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Motion
233
高精密電動アクチュエータ
High-Precision Motorized Actuators
• モーションの周期的変動を防ぐ非回転式の先端
• 高い感度と最小移動量0.1 µmを実現した超低摩擦設計
• 便利な手動調整つまみ
電動垂直ステージ
• リニアエンコーダによる高い再現性と精度
電動直進ステージ
VP-25AA
ANTE
NS
E
CI
電動回転ステージ
SP
Compliant
AR
ED
RoHS
GU
• MTBF20,000時間
F I C ATI O
発注のご案内
設計仕様
基本材料
循環ボールベアリング
駆動方法
駆動スクリューピッチ
（mm）
バックラッシュのないボールスクリュー
1
スチール製リニアスケール、信号周期20 µm、
分解能0.1 µm
フィードバック
リミットスイッチ
原点
モデル (ミリ仕様)
アルミニウム
ベアリング
光学式
光学式、移動の中心、メカニカルゼロ信号を含む
モータ
XPS P257参照
SMC100CC P263参照
25
0.1
軸耐荷重 (+Cx) (N)
0.1
0.6又は±0.3
2又は±1
測定機器
最大速度 (mm/s)
推奨モーション
コントローラ／ドライバ：
ESP301 P261参照
最小移動量 (µm)
軸上の精度、保証値(1),(2) (µm)
長さ：1インチ（25.4 mm）
1.5 m
移動量 (mm)
双方向再現性(1),(2) (µm)
長さ：3.7インチ（94 mm）
561-RAIL-1
DCサーボ UE25CC
仕様
一方向再現性、保証値(1),(2) (µm)
高精密電動アクチュエータ、25 mm移動範囲
562-RAIL-3.7
電動光学マウント
ケーブル長さ
内容
VP-25AA (M-VP-25AA)
電動多軸キネマティック コントローラ&ドライバ
ステージ
VP-25AAの上面のレールは、光ファイバ、マイクロオプティクス、センサ、その他の小さくて軽い部品の位置決め用単レール直進ステージと
しても使用できます。また、汎用性をさらに高めるために、人気の高いULTRAlign™位置決めシステムとの互換性を備えたアリ溝式レール用の
マウントインタフェースも用意されています。このシステムには、光ファイバ、ファイバアレイ、対物レンズ、あるいはグリンレンズのため
の広範囲に及ぶ交換マウントの選択肢があり、さまざまなファイバアライメントアプリケーションに使用できます。
電動アクチュエータ
VP-25AAアクチュエータは、高い位置決め精度と安定した性能を兼ね備えています。VP-25XA直進ステージ（P174参照）と同様の斬新な設計
で、比類のない再現性と精度を実現する高分解能リニアスケールを使用しています。スケールは移動するレールに設置され、アクチュエータ
の先端がこのレールに永久接続されていてマウントシャフトと接触することはありません。そのため、ドライブトレインに起因するあらゆる
モーションエラーを排除し、スケールとアクチュエータの先端との間のヒステリシスを最小限に抑えることができます。また、アクチュエー
タの先端と合せ面との間の接触の変化によって生じる望ましくないモーションの周期的変動を防ぐため、先端は非回転式になっています。
25
40
MTBF (h)
20,000
自重 [lb (kg)]
2.2 (1.0)
仕様に記載されたピークtoピークの保証値、又は±保証値の半分を示していま
す。保証値を約２倍した標準仕様については、P300を参照してください。
2)
アクチュエータに接続した直進ステージで測定した値
1)
VP-25AAアクチュエータは、オプションの561-RAILレールの使用により小型軽量部品
の位置決めのための単レールの直進ステージとしても使用できます。
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
特殊な製品
仕様の定義については、P302 の「モーションの基礎と基準」をご覧ください。
電動直進ステージ
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Motion
寸法
寸法ミリ表記
6.53 ±.50 (165.8 ±12.7)
M4ネジ穴×6
電動垂直ステージ
.59
(15.1)
.08 (2)
.43 .31 (8)
(10.9)
.91 (23)
M2,5ネジ穴×4
1.06 (27)
Ø 1.6mm穴×2
間隔 9.525mm
.45
.50 (11.5)
(12.7)
.63 .50
(16) (12.7)
電動回転ステージ
3.94 (100)
長さ1.5mのケーブルと
25ピンサブDコネクタ
1.04
(26.4)
4.34 (110.3)
.87 (22.2)
LTA シリーズ
精密電動アクチュエータ
Precision Motorized Actuators
• 省スペース設計で最長50 mmまでの移動量
• 非回転式の先端部により、移動がよりなめらかになり、摩耗なし
• 卓越した位置決め性能
• 調整可能なリミットスイッチにより過移動による損傷を防止
• 便利なマニュアル位置決めノブ
• エンコーダ搭載の真空バージョンを用意
E
CI
ANTE
NS
AR
ED
SP
Compliant
GU
電動アクチュエータ
コントローラ&ドライバ 電動多軸キネマティック
ステージ
図のモデル：VP-25AA
100mm×50mmの長方
形上のØ4.5通し穴×3
RoHS
電動光学マウント
3.15
(80)
.13
(3.2)
.47
(12)
寸法インチ表記（mm）
.61
(15.6)
測定機器
.02 (0.5)
ボール Ø 5
.06
(1.5)
3.0 (76.2)
特殊な製品
ø.25
(6)
.49
(12.5)
1.0
(25.4)
2.83
(72)
ø.97
(9.52)
.53
(13.5)
F I C ATI O
LTAアクチュエータはお手元の手動ステージやその他のオプトメカニカル部品に、手動マイクロメータと直接取り替える形で取り付け
られるように設計されています。LTAシリーズは省スペース設計を採用しています。これによりアクチュエータの長さを50%縮めるこ
とができ、マイクロ位置決め装置上での中心から遠く離れた負荷による好ましくない影響を最小にします。このシリーズには、最適化
された出力トルクを持つDCサーボモデルが2種類あり、より速い移動（-HS）とより高い耐荷重（-HL）に対応します。重い負荷の用途
には LTA-HLが推奨されます。また、 LTA-HSは、長い移動量を持つとともに高速用途にも最適化されています。 LTAHSPPV6と
LTAHLPPV6はどちらもステッピングモータのモデルで、特に10-6 hPaまでの真空アプリケー
ション用に設計されています。いずれのモデルも、摩耗や周期的な動作変動が生じるのを防
ぐ非回転式の先端部、過移動を防止する移動可能なリミットスイッチ、モータがオフの間に
すぐにアクチュエータの位置を調整できる手動調整用のノブ、アクチュエータの概略の位置
をミリメートルとインチの両方で示すスケールを共通に備えています。
CONEX-LTA-HS （または-HL）はCONEX-CCコントローラ／ドライバを内蔵するLTAアクチ
ュエータで、開梱後すぐに使えるように極めて高いレベルまで事前の組込みが行われていま
す。CONEX-CCは、Newport社の低電力DCサーボモータ駆動の装置に使用される非常にコン
パクトで低価格のドライバです。
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください