レイアウト 2

電動直進ステージ
234
Motion
寸法
寸法ミリ表記
6.53 ±.50 (165.8 ±12.7)
M4ネジ穴×6
電動垂直ステージ
.59
(15.1)
.08 (2)
.43 .31 (8)
(10.9)
.91 (23)
M2,5ネジ穴×4
1.06 (27)
Ø 1.6mm穴×2
間隔 9.525mm
.45
.50 (11.5)
(12.7)
.63 .50
(16) (12.7)
電動回転ステージ
3.94 (100)
長さ1.5mのケーブルと
25ピンサブDコネクタ
1.04
(26.4)
4.34 (110.3)
.87 (22.2)
LTA シリーズ
精密電動アクチュエータ
Precision Motorized Actuators
• 省スペース設計で最長50 mmまでの移動量
• 非回転式の先端部により、移動がよりなめらかになり、摩耗なし
• 卓越した位置決め性能
• 調整可能なリミットスイッチにより過移動による損傷を防止
• 便利なマニュアル位置決めノブ
• エンコーダ搭載の真空バージョンを用意
E
CI
ANTE
NS
AR
ED
SP
Compliant
GU
電動アクチュエータ
コントローラ&ドライバ 電動多軸キネマティック
ステージ
図のモデル:VP-25AA
100mm×50mmの長方
形上のØ4.5通し穴×3
RoHS
電動光学マウント
3.15
(80)
.13
(3.2)
.47
(12)
寸法インチ表記(mm)
.61
(15.6)
測定機器
.02 (0.5)
ボール Ø 5
.06
(1.5)
3.0 (76.2)
特殊な製品
ø.25
(6)
.49
(12.5)
1.0
(25.4)
2.83
(72)
ø.97
(9.52)
.53
(13.5)
F I C ATI O
LTAアクチュエータはお手元の手動ステージやその他のオプトメカニカル部品に、手動マイクロメータと直接取り替える形で取り付け
られるように設計されています。LTAシリーズは省スペース設計を採用しています。これによりアクチュエータの長さを50%縮めるこ
とができ、マイクロ位置決め装置上での中心から遠く離れた負荷による好ましくない影響を最小にします。このシリーズには、最適化
された出力トルクを持つDCサーボモデルが2種類あり、より速い移動(-HS)とより高い耐荷重(-HL)に対応します。重い負荷の用途
には LTA-HLが推奨されます。また、 LTA-HSは、長い移動量を持つとともに高速用途にも最適化されています。 LTAHSPPV6と
LTAHLPPV6はどちらもステッピングモータのモデルで、特に10-6 hPaまでの真空アプリケー
ション用に設計されています。いずれのモデルも、摩耗や周期的な動作変動が生じるのを防
ぐ非回転式の先端部、過移動を防止する移動可能なリミットスイッチ、モータがオフの間に
すぐにアクチュエータの位置を調整できる手動調整用のノブ、アクチュエータの概略の位置
をミリメートルとインチの両方で示すスケールを共通に備えています。
CONEX-LTA-HS (または-HL)はCONEX-CCコントローラ/ドライバを内蔵するLTAアクチ
ュエータで、開梱後すぐに使えるように極めて高いレベルまで事前の組込みが行われていま
す。CONEX-CCは、Newport社の低電力DCサーボモータ駆動の装置に使用される非常にコン
パクトで低価格のドライバです。
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
Motion
235
電動直進ステージ
仕様
LTA-HS
LTA-HL
LTAHSPPV6
移動量(mm)
50
25
50
25
最小移動量5 (µm)
0.1
0.05
0.08
0.08
一方向再現性(µm)
LTAHLPPV6
0.5
0.5
0.6
2または±1
2または±1
2または±1
2または±1
軸上精度1(µm)
10または±5
6または±3
10または±5
5または±2.5
最大速度(mm/s)
5
1
軸耐荷重(+Cx)(N)
50
120
0.5(4)
40
0.25(4)
100
横方向耐荷重3(N)
5
20
5
10
仕様に記載されたピークtoピークの保証値、又は±保証値の半分を示しています。
保証値を約2倍した標準仕様の定義については、(株)日本レーザーまでお問い合わせください。
バックラッシュ補償後の値
3
移動中の横方向の負荷を避けてください。
4
SMC100PPの使用時は、LTAHLPPV6が0.1 mm/s、LTAHSPPV6が0.2 mm/sです。
5
クローズドループの最小移動量は、LTAHLPPV6が0.15 µm、LTAHSPPV6が0.3 µmです。
電動垂直ステージ
0.5
双方向再現性1, 2 (µm)
1
LTAxxPPV6真空対応アクチュエータ
2
電動回転ステージ
設計仕様
基本材料
ステンレススチール製本体
非回転式リードスクリュー
フィードバック
電動アクチュエータ
駆動方法
LTA-HL、LTA-HS:モータに設置したロータリーエンコーダ、2048カウント/回転
リミットスイッチ
光学式スイッチ、両端に配置、調整可能
ホーミング動作に最小移動量を使用、繰返し再現性の代表値は4 µm未満
原点
LTA-HS、LTA-HL:DCサーボモータ
モータ
LTAHSPPV6、LTAHLPPV6:ステッピングモータ
LTA-HS、LTA-HL:3 m
電動多軸キネマティック コントローラ&ドライバ
ステージ
ケーブル長
LTAHSPPV6、LTAHLPPV6:1.5 m、
SubD25コネクタは真空に対応していません。
真空仕様
10-6 hPa (7.5*10-7 Torr) [0.7 x 10 e-7 torr]
0.35
自重 kg
発注のご案内
モデル
高速LTA電動アクチュエータ、50 mm移動量、LTA、3/8-40ネジ
LTA-HL
高耐荷重電動アクチュエータ、25 mm移動量、LTA、M12ネジ
LTAHSPPV6
真空対応高速電動アクチュエータ、50 mm移動量、LTA
LTAHLPPV6
真空対応高耐荷重電動アクチュエータ、25 mm移動量、LTA
CONEX-LTA-HS1
CONEXコントローラ内蔵LTA-HSアクチュエータ
CONEX-LTA-HL1
CONEXコントローラ内蔵LTA-HLアクチュエータ
LTA-M12
マウントアダプタ、M12-0.5、LTA-HSからUMR8、MVN80およびSL製品
CONEX-PSは別売りです。
電動光学マウント
1
内容
LTA-HS
推奨モーションコントローラ/ドライバ
XPS(P257参照)
XPS-DRV01は別売り
ESP301(P261参照)
LTA-HSおよびLTA-HLのみ
SMC100PP(P263参照)
LTAHLPPV6およびLTAHSPPV6のみ
CONEX-CC(P267参照)
CONEX-LTA-HSまたはCONEX-LTA-HLに付属
測定機器
SMC100CC(P263参照)
仕様の定義については、P302の「モーション
の基礎と基準」をご覧ください。
特殊な製品
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
電動直進ステージ
236
Motion
寸法
Model LTA-M12
Model LTA-HS
図のモデル:LTA-M12
寸法インチ表記(mm)
電動垂直ステージ
ケーブル長さ9.8ft(3m)
25ピンD-SUBコネクタ
図のモデル:LTA-HS
寸法インチ表記(mm)
(M12 x 0.5ネジ)
ø .25
(6.4)
ø .61
(15.5)
ナット
1.77
(45)
電動回転ステージ
.39 (10)
.89
(22.5)
.55
(14)
4.63 (117.5)
.18
(4.5)
.47
(12)
.88
(22.3)
.79
ø .63
(16)
+0.012
0
(20
+0.3
0
)
LTA-HS ロッド
.19 (5)
ボール ø.19 (Ø 5)
(M12 x 0.5 ネジ)
ボール ø.19 (Ø 5)
-.00019
ø .375 -.00055
(9.53
-.005
-.014
3/8”-40 UNS ネジ
)
TRBシリーズ
小型電動アクチュエータ
Compact Motorized Actuators
• 軽量でコンパクトでありながら、最大25 mmの移動量を実現
• 手動マイクロメータドライブを同じ形状のドライブと交換可能
• ステッピングモータとクローズドループDCサーボモータのバージョン
で利用可能
Compliant
AR
CI
ANTE
NS
RoHS
GU
• コンポーネントとモータの損傷を防止する統合型リミットスイッチ
ED
測定機器
.52
(13.3 ±0.3)
.47
(12)
E
特殊な製品
.88 ±0.012
(22.4 ±0.3)
.62
(15.8)
±0.012
SP
電動光学マウント
コントローラ&ドライバ 電動多軸キネマティック
ステージ
電動アクチュエータ
LTA-HL ロッド
F I C ATI O
TRBシリーズの電動アクチュエータは、軽量で非常にコンパクトなパッケージながら信頼性の高い電動直進モーションを提供します。
TRAアクチュエータと比較して、速度、再現性、および軸耐荷重が向上しています。ケーブルが側面に配置されたため、さらに柔軟な
配線が可能になりました。各用途へのベストフィットを実現するために、TRBアクチュエータにはオープンループステッピングモータ
とクローズドループDCサーボモータのバージョンが用意されています。また、統合型光学リミットスイッチは、ホーミングの原点とも
なり、再現性の高い位置決めを提供します。TRBアクチュエータは、広範囲の直進および回転ステージに見られるマイクロメータと直
接取り替えられるため、OEMアプリケーションに最適です。
CONEX-TRBシリーズはCONEX-CCコントローラ/ドライバを内蔵するTRBアクチュエータで、開梱後すぐに使えるように極めて高いレ
ベルまで事前の組込みが行われています。CONEX-CCは、Newport社の低電力DCサーボモータ駆動の装置に使用される非常にコンパク
トで低価格のドライバです。
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください