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インクジェット法を用いた透明導電膜に関する研究
研究概要
•現在の透明導電膜(ITO薄膜)には、レアメタルであ
るインジウムが含まれており、価格上昇や不安定な
供給を招く可能性がある。
•真空蒸着やスパッタリングは、真空設備が必要でコ
ストがかかる。
•ITOの代替材料
•印刷技術(プリンテッドエレクト
ロニクス技術)を用いた成膜法に関
して盛んに研究が行われている。
1.PEDOT:PSSに添加剤を加え、インクを作製。
•プラスチック基板のUV/O3洗浄
•成膜後の熱処理
•極性溶媒を用いた浸漬処理
2.インクをカートリッジに充填し成膜。
3.薄膜の抵抗値をデジタルマルチメータで測定。
作製した透明導電膜の性能
シート抵抗：
可視光透過率：
透明導電膜として要求される80 %以上の透過率は
ほぼ得られたが、 抵抗値はまだまだ高い。
最適化の検討とインクジェット装置の改良により
薄膜形成技術を確立する。
企業メリット
キーワード
インクジェット法、透明導電膜、薄膜
主要な研究テーマ
・次世代フラットパネルディスプレイに関する研究
・透明導電膜に関する研究
技術相談に応じられる分野
薄膜生成に関する分野、電子材料に関する分野
利用可能な装置等
薄膜製造装置、UVオゾン洗浄改質実験装置、卓上型電子顕微鏡(TM-3030)、分光光度計(U-3900)
所 属 学 科 ： 電子制御工学科
職 名 ： 准教授
氏
名 ： 新田敦司
Ｔ Ｅ Ｌ ： (0995)-42-9068
Ｆ Ａ Ｘ ：
Ｅ - ｍ ａ ｉ ｌ ： [email protected]
所 属 学 会 ： 応用物理学会、電子情報通信学会、日本真空協会、エレクトロ二クス実装学会
研究分野（専門分野）： 電子デバイス、電子物性