【磁気センサー.com】 WEBセミナー 「磁気センサの基礎(2)」 ホール素子の原理と特徴 ホール効果 歴史 1879年、米国の物理学者エドウィン・ホール(Edwin Herber Hall, 18551938)によって発見された 。 現象 半導体で、電流(Ic)に垂直な磁場(B)をかけると、電流と磁場の両方に直 交する方向に起電力( VH )が現れる The output voltage of Hall element has a linearity against magnetic flux B. B VH IC Magnetic flux density B ホール素子の原理 ホール素子は4端子素子 出力電圧は磁束密度(B)に比例 w W V B Vin VH = H μ・(-)・B・Vin lL B 4 3 VH 1) 定電圧駆動 W 1 L d w; Hallデバイスの長さ L; Hallデバイスの幅 ; 電子移動度 2 Iin Vin VH: Hall起電力 Vin: バイアス電圧 Iin : バイアス電流 B : 磁束密度 2) 定電流駆動 Ic B R H VH V =H -RH・ B ・ Iin d d RH;Hall係数 ホール素子の材料と特性 ホール素子の材料-移動度の高い半導体材料 化合物半導体(InSb/InAs/GaAs等)が使われる。 (cm2/Vsec) 感度 バンドギャップ (eV) Si 1450 1.12 GaAs 8000 1.43 InAs InSb 35000 0.33 良 InSb InAs GaAs 大 75000 温度 特性 VH:出力電圧 材料 移動度 0.16 T:温度 旭化成のホール素子ラインナップ 材料 3種類の化合物半導体材料 1. InSb ・・・ HWシリーズ HW-□□□□ 2. InAs ・・・ HQ/HZシリーズ HQ-□□□□, HZ-□□□□ 3. GaAs・・・ HGシリーズ HG-□□□□ パッケージ 主なパッケージラインナップ SOP SIP SON (Small Outline Package) (Single Inline Package) (Small Outline Non-lead) H□-1□□□ H□-3□□□ H□-0□□□ (参考)製品番号の見方 ex) H G – 1 0 6 C ex) E M – 6 7 8 1 機能、世代、感度など パッケージ : 両極検知スイッチタイプホールIC 600系パッケージ : 両極検知スイッチタイプホールIC EM1系パッケージ : 低消費電力ラッチタイプホールIC EM1系パッケージ : ラッチタイプホールIC 700系パッケージ :ラッチタイプホールIC 600系パッケージ : 片極検知スイッチタイプホールIC 400系パッケージ : InSb ホール素子 101Aパッケージ : InSb ホール素子 300Bパッケージ : GaAsホール素子 感度:0.22mV/mT・V) 106パッケージ HG-166A : GaAsホール素子 感度:0.30mV/mT・V 106パッケージ EM-6781 EM-1781 EM-1712 センサ材料 EW-732 W : InSb EW-610B G : GaAs EW-450B Q : Quantum wall InAs HW-101A Z : InAs HW-300B M : Monolithic Si HG-106C センサの種類 H : Hall element E : Hall Effect IC C : Current sensor ホール素子カタログの見方(HG-106Cの例) 基本特性 1. 出力電圧(磁界印加時の出力電圧) 2. 入力抵抗/出力抵抗 3. オフセット電圧(無磁界時の出力電圧) パッケージ • 1ピンに+、3ピンに-の入力を印加してパッケージ表 面にN極の磁石を近づけた時、2ピンに+、4ピンに- が出力される。 • パッケージ表面にS極の磁石を近づけた時は出力の 極性は逆になり、2ピンに-、4ピンに+が出力される。 ホール素子カタログの見方(HG-106Cの例) 感度 – カタログ上は第一象限のみ 表示 – 製品(材料)によって、強磁 場でのリニアリティが異なる ので、使用環境、目的による 使い分けが必要 出力電圧の磁束密度依存性 (駆動電圧:HW-1V,HG-6V) 出力電圧の磁束密度依存性 (駆動電流:5mA) 1000 1600 1400 HW-108A 800 1000 出力電圧(mV) 出力電圧(mV) 1200 HW-108C 800 600 HG-106C 400 HW-108A HG-106C 600 400 HW-108C 200 200 0 0 0 100 200 300 磁束密度(mT) 400 500 感度が飽和しない磁束密度 0 100 200 300 磁束密度(mT) 400 : HG > HZ > HQ > HW 500 ホール素子カタログの見方 温度特性の比較 素子の種類、駆動方法で異なるので要注意 HW-101A HZ-116C HQ-0111 Vc:定電圧駆動 Ic:定電流駆動 HG-106C ホール素子カタログの見方 不平衡(オフセット)電圧 ホール素子には磁界が無くても出力電圧がある 次回は、「ホールICの原理と特徴」
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