。
オプションコード
FP
適応機種
品名
ファインピッチスクリューアジャスター
品番
FPSA-42525※1
FPSA-62540※2
FPSA-62550※3
移動量/1回転
〔mm/1回転〕
マイクロ最小読取
〔mm〕
オプション費用
オプション
解説ページ
0.25
−
−￥3,000
E008
※品番末尾にオプションコードを追加し、各種オプション仕様をご指示ください。
E094
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
カタログ
コード
W7049
外形図
TSD-251SRZ
六角穴付ボルト M2×4…4本
4-φ2.4取付穴
φ4ザグリ
1.5
20
アプリケーション
システム
六角穴付ボルト M2×4…4本
4-φ2.4取付穴
φ4ザグリ
クランプ
クランプ
12
7
4-φE取付穴
φFザグリ
B
20±6.5
8-C 深5
索引
40
A
B
B
TSD-401SZ
TSD-401SZUU
光源
A
20±6.5
65.5
D 深5
A
A
40
（9.5）
品番
自動ステージ
クランプ
16
8
A
A
25
10 10
アクチュエータ
65.5
1.5
4-φE取付穴
φFザグリ
A
40
手動ステージ
（7）
六角穴付ボルト M3×6…4本
六角穴付ボルト
（黒）6-32UNC×1/4…4本
（UU）
16
8
8-C 深5
ベース
TSD-401SRZ/401SRZUU
クランプ
A
25
（13.5）
六角穴付ボルト M3×6…4本
六角穴付ボルト
（黒）6-32UNC×1/4…4本
（UU）
B
7-M2 深4
40.7
20
20
13.3
TSD-401SZ/401SZUU
D 深5
10 10
1.5
25
12.5±3
10 10
（7）
M4 深4
12.5±3
10 10
40.7
7-M2 深4
ホルダー
12
7
M4 深4
25
光学素子
20
1.5
TSD-251SZ
19.5
19.5
A
B
E
F
C
D
（mm） （mm）
（mm） （mm）
M6 P1
3.5
6
16
32
M3
15.875 31.75 6-32UNC 1/4-20UNC
4
6.5
40
（9.5）
A
B
E
F
C
D
（mm） （mm）
（mm） （mm）
M6 P1
3.5
6
TSD-401SRZ
16
32
M3
TSD-401SRZUU 15.875 31.75 6-32UNC 1/4-20UNC
4
6.5
品番
ガイダンス
X軸
XY軸
Z軸
TSD-601SRZ
六角穴付ボルト M4×6…4本
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
1.5
50
六角穴付ボルト M4×6…4本
4-φ4.5取付穴
φ8ザグリ
50
クランプ
XYZ軸
クランプ
25
20
4-M3 深5
32
8-M4 深5
20
60
（11）
アリ溝
1.5
すり合わせ
4-φ7
φDザグリ
ネジ式V溝
11
その他
A
32.5±12.5
□15mm
□25mm
B
□40mm
□60mm
A
65
A
MAX71.5
A
ボールガイド
クロスローラ
六角穴付ボルト M6×6…4本
（M6）
六角穴付ボルト
（黒）1/4-20UNC×1/4…4本
（UU）
9-C 深6
傾斜
真空
TSD-651SZ25-M6/651SZ25UU
B
ゴニオ
60
25
回転
25
30±6.5
50
71
25
32
60
M16 P1 深6
32
25
（11）
9.5
25
9.5
M16 P1 深6
71
25
32
30±6.5
25
18
50
4-M3 深5
18
8-M4 深5
60
XZ軸
1.5
TSD-601SZ
□65mm
（11）
65
20
□80mm
20
□100mm
品番
TSD-651SZ25-M6
TSD-651SZ25UU
A
（mm）
25
25.4
B
（mm）
50
50.8
C
M6 P1
1/4-20UNC
D
（mm）
11
12
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
□120mm
その他
E095